制程能力测试管理指导作业书.doc

1、1 目的PCB各制程能力在固定期间内做相关测试，以确保各制程的制程能力稳定，同时反映出各制程的问题点，以改善之确保制程稳定性，特订制此作业指导书2 适用 ：凡本公司内的PCB各制程均通用之3 职责制程课：指定各制程的制程能力测试项目、方法与频率，同时分析各制程能力是否稳定并提出改善或提升计划制造部：执行各制程能力项目，并制定出记录表单进行记录，以回馈给制程，便于品管追查稽核之用品管部：负责各制程能力测试结果的稽核与改善追踪4 管理内容：4.1 当本公司新制程或新设备导入试车，制程能力需要进行测试4.1.1 定义：因厂内生产所需且会影响产品品质之制程、设备，在增加新制程、变更型号，加装新功能时或

2、引进新设备时适用4.2 当本公司因产能或某一制程缺少，需评估外包商时，制程能力需要进行测试 4.2.1 定义：因厂内某单一制程产能存在瓶颈，或因业务产品订单需要，但暂缺某单一制程，需寻求外包商协同解决时，外包商的设备及制程均适用4.3 当本公司已经投入量产阶段，为确保制程稳定性，须定期检测制程能力 4.3.1 定义：凡是厂内PCB制程均适用4.4 制程能力测试项目、方式及频率： 4.4.1 内层/内检制程测试项目测试方法测试标准测试频率内层前处理微蚀量取覆铜板去表面油脂和氧化（10x10cm）,烘烤（150 15min）完冷却后称重，过微蚀，待出板后烘干（150 15min）完冷却后称重，计算

3、4010u依PMP粗糙度测试板经前处理后，用粗度计测量Ra=0.2-0.4m1次/周刷幅入板后静止于磨刷1开启磨刷10Sec后关闭，依次在2、3、4重复操作1.00.2CM依PMP超声波测试锡箔纸测试锡箔纸小孔破损1次/月水破试验磨刷后的板，水平浸入DI水然后拿出，双手执边板面成45角，确认水膜破的时间15Sec依PMP内层压膜黏尘能力取1PNL(20X24)，用白板笔在板面划1inch等距的线条，通过黏尘机后，将纸割下，故观察线条在纸上的分布情况粘尘纸上白板笔条文清晰1次/月密合度测试取合适大小及尺寸的压力测试纸放在热压轮之间，调节压力，拿出测试纸目视检查压力测试纸红色压痕平整1次/月干膜附

4、着力压膜好的板，静置15分钟后，用3M胶带拉板面用100x镜观察干膜无脱落变形依PMP油墨黏度用油墨黏度计/量筒测量依制程要求1次/班内层曝光曝光均匀性采用能量计，测试25个点85%1次/月（更换灯管）透光度测试采用光密度计对底片、MYLAR的透光率进行测试依制程要求1次/季底片偏移度用二次元测量仪测量2mil以内依PMP无尘室落尘量落尘量测试仪依无尘室等级1次/月温湿度温湿度计温度：202湿度：555%依PMP内层DES显影点将曝光静置后的试验板依次紧挨着排列放入，当第一片板出显影段后立刻关闭喷淋，最后一片板出来后，按放入顺序依次排列，确认完全显影的片数505%1次/月蚀刻点将试验板依次紧挨

5、着排列放入蚀刻段入口，当第一片板出蚀刻段后立刻关闭喷淋，最后一片板出来后，按放入顺序依次排列，确认完全蚀刻的片数705%1次/月定喷测试板子依序放入显影线内，关闭输送，喷淋开启10Sec后开闭，开启输送，板出来后，目视检查所有喷嘴无堵塞，蚀刻形状、大小相同1次/月蚀刻均匀性定喷确认OK后，在与板等大的牛皮纸上，切割出直径为2CM均匀排列的56个孔，将牛皮纸与板叠合在一起，测量56个孔的铜厚，过蚀刻，待出板后测量相同位置的铜厚，按公式计算（R/2X-bar）上喷U%13%下喷U%10%1次/月去膜点经曝光静置好后的板，紧挨着依次放入去膜段，当第一片板出来后，关闭喷淋，待最后一片板出来后，按放板顺

6、序依次排列，确认完全去膜的片数405%1次/月内层打靶精准度取测试底片，制作1PNL打靶精准度测试板，用打靶机打20个点，在OGP上测量其打出孔的偏移度1Mil1次/周内检AOI漏失率取测试底片，手工做100个假点，包括开路、短路各30，缺点10个左右，记录所做缺点位置，制作测试板5-10PNL，在AOI机测试，统计其主要缺点和次要缺点主缺漏0%次缺漏失5%假点误测10%1次/月4.2.2压合制程测试项目测试方法测试标准测试频率黑化增重（Weight gain）试验板经黑化后水洗第二槽取下，将板吹干烘烤（110 10min）后冷却3min-称重，然后放入20%H2SO4浸泡5min，用水洗干净

7、后烘烤（110 10min），最后称重0.30.1mg/cm2依PMP失重（Weight loss）试验板经黑化后，烘烤（110 10min）后冷却3min称重，放入17%HCL浸泡10min，用水洗干净后烘烤（110 10min）称重0.08-0.18mg/cm2依PMP抗撕强度在裸铜板上以胶带固定铜箔，过黑/棕化后，将铜箔取下烘烤（120 5min），再进行压合作业（反压PP1080+PP7528），然后压膜经内层DES后，用拉力测试仪进行拉力测试4Lb/inch(Tg150)2.5Lb/inch(Tg180)3Lb/inch(无卤素)1次/周抗酸性裸铜板过黑化流程，浸入17%的HCL中1

8、0min取出，目检无漏铜现象依PMP棕化抗撕强度在裸铜板上以胶带固定铜箔，过黑/棕化后，将铜箔取下烘烤（120 5min），再进行压合作业（反压PP1080+PP7528），然后压膜经内层DES后，用拉力测试仪进行拉力测试4Lb/inch(Tg150)3Lb/inch(Tg180)3Lb/inch(无卤素)1次/周压合板厚均匀性按四角和中间5点测量每PNL板厚3mil以内1次/周涨缩系数压合后的板材，用二次元测量分别经向、纬向的长度，对比标准，计算涨缩系数2mil以内依PMP靶孔偏移度铣靶后的板，对靶位孔进行切片分析1mil依PMP料温曲线叠合后上料，过压机压合，记录压合温度和时间升温速率（T

9、g150）：1.5-2.0/min；固化时间：170以上保持45min以上1次/周铜箔抗撕强度以铜箔毛面压合（1*PP7628）、压膜后过内层DES，用拉力测试仪测试1.0OZ：8Lb/inchH OZ：6Lb/inch1次/周玻璃态转化温度（TG/TG）委外厂商测试Tg:1455（Tg150材料）Tg5摄氏度1次/周TD（5% W.L）委外厂商测试3251次/月T-260委外厂商测试30min1次/月T-288委外厂商测试10min1次/月热膨胀系数（CTE）委外厂商测试3.5%（50-260）CTE-Z1：60PPMCTE-2：300PPM1次/月4.4.3 钻孔/PTH/电镀制程测试项目

10、测试方法测试标准测试频率钻孔孔壁粗糙度依板厚设定最小孔径，钻孔完成后切片分析（使用防焊油墨灌胶）1mil依PMP孔位精度依板厚设定最小孔径经钻孔后切片分析2.4mil（1OZ）1.2mil（0.5OZ）其他1.8x铜厚1次/班RUN OUT静态：千分尺量测动态：动态RUNOUT仪静态20m动态15m1次/2月PTH去毛刺刷幅入板后静止于磨刷1开启磨刷10Sec后关闭，依次在2、3、4重复操作1.00.2CM依PMP超声波能力测试锡箔板超声波水洗锡箔纸小孔破损1次/周除胶渣速率裸铜板烘烤（120 15min）完冷却3min后称重，过除胶渣流程，再经烘烤（120 15min）完冷却3min后称重0

11、.1-0.25mg/cm2依PMP微蚀速率取覆铜板去表面油脂和氧化（10x10cm）,烘烤（150 15min）完冷却后称重，过微蚀，待出板后烘干（150 15min）完冷却后称重，计算4010u依PMPPTH化铜沉积速率覆铜板经烘烤（120 15min）完冷却3min后称重，过化铜流程，再经烘烤（120 15min）完冷却3min后称重183依PMP灯芯效应选取合适的孔径，将试验板过PTH后，切片分析1mil依PMPDesmear SEM委外厂商测试内层铜面无胶渣残留，树脂呈蜂窝状1次/月电镀镀铜均匀性在与板等大的牛皮纸上，切割出直径为2CM均匀排列的56个孔，将牛皮纸与板叠合在一起，用铜厚

12、测量仪量测孔内面铜厚度，先确认勾表电流是否吻合，过电镀流程，下料后用铜厚测量仪测量相同位置面铜厚度，按公式计算（R/X-bar）U%20%1次/月阴极效率在与板等大的牛皮纸上，切割出直径为2CM均匀排列的56个孔，将牛皮纸与板叠合在一起，用铜厚测量仪量测孔内面铜厚度，计算出平均值X1，先确认勾表电流是否吻合，过电镀流程（20ASF 24min），下料后用铜厚测量仪测量相同位置面铜厚度，计算出平均值X2，按公式计算（X2-X1）/0.45mil（理论值）80%1次/ 月灌孔率制作PLAT01-1测试板（60mil），将化铜好的试验板，先确认药液浓度合格后，过电镀流程，下料后切片分析（测量6个点）

13、80%1次/季孔破率制作PLAT01-1测试板，过PTH、一铜、外线、二铜、蚀刻流程后，进行测试，统计孔破不良比例0%1次/周涨缩系数电镀后的板材，用二次元测量分别经向、纬向的长度，对比标准，计算涨缩系数2mil以内依PMP4.4.4 外线/蚀刻制程测试项目测试方法测试标准测试频率外层前处理刷幅入板后静止于磨刷1开启磨刷10Sec后关闭，依次在2、3、4重复操作1.00.2CM依PMP粗糙度测试板经前处理后，用粗度计测量Ra=0.2-0.4m1次/周超声波测试锡箔纸测试锡箔纸小孔破损1次/月水破试验磨刷后的板，水平浸入DI水然后拿出，双手执边板面成45角，确认水膜破的时间15Sec依PMP外层

14、压膜黏尘能力取1PNL(20X24)，用白板笔在板面划1inch等距的线条，通过黏尘机后，将纸割下，故观察线条在纸上的分布情况粘尘纸上白板笔条纹清晰1次/月密合度测试取合适大小及尺寸的压力测试纸放在热压轮之间，调节压力，拿出测试纸目视检查压力测试纸红色压痕平整1次/月干膜附着力压膜好的板，静置15分钟后，用3M胶带拉板面用100x镜观察干膜无脱落变形依PMP外层曝光曝光均匀性采用能量计，测试25个点85%1次/月（更换灯管）透光度测试采用光密度计对底片、MYLAR的透光率进行测试依制程要求1次/季底片偏移度用二次元测量仪测量2mil以内依PMP无尘室落尘量落尘量测试仪依无尘室等级1次/月温湿度温湿度计温度：202湿度：555%依PMP外层显影解析/附着