设备配置及技术规格要求.docx

1、设备配置及技术规格要求设备配置及技术规格要求包A: 场发射扫描电子显微镜 1套1. 工作条件1.1 环境温度 2051.2 相对湿度 65%1.3 电源 220V(10%), 50Hz1.4 连续工作时间 连续操作2. 技术说明2.1 该仪器由真空系统、电子光学系统、二次电子探测器、背散射电子探头、能量过滤器(r-filter)、电子束减速装置(GB)、X射线能谱等、附件和零部件组成。 2.2 技术参数*2.2.1 分辨率 1.0nm (at 15 kV)1.4 nm (at 1 kV)2.2.2 加速电压 ：0.1kv 30 kV SEM模式：0.5kv 30kv GB减速模式：0.1kv3

2、.5kv*2.2.3 电子束流 最小束流1pA；最大束流1.7nA*2.2.4 放大倍数 x25 x1,000,000 低放大模式：x25 x19,000 普通放大模式：x100 x1,000,0002.3 电子光学系统 2.3.1 电子枪 场发射2.3.2 对中 自动*2.3.3 光栏孔径角最优控制镜 标配2.3.4 物镜 强励磁圆锥形物镜2.3.5 像散器 自动消像散记忆功能2.3.6 r-过滤器：标配（利用二次电子探头可以得到二次电子像和二次电子与背散射像的不同比例的混合像）2.3.7 电子束减速装置（GB）：标配（可以保证低电压下的1.4nm的分辨率）2.4 样品室和样品台2.4.1样

3、品台 全对中样品台*2.4.2 类型 五轴（X；Y；R；T；Z）马达驱动样品台*2.4.3 行程 X60mm; Y48mm; Z25mm 2.4.4 倾斜 -5700 2.4.5 旋转 3600连续2.4.6 样品更换 快速气锁更换样品2.4.7 真空系统2.4.7.1自动真空抽气及诊断系统2.4.7.2真空度：10-7Pa (电子枪)；10-4Pa (样品室)*2.4.7.3真空泵：分子泵（磁悬浮型）296L/S；机械泵130L/Min；离子泵3台2.4.7.4保护：断电、漏电、真空保护2.4.7.5带有冷阱减小样品污染*2.4.8 主动式减震系统标配2.5 探测器*2.5.1二次电子探头：

4、提供高位二次电子探头和低位二次电子探头（两个探测器）*2.5.2 背散射电子探头：提供高灵敏半导体背散射电子探头2.6 X射线能谱仪性能指标2.6.1 高效高分辨能谱仪探测器 (电制冷，即开即用)2.6.1.1元素分析范围: Be-Am(95)2.6.1.2探测器晶体面积: 30平方毫米*2.6.1.3 分辨率: 优于 129 eV，MnKa线,（2000cps100000cps分辨率保持不变）。C元素分辨率优于55eV *2.6.1.4 晶体类型：第五代水滴形SDD晶体，低噪音嵌入式场效应管2.6.1.5 封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空。2.6.1.6 开机时间：即开即用，开机30秒

5、即可达到正常工作状态。*2.6.1.7致冷方式：电致冷，无需液氮，无需离子泵，水冷，压缩机等附属致冷设备2.6.1.8工作温度：零下25-30度。2.6.1.9日常维护：完全免维护，无任何消耗品*2.6.2.0最大输入计数:1,000,000cps，最大输出计数:400,000cps2.6.3 X射线分析系统 2.6.3.1采用具有自动选择最佳时间常数的数模混合处理器2.6.3.1.1独立的零峰设计，自动和手动的能谱校正，处理器硬件过滤“和”峰*2.6.3.1.2数字电子束控制系统:可与任意型号的扫描电镜连接，保证图像质量与电镜图像一致。2.6.4能谱仪分析软件*1)方便快捷的Windows

6、XP操作系统，中英文软件界面2)分析数据及参数采用项目文件统一管理；3)智能化的自动定性分析工具；自动谱峰鉴定；自动背底修正；4)定量分析系统，进行自动实时的背底扣除,重叠峰剥离和得到定量分析结果；5)加强的Phi-Rho-Z用于最新矩阵修正计算；6)可视化的谱峰拟合剥离，有效鉴别重叠峰；7)谱图和分析数据可一键转换为Word格式文档或PDF文档格式2.6.5数字图象处理软件:1)分辨率不低于40963072的图像采集和显示，元素面分布分辨率不低于4096*30722)自动调节对比度，亮度；3)图像数据库，并可同时显示图像及其样品信息。*2.6.6 X射线面分布软件可采集任意数量幅的X-射线元

7、素面分布图；元素面分布分辨率不低于4096*30722.6.7 附属设备1）主流计算机一台2）用户手册、相关图纸一套2.6.8设备的验收及售后1）设备到货后，卖方应在接到买方电话邀请后一周内派专业技术人员到买方现场负责仪器的安装，调试。设备最终验收在买方现场进行。设备安装调试最终验收后，由卖方专业技术人员进行现场免费培训，并提供完整的中英文技术资料，包括操作使用说明手册、维护维修手册和电路图等。2）仪器在买方现场且通过最终验收合格后进入质保期。质保期一年。3) 如在使用过程中出现问题时，卖方在二十四小时内进行回应，并在两个工作日内提出解决问题方案，如需现场解决，则在三个工作日内派出工程师到达现

8、场。2.7 电镜图像处理系统 2.7.1 图像处理软件 进行图像的处理、测量和编排实验报告 2.7.2 图像显示 12801024 2.7.3 图像存储 25602048，5120x3840 2.8 电镜电脑系统2.8.1 操作系统 WindowsXP2.8.2 CPU PIV 2.8G2.8.3 内存 2G2.8.5 硬盘 120 G2.8.6 光盘存储器 40倍速CD-RW光盘读写器*2.8.7 显示器 LCD19（液晶显示器）2.9 附件和零部件组成*2.9.1进口离子溅射仪（喷金）溅射电流: 10,20,30,40 mA靶铂(Pt): 标配样品台尺寸直径: 64mm样品台位置: 30-

9、40mm可调真空室尺寸: 120mm（直径） 100mm（高），玻璃制真空监测显示器: 皮拉尼规(同时监控溅射电流)计时器: 数字式（1至300秒）*2.9.2 自动喷镀仪（喷碳）碳棒支架：1套碳棒： 5mm直径样品台尺寸直径: 64mm样品台位置: 30-40mm可调真空室尺寸: 120mm（直径） 100mm（高），玻璃制3. 需要的附件、备件、特殊工具和消耗品3.1 提供二年成套备品备件（包括闪烁体2个、光栏、密封圈及相关消耗品等）3.2 提供备用场发射电子枪两支（含扫描电镜自身携带的电子枪一支，合计2支）4. 手册分别提供维护操作手册和维修电路图5. 技术服务5.1要求供货厂家在中国至

10、少设立两家以上的固定维修站，并配备专业维修工程师，能提供及时有效的售后服务。*5.2 安装、调试和培训在仪器到货前厂家派遣工程师携带专用设备对用户方安装室的地面振动和环境杂散磁场进行免费的检测。仪器到货后，厂家提供免费安装及在用户方的免费培训。6. 购置总量 壹 套7. 交货地点 郑州大学8. 交货期 合同生效后6个月内交货9. 场发射扫描电镜配置清单1场发射扫描电镜数量1-1场发射扫描电镜基本单元11-25轴马达驱动1A型样品台11-3样品交换气锁装置（予抽室）11-4计算机控制单元11-519英寸液晶显示器11-6潘宁规真空计12液氮冷阱13图像管理及测量软件14标准工具箱15循环冷却水箱

11、16保险丝（使用CCA-1111BU循环冷却水机时电镜主机需要）27自动稳压电源18不间断电源控制器19备品备件110自动离子溅射仪11自动喷碳仪10. 场发射扫描电镜备品备件序号名称数量序号名称数量1机械泵油114硅真空脂12过滤塞115标准工具13橡胶管216保险丝704皮拉尼规117集成块85氧化铝(吸水剂)118碳导电胶带66高压电缆插头819发射体27垫圈420光电断路器38加热器221旋转编码器19O形密封圈2122铝箔210物镜光阑223竹签111闪烁体头224手套112开关525真空脂113微动开关411.功能要求：一、场发射扫描电镜：（1）分辨率分辨率指标如下：1.0nm (

12、加速电压：15kV)；1.4nm (加速电压：1kV)。 特别在低加速电压下能够观察样品表面超微信息，应对导电性差的样品和极表信息的观察。（2）放大倍数保证放大倍数最高达到100万倍。高放大倍数应能观察纳米级精细结构。（3）加速电压的范围保证在100V至30KV之间联系变化。（4）探测器提供三个探测器，其中两个二次电子探测器、一个背散射电子探测器。（5）真空系统配备维护涡轮分子泵和离子泵等。（6）样品室和样品台提供五轴马达驱动装置，样品行程尽可能大，样品台设计为全对中样品台；要求能够分析大尺寸样品。（7）电子光学系统*多种工作模式，实现高分辨、大束流、大工作距离及磁性样品观测；具备电子束减震装

13、置。二、X射线能谱仪（1）探测器 电制冷，即开即用型；晶体面积: 30平方毫米；（2）分辨率 优于 129 eV，MnKa线；（3）晶体类型第五代水滴形SDD晶体，低噪音嵌入式场效应管；（4）结果分析数字电子束控制系统，可与任意型号的扫描电镜连接，保证图像质量与电镜图像一致。分析软件，方便快捷的Windows XP操作系统，中英文软件界面数字图象处理软件，分辨率不低于40963072的图像采集和显示。包B： 数码相机序号设备名称技术参数和功能要求数量1数码相机1机身类型 单反 数码单反相机 APS-C规格数码单反相机 手动操作 全手动支持 感光元件 CMOS 感光元件尺寸 22.314.9 m

14、m 传感器描述 长宽比：3:2 除尘功能：自动、手动、添加除尘数据 有效像素 1510万 最高分辨率 4752*3168 图像分辨率 大：约1510万像素（4752 x 3168）中：约800万像素（3456 x 2304）小：约370万像素（2352 x 1568）RAW：约1510万像素（4752 x 3168） 影像处理器 DIGIC 4对焦方式：类型：TTL辅助影像重合，相位检测 自动对焦点：9个自动对焦点 测光范围：EV -0.5-18（23C/73F、ISO 100） 对焦模式：单次自动对焦、人工智能伺服自动对焦、人工智能自动对焦、手动对焦（MF） 自动对焦辅助光：由内置闪光灯发出的短促连续闪光显示屏尺寸 3英寸 像素及类型 TFT彩色液晶监视器（可分7级调节亮度） 约92万点（VGA）快门类型 电子控制焦平面快门 快门速度 1/4000至1/60秒（全自动模式）、闪光同