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1、整理太阳能电池各电性能参数草稿太阳能电池各电性能参数的本质及工艺意义武宇涛电性能参数主要有：Voc,Isc,Rs,Rsh,FF,Eff,Irev1,电性能参数在生产过程中尤其是在实时的生产控制现场，非常及时地反映了整个生产线生产工艺尤其是后道工序的动态变化情况，为我们对产线的控制及生产设备工艺参数的实时调节起到了非常重要的参考作用。从可控性难易角度来说，Voc,Rs,Rsh,主要和原材料及生产工艺的本身特征相关，与工艺现场的调控波动性关系不是特别紧密，可称之为长程可控参数。而Isc,FF, Irev1与工艺现场的调控联系紧密，对各调控参数比较敏感，可称之为短程可控参数。当然我们最关心的是效率E

2、ff。而Eff则是以上所有参数的综合表现。太阳能电池的理论基础建立在以下几个经典公式之上：Voc=(KT/q)ln(Isc/Io+1) Voc=(KT/q)ln(NaNd/ni2) 1 2FF=Pm/(VocIsc)=VmIm/ (VocIsc) 3 4Eff=Pm/(APin)=FFVocIsc/APin=FFVocJsc/Pin 5图-1太阳能电池的I-V曲线图-2太阳能电池等效电路从上面5式我们可以看到，与效率直接相关的电性能参数主要有：FF，Voc, Isc。 在生产中我们还比较关心暗电流情况：Irev1，由1式可以看出，它与Voc有比较紧密地联系（实际也是这样的）。为了更好地说明各参

3、数间的联系，这里先录用几组数据如下：表-1以上P156均系LDK片源。1，Voc由于光生电子-空穴对在内建场的作用下分别被收集到耗尽层的两端，从而形成电势。所以我们认为Voc是内建电场即PN结扫集电流的能力的直观表现。由上面公式1所反映，Voc主要与电池片的参杂浓度(Nd)相关。对于宽Eg的电池材料，相对会有比较高的Voc；但Eg过高，又会导致光吸收效率的迅速下降（主要是长波段响应降低），使Isc是降低,所以需要找到一个最佳掺杂深度值。另一方面，高参杂又会引入更多的复合中心，使复合电流增加，同样也降低了Voc。所以在没有引起复合电流增加或者其增量比较小的前提下，参杂浓度的提高对Voc总是有益的

4、。在上表所示的三种成品电池片中，P156的片子与E-CELL片子Voc有着显著的不同，这显然是由于冶金级硅的杂质浓度过大导致的。而对于62栅线和71栅线的电池片，由于其总体参杂浓度并没有显著的改变，所以其开压并没有显著差别。从上表还可以看出,E-CELL电池的Isc已经比比另两者有显著降低,我们可以认为对于P156的正常多晶硅电池片其Voc在620mv左右达到了峰值。另外通过对高Voc电池片（如E-CELL）进行QE扫描发现其长波长响应显著降低。 在现在既定工艺背景下，在没有大的工艺改动下，对产线的技术参数调整对Voc影响不会太大。在生产中，我们曾对各种能够调节的参数进行了大量的调整，尤其是背

5、电场和烧结温度参数方面，但结果总是很不理想，比如P156的LDK的片子其整体平均值变化范围也就是618mv2mv左右。基本上不可能达到像E-CELL GP156那样整体平均630mv的水平。可见，Voc对后道工序的参数调节并不十分敏感。 一句话，关于Voc，这是电池片子本身质量素质及现定工艺所共同决定的,从整体的统计数据来看它是一个比较稳定的不易发生较大波动的工艺参数，比如：煜辉和洛阳以及LDK各厂家的电池片都有各自明显的电性能特征，尤其表现在Voc和Isc上。所以,在日常的生产过程中,我们应该更多地关注其他比较容易波动且操控性更强的参数,比如FF,Isc.2，FF 如上面大名鼎鼎的太阳能电池

6、的I-V曲线图-1所示，FF的直观意义为上图中矩形与曲线所围成面积之比。它的本质意义如式3所示,即输出的有用功与产生的总体功率之比.它表现了电池片本身输出有用功的能力，也即其本身的内耗情况；对于高的FF，电池片本身对所产生电能的消耗比例较小。而Eff如式所示,则是表现了电池片在吸收了一定太阳能量后能够输出有用功的能力.另外，此曲线的两边的斜率也直观地展现了Rsh与Rs的大小，正如式4所示。所以在电性能参数中，我们认为，FF，Rsh,Rs这三个参数是紧密相连的一组。一般通过Rs和Rsh我们来直观地判断FF的好坏。即Rs和Rsh主要影响FF，当然当他们性能很差时对Voc和Isc的影响也是很显著的。

7、如上表所示：虽然UMG电池片的效率很低，但是这并不妨碍它可以达到比正常电池片还要高很多的FF。再对比单晶的情况，虽然单晶具有比多晶更高的效率，但也不影响它只具有和ECELL相当的FF。相对于Voc,FF更容易波动,且波动幅度有时也是很大的.一般情况下,在工艺过程中对FF影响比较大比较直接的主要是印刷工艺,再具体地说主要是正面电极的印刷,而正面电极的印刷又是一个非常细致的工艺,影响其质量的参数及因素又是相当多(相对于前道各工序来说),主要有印刷资料的选取,印刷网版的设计及印刷参数的调节.由于前两项因素已经由工程师们设计选择好,所以对于工艺人员,主要的工作是保证印刷出高质量的图形及确保各项参数在工

8、艺范围内可控.另外FF对烧结的调节不是很敏感.而通常当FF较低时,我们也并不太多地怀疑烧结是否匹配.正常情况下，FF的降低表明电池片本身的内耗或漏电的增加，而这也必然会在Rs或Rsh上反映出来。 但是，我们也确实遇到了这样的情况:印刷图形堪称完美,基本上没有虚印,栅线高度也正常,Rs及Rsh也都正常,而FF就是比平常低了将近0.5左右!其原因到目前仍然不是很清楚.2.1Rs 硅太阳能电池等效串联电阻会影响其正向伏安特性和短路电流，而对开路电压没有影响，当然，对FF也有很大影响，当串联电阻取不同值时太阳能电池的I-V特性如下图-4所示11: 串联电阻变化时太阳能电池的I-V特性曲线 太阳能电池的

9、串联电阻由以下四部分组成：Rs=Rb+Rd+Rc+Rm Rb为基体材料本身的体电阻； Rd为太阳能电池扩散层的薄层电阻，也可以理解为电池表面细栅线两旁的横向电阻； Rc为金属半导体的接触电阻；Rm为电极材料电阻。Rm、Rd可以统一看为发射区电阻，Rc、Rb可以统一看为基区电阻。良好的电极材料、图形和制备工艺可以减小薄层电阻对Rs的影响及减小Rc、Rm的大小。一般来说我们希望Rs越小好好。从上表数据右以看出,采用新网版工艺的电池片比之前的电池片Rs有了一定的改善,但不是很大,不过毕竟有了改善。由于采用了密栅设计，我们认为此改善主要来自于横向电阻的改善，当然，使用新浆料所带来的接触电阻的改善也是可

10、以肯定地，但毕竟比较小。 另外，相对于E-CELL电池片,前两者的Rs明显差很多,而E-CELL电池片,不论是体电阴率还是方块电阻都要比另外两者差很多。由以上比较，我们可以得出以下结论：在组成串联电阻Rs的四个因素中,它们对总体Rs的影响顺序依次为:体电阻Rb,接触电阻Rc,横向电阻Rd和电极电阻Rm。Rs的改善对FF影响主要表现在：随着Rs减小，电池片本身的内耗也随之减小，从而使FF得到提高。2.2RshRsh在I-V曲线图上的直观意义是当V=0时,I-V曲线斜率的倒数的绝对值,如式4所示。而其本质是则是由于材料本身及生产工艺等原因造成的种种漏电通道。所以,理论上讲我们希望其越大越好。由工艺

11、过程引入的漏电通道主要有以下六种:1Linear edge shunts2Nonlinear edge shunts3Cracks and holes4Schotty-type shunts5Scratches6Aluminum shunts由材料本身引入的漏电通道主要有以下三种:1Strongly recombinative crystal defects2Inversion layer at precipitates3Macroscopic Si3N4 inclusionsRsh是与Io紧密联系在一起的。实际上它们描述的是同一个现象：光生电流的非常规复合损失。只是Rsh具有更丰富的内涵及更

12、直观的表现。在日常生产中,我们发现相对于Rsh, Rs的调控性更好些,即Rs对烧结及其他工艺参数比如印刷质量更敏感些。更实际的情况是这样的：在日常的工艺过程中，对于Rsh并没有十分明确的调节对象（就像细栅线的高宽比一样），工艺人员往往束手无策。采用新栅线工艺（71栅线）后,Voc,Isc,Rs只得到了些微的改善,FF的改善比较明显。唯独Rsh下降了很多,说明由于采用新工艺,我们引入了更多的漏电通道,而这些漏电通道吞掉了很多本应由新工艺带来的电流改进。由于我们的新工艺只是对PECVD以后的程序进行了改进，而正面电极栅线遮光面积前后并没有太大的变化，所以PECVD工序的可能性最大，至少在目前看来是

13、这样的。另外我个人认为跟正面电极浆料也有一定的关系：在没有使用PV159浆料之前我们的Rsh基本都是50以上，作到100也是常有的事，只是UMG的电池片Rsh 比较低，但即使这样，也比现在的要高很多。理论上，往往我们都认为是Rs和Rsh共同表现了FF的优劣，而实际上只有Rs更具体更充分地表现出了它的这个职能。3，Isc理论上，描述电流的经典公式如式4所示;直观上，I-V曲线如上图-1所示。太阳能电池的一切根源则是由PN结所搜集的由光生伏特效应所产生的光生载流子，而载流子的聚集又产生稳定的电势Voc，从而行成太阳能电池工作的基本构架。我们在对太阳能电池的研究与生产中所作的努力绝大部分是间接地为了

14、提高Isc（直接地为了提高Eff）。如：表面织构化与淀积ARC膜是为了提高光的吸收利用率从而从源头体高Isc；改进PN结深与参杂提高方块电阻，采用细栅线等提高光生电流收集几率从而从过程中减少光生电流的损失间接提高Isc；而采用各种更精细的工艺制程，如各种不同的表面织构及正面电极则是为了能更细致更专业地从源头及过程中优化Isc。 我们可以将Voc与Isc并称为太阳能电池的两大最主要电性能参数，而转换效率Eff则是其优劣最直接的展现。一般来说，整个产线从制绒到丝网印刷的各个工序都可以对Isc产生直接而显著的影响。而他们的影响方式不外乎两种：影响光的吸收效率或影响光生载流子的吸收几率。而每道工序都有

15、相应的工艺控制点，这些控制点也都体现了如上面所说的影响。按照国家规定实行审批制的建设项目，建设单位应当在报送可行性研究报告前报批环境影响评价文件。按照国家规定实行核准制的建设项目，建设单位应当在提交项目申请报告前报批环境影响评价文件。按照国家规定实行备案制的建设项目，建设单位应当在办理备案手续后和开工前报批环境影响评价文件。如：1，制绒工序的减薄量。它本质上反映的是表面织构化的质量，即倒金字塔的几何结构包括其宽度和高度，而正是这些参数直接地影响了光的吸收效率，此工序对Isc的影响主要体现在对光的吸收效率方面，而此工序由于清洗不彻底或污染则在后续工序中影响载流子的收集几率。正确答案A2，扩散工序

16、的方块电阻及不均匀度。它们主要是用来描述扩散式PN结的质量，本质上反映的是扩散杂质在PN结中的分布情况，包括杂质的总量，杂质分布的深度和杂质分布的均匀度。由于PN结是最主要的生成电子-空穴对及收集电流的场所，所以方块电阻及不均匀度所影响的主要是载流子的收集几率。这些都突出表现在我们对高方块电阻及小不均匀度电池的执著追求上。第1页3,PECVD工序的膜厚及折射率。氮化硅薄膜的重要作用主要体现在减反射和钝化上。其减反射作用主要是提高电池对光的吸收效率，而其钝化作用主要是减少载流子的表面复合从而提高其收集几率。实际上，膜厚及折射率也正是从提高光的吸收效率的目地出发的，至于其钝化作用虽然也相当明显，但

17、我们也可以认为它是一个美丽的巧合。后面我们还会看到，在整个工艺过程中有很多TRADE-OFF,而氮化硅膜是少有的将两种重要优点集于一身的制程。（4）跟踪评价的结论。4，丝网印刷中背电场的湿重，正面电极的湿重及细栅线的高宽比。如果说扩散工序制作的pn 结的主要作用是产生电流，那么丝网印刷则负责修建输出电流的线路，显然，运输质量与道路是紧密相关的。我们要做的是在运输过程中尽量高效地运输并减少无端的损耗。对于铝背场湿重的控制主要是为了提高对载流子的收集几率，同时它对提高开路电压也是很有效的。对于正面点极湿重的控制主要是为了得倒优质的细栅线图形，而优质的细栅线既能明显地提高电流的收集几率，也能有效地降

18、低本身的损耗（低的串联电阻，高的填充因子），对细栅线高宽比的追求同样是为了得倒优质的栅线。另外通过对网版的设计及浆料的选择，我们已经大大地提高了电流的收集几率及运输效率，如表-1参数FF及Rs所示。总之，在丝网印刷中我们对各线参数的控制主要地是为了体高电流的收集及运输效率。5，烧结。这是完成电池片制作的最后的工序，而根据我们的经验，好的烧结条件对Isc及Rs的优化是相当明显的。显然，对烧结条件的控制是我们所能做的最后一件提高电流收集几率的努力。2.环境保护行政法规以上，我们从正个工艺进程说明了Isc的重要性，并通过说明它与各道工艺参数的因果关系展示了其巨大的工艺窗口。由于Isc本身就对各工艺参

19、数比较敏感，在实际的生产过程中，我们主要是通过调节印刷质量与烧结参数来更直接地把控Isc。4，Eff它直接地表明了其他所有电性能参数的综合水平。由式5所示，FF，Voc,Isc是影响Eff的最主要的参数，而他们又分别被其他参数所影响，所以基本上所有的电性能参数都能或大或小地影响Eff，这也是Eff的波动范围非常广泛的原因。另外由于Voc的差可控性，我们对Eff的调节也更多地落在了FF和Isc上。2.环境影响报告表的内容从长远来看，在扩散工序中对低不均匀度的高方块电阻的追求，以及丝网印刷工序中对更优质细栅线及电极浆料的追求为我们转换效率的提升提供了持续的动力。在一个不是很短的时间内，这两方面的改

20、进将仍然是我们Eff提升的强劲动力。（五）安全预评价方法从短期来看，在我们目前的工艺过程中，下面几个问题的解决对Eff的调升将会有重大的意义:1方块电阻的不均匀度。我们能做出高的方块电阻，但要做出高均匀度的高方块电阻还具有一定的难度。2更优钝化效果的PECVD膜，我们一直采用新的PE 后工艺，我们的效率也一直在提升，但我们的Rsh却一直在恶化。也许Rsh对Eff 有另一种更重要的影响机制或它对Eff的影响并不是很显著，但Rsh的恶化确实导致了更多的电流损失。3很多时候，我们能够做到很好的（正常的）Rs和Rsh，而且印刷效果也很好，但FF却仍然达不到常规的预期。我认为这其中必有一种我们所不知道的

21、机制在作用。个人初步认为，因为FF体现的是电池片所输出的有效功与其所产生的总电能的比，所以很可能是除了Rs电阻发热消耗能量外，还存在另一种耗能机制。具体情况有待进一步研究。 （1）规划和建设项目环境影响评价。疾病成本法和人力资本法是用于估算环境变化造成的健康损失成本的主要方法，或者说是通过评价反映在人体健康上的环境价值的方法。在长期的生产过程中我们可以发现，再很多情况下，各电性能参数的好坏与电池片本身的质量有十分紧密的联系，一般各厂家的电池片都具有各自不同的电性能特征；而工艺的调节可以做到在短期内排除多项因素。这直接导致Eff被限制在一定的范围内，而工艺技术人员大多时候也直接被局限在“维持”Eff的稳定。（3）建设项目对环境可能造成影响的分析、预测和评估。结语：由于时间及认识的限制，以上内容难免纰漏，不当之处还望见谅，并请斧正。各位同仁还有补充及另有想法的敬请陈述，分条列于下面空白处，以作交流，以作公司沉淀。