无尘室异物对策.ppt

1、Panel製程教育訓練教材無塵室之異物對策1 1 1 1/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材左右左右CMOCMO製造製造TFTTFT機能的良率。機能的良率。原因之一為異物。原因之一為異物。因此，針對工廠全體之所有異物施以對策，因此，針對工廠全體之所有異物施以對策，進而達到製品品質穩定之目的。進而達到製品品質穩定之目的。使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器具備品類、文具類、消耗品和其他。具備品類、文具類、消耗品和其他。若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的投資額與

2、維持費用投資額與維持費用。異物對策異物不良所有異物對策之目的2 2 2 2/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 1)Array1)Array工程工程 發生大批發生大批patternpattern不良。不良。斷路、短路。斷路、短路。2)Panel2)Panel工程工程 發生大批之發生大批之patternpattern不良。不良。電氣特性及表示畫面不良。電氣特性及表示畫面不良。3)3)模組工程模組工程 電氣特性不良。電氣特性不良。B BL L異物不良。畫面不良的原因。異物不良。畫面不良的原因。異物對策異物成為何種不良3 3 3 3/67/67/67/67PA

3、NELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。以以 mm尺寸（尺寸（size)size)為單位的物質稱為異物。為單位的物質稱為異物。異物尺寸從最大數十異物尺寸從最大數十 mm到需用電子顯微鏡觀察確認到需用電子顯微鏡觀察確認的的0.01 0.01 mm之物質皆有。之物質皆有。現在的半導體業已經從現在的半導體業已經從64M 0.28 64M 0.28 mm更進一步到更進一步到256M 0.2 256M 0.2 mm的的PatternPattern配線，必需要求同程度以下配線，必需要求同程度以下的異物對策。的異物對策。人的

4、頭髮直徑大約在人的頭髮直徑大約在5070 5070 mmTFTTFT的配線大約在的配線大約在6 6 mm的程度的程度 異物對策異物是何種尺寸的東西4 4 4 4/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材依依ArrayArray、PanelPanel、ModuleModule之不同，對異之不同，對異物大小物大小(size)(size)所訂定之管理辦法亦不同。所訂定之管理辦法亦不同。ArrayArray無塵室無塵室(全室全室)管理等級訂定管理等級訂定100100。PanelPanel管理等級訂定管理等級訂定1001000010010000。ModuleModule

5、部份的管理等級訂定部份的管理等級訂定1000010000010000100000。異物對策工廠的異物管理5 5 5 5/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進無塵室。無塵室。與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。從設備和工具，保修部品等帶進。從設備和工具，保修部品等帶進。從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。從器具備品、棚架和台車帶進。從器具備品、棚架和台車帶進。上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無

6、塵室中。上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室中。異物對策異物從何處進入?6 6 6 6/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材付著在物品上進入付著在物品上進入 一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有 被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。人員攜入人員攜入 鞋子和無塵服和食物、手提袋鞋子和無塵服和食物、手提袋等，會帶入污染物。等，會帶入污染物。從環境破壞而入從環境破壞而入 從門縫、建築縫隙、天花板的間隙從門縫、建築縫隙、天花板的間隙等，建築物的不等，建築物的不 良

7、部份侵入。良部份侵入。異物對策異物如何進入7 7 7 7/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異物金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異物 產生。產生。加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因 摩擦而產生異物。摩擦而產生異物。材料的角邊和材質會產生異物。材料的角邊和材質會產生異物。在在TFTTFT基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材 質會因剝落而產生異物。質會因剝落而產生異物。異物對策異物如何產生有摩擦的地方、部份等，全部會發

8、塵8 8 8 8/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材裝置驅動的地方就是產生異物的地方。裝置驅動的地方就是產生異物的地方。齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子等，會摩擦的地方等，會摩擦的地方 為發塵源。為發塵源。關於膠帶類的接著材的接著部份，在經過一定期間關於膠帶類的接著材的接著部份，在經過一定期間 後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有 細小的異物付著。細小的異物付著。人體會有很多細小的異物產生。人體會有很多細小的異物產生。皮膚、毛髮、體毛皮膚、毛髮、體毛等異物會產生。等異物會產生。異物對

9、策實際上從哪裡產生的?9 9 9 9/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材塵埃類塵埃類 土類、油類、煙類、塑膠類、其它。土類、油類、煙類、塑膠類、其它。金屬類金屬類 裝置類、器具備品類、保管庫、其它。裝置類、器具備品類、保管庫、其它。紙類紙類 包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文具。包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文具。人人 頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。異物對策有哪些種類的異物存在?一般雖統稱為異物，但在工場及其內部環境所發生的異物是各式各樣10101010/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓

10、練教材製程教育訓練教材裝置類裝置類 金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的摩擦。金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的摩擦。材料關係材料關係 材料材質的發塵，加工時的發塵。材料材質的發塵，加工時的發塵。梱包關係梱包關係 梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。人體人體 皮膚、手垢、體毛、動作。皮膚、手垢、體毛、動作。建築關係建築關係 外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。異物對策異物從哪裡產生?11111111/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材半導體是高精密度的圖案製成的

11、半導體是高精密度的圖案製成的 ,因此因此 ,圖案上若圖案上若 有東西附著或橫跨有東西附著或橫跨 ,會造成斷線及短路不良。會造成斷線及短路不良。TFTTFT是畫面的生命是畫面的生命,其中若有異物附著其中若有異物附著,會遮住於畫會遮住於畫 面面,造成不良。造成不良。ASSYASSY製程中若異物進入製程中若異物進入 B/L(BLACKLIGHT)B/L(BLACKLIGHT)內部內部 ,會遮住顯示畫面會遮住顯示畫面,看不見部份即為不良。看不見部份即為不良。異物是最大的敵人異物是最大的敵人 ,建造工廠必須花費很多經費建造工廠必須花費很多經費 ,因此設備也是異物對策中最優先的課題因此設備也是異物對策中最

12、優先的課題。異物對策半導體製造是和異物的戰鬥12121212/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 ArrayArray方面方面 4m4m以下以下。由於配線上之異物造成短路由於配線上之異物造成短路 ,斷線斷線。PanelPanel方面方面 4 m4 m以下以下 由於配線上之異物造成短路由於配線上之異物造成短路 ,斷線斷線。ModuleModule方面方面 B/LB/L異物是以異物是以250 m250 m以下做為良品判定基準以下做為良品判定基準 ,且以且以 畫面上之障礙物之大小為主畫面上之障礙物之大小為主。異物對策半導體現在和異物大小間的關係肉眼在外觀可視異

13、物為不良原因13131313/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 TFTTFT的面積比現在的晶圓大的面積比現在的晶圓大。晶圓尺寸是晶圓尺寸是 2530 2530 公分公分。TFT TFT 是大畫面是大畫面 ,即使有即使有 1 1 個規定以上的異物附著於個規定以上的異物附著於 畫面上畫面上 ,都會引起畫面不良都會引起畫面不良 ,因此比晶圓廠更嚴格因此比晶圓廠更嚴格 的塵度管理是有必要的的塵度管理是有必要的。現實上常因不良異物造成不良率達現實上常因不良異物造成不良率達 40 50%,40 50%,要說明要說明 如何對策異物是困難的如何對策異物是困難的 ,但若

14、能克服異物但若能克服異物 ,即能期待即能期待 高品質高品質 ,高良率的產出高良率的產出。異物對策異物是TFT之良品率的關鍵14141414/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 Array Array 製程製程9090分分 機器手臂引起的灰塵機器手臂引起的灰塵 ,設備的清潔設備的清潔 Panel Panel 製程製程7070分分 機器手臂機器手臂,仕掛品仕掛品 ,材料材料 ,作業面積作業面積 ModuleModule製程製程3030分分 通箱通箱 ,拖盤拖盤 ,材料材料 ,清掃清掃 ,5S,5S 品保品保3030分分 室內環境室內環境 ,5S,5S,室內面

15、積室內面積資材中心資材中心3030分分 室內面積室內面積 ,開梱開梱 ,搬入出方法搬入出方法 ,清掃清掃異物對策現在的異物環境達多少分?目標100分15151515/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材因成本的關係最少需因成本的關係最少需 90 90 分。分。本來本來 ,在工廠建設在工廠建設,設計階段時設計階段時 ,檢討出塵埃管理標準檢討出塵埃管理標準 來維持管理規定。來維持管理規定。造成工廠污染造成工廠污染 ,或低於設計以下的或低於設計以下的 ,是人所造成要教是人所造成要教 導相關知識導相關知識 ,及維持及維持 無塵室無塵室 清潔清潔 ,若無法推動若無法

16、推動 即會即會 造成污染。造成污染。制訂定期實施的適當維持體制制訂定期實施的適當維持體制 ,管理者的指導也是管理者的指導也是 很重要的。很重要的。異物對策異物環境至少需多少分?16161616/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材管理監督者必須對塵埃有深入的理解。管理監督者必須對塵埃有深入的理解。人員必須有塵埃的意識。人員必須有塵埃的意識。人員必須有塵埃的知識。人員必須有塵埃的知識。人員必須有對於塵埃的實際操作技能。人員必須有對於塵埃的實際操作技能。必須有對於塵埃的工作團隊體制。必須有對於塵埃的工作團隊體制。必須對塵埃管理。必須對塵埃管理。知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。異物對策異物對策必要的工作有那些？知不知道要做什麼？17171717/67/67/67/67PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材知識關於異物三原則及其具體的內容和異物。知識關於異物三原則及其具體的內容和異物。意識品質的關係和製造損失等。意識品質的關係和製造損失等。實技實際上如何做？實技實際上如何做？清掃道具什麼樣的