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1、传感器与检测技术课后习题答案第一章1什么是传感器？它由哪几个部分组成？分别起到什么作用？解：传感器是一种以一定的精确度把被测量转换为与之有确定对应关系的、便于应用的某 种物理量的测量装置，能完成检测任务；传感器由敏感元件，转换元件，转换电路组成。敏感元件是直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的物理量；转换元件把敏感元件 的输出作为它的输入，转换成电路参量；上述电路参数接入基本转换电路，便可转换成电 量输出。2传感器技术的发展动向表现在哪几个方面？解：（1）开发新的敏感、传感材料：在发现力、热、光、磁、气体等物理量都会使半导体 硅材料的性能改变，从而制成力敏、热敏、光敏、磁敏和气敏等敏感元件

2、后，寻找发现具 有新原理、新效应的敏感元件和传感元件。（2） 开发研制新型传感器及组成新型测试系统1MEMS技术要求研制微型传感器。如用于微型侦察机的 CCD专感器、用于管道爬壁 机器人的力敏、视觉传感器。2研制仿生传感器3研制海洋探测用传感器4研制成分分析用传感器5研制微弱信号检测传感器（3） 研究新一代的智能化传感器及测试系统：如电子血压计，智能水、电、煤气、热 量表。它们的特点是传感器与微型计算机有机结合，构成智能传感器。系统功能最大程度 地用软件实现。（4） 传感器发展集成化：固体功能材料的进一步开发和集成技术的不断发展，为传感 器集成化开辟了广阔的前景。（5） 多功能与多参数传感器的

3、研究：如同时检测压力、温度和液位的传感器已逐步走 向市场。3 传感器的性能参数反映了传感器的什么关系？静态参数有哪些？各种参数代表什么意义？动态参数 有那些？应如何选择？解：在生产过程和科学实验中，要对各种各样的参数进行检测和控制，就要求传感器能感 受被测非电量的变化并将其不失真地变换成相应的电量，这取决于传感器的基本特性，即 输出一输入特性。衡量静态特性的重要指标是线性度、 灵敏度，迟滞和重复性等。1） 传感器的线性度是指传感器的输出与输入之间数量关系的线性程度；2） 传感器的灵敏度S是指传感器的输出量增量 y与引起输出量增量 y的输入量增量 x的比值；3）传感器的迟滞是指传感器在正（输入量

4、增大）反（输入量减小）行程期间其输出 -输入特性曲线不重合的现象；4） 传感器的重复性是指传感器在输入量按同一方向作全量程连续多次变化时，所得特性 曲线不一致的程度。5） 传感器的漂移是指在外界的干扰下，输出量发生与输入量无关的、不需要的变化。漂 移包括零点漂移和灵敏度漂移等。传感器的动态特性是指其输出对随时间变化的输入量的响应特性：频率响应、时间常数、固有频率 和阻尼比等。1） 瞬态响应特性：传感器的瞬态响应是时间响应。在研究传感器的动态特性时，有时需 要从时域中对传感器的响应和过渡过程进行分析。这种分析方法是时域分析法，传感器对 所加激励信号的响应称瞬态响应。常用激励信号有阶跃函数、斜坡函

5、数、脉冲函数等。2） 频率响应特性：传感器对正弦输入信号的响应特性，称为频率响应特性。频率响应法 是从传感器的频率特性出发研究传感器的动态特性。为了减小动态误差和扩大频率响应范 围，一般是提高传感器固有频率CD no4.某位移传感器，在输入量变化 5 mm时，输出电压变化为 300 mV，求其灵敏度。第二章1.什么是应变效应？什么是压阻效应？什么是横向效应？解：应变效应，是指 在导体产生机械变形时，它的电阻值相应发生变化。压阻效应，是指半导体材料在某一轴向受外力作用时，其电阻率 p发生变化的现象。横向效应，是指将直的电阻丝绕成敏感栅后，虽然长度不变，应变状态相同，但由于应变片敏感栅的电阻变化较

6、小，因而其灵敏系数 k较电阻丝的灵敏系数k小的现象。2、 试说明金属应变片与半导体应变片的相同和不同之处。解：金属应变片由敏感栅、基片、覆盖层和引线等部分组成。金属电阻应变片的敏感栅有 丝式、箔式和薄膜式三种。箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔 栅，其优点是散热条件好，允许通过的电流较大，便于批量生产，可制成各种所需的形状; 缺点是电阻分散性大。薄膜式应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上 形成0.1卩m以下的金属电阻薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。它的优点是应变灵敏度 系数大，允许电流密度大，工作范围广。半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导

7、体材料的压阻效应。半 导体应变片的突出优点是灵敏度高，比金属丝式应变片高 5080倍，尺寸小，横向效应小，动态响应好。但它有温度系数大，应变时非线性比较严重等缺点。3、应变片产生温度误差的原因及减小或补偿温度误差的方法是什么?解：电阻应变片产生温度误差的原因： 当测量现场环境温度变化时，由于敏感栅温度系数 及栅丝与试件膨胀系数之差异性而给测量带来了附加误差电阻应变片的温度补偿方法：通常有线路补偿法和应变片自补偿两大类。1)电桥补偿是最常用的且效果较好的线路补偿法。电桥补偿法简单易行，而且能在较 大的温度范围内补偿，但上面的四个条件不一满足，尤其是两个应变片很难处于同一温度 场。2)应变片的自补

8、偿法是利用自身具有温度补偿作用的应变片。4、钢材上粘贴的应变片的电阻变化率为 0.1%，钢材的应力为10kg/mm2。试求1求钢材的应变。2钢材的应变为300 x 10-6时，粘贴的应变片的电阻变化率为多少 ？解： .F 是 R/R=2 ( l/l )。因为电阻变化率是 R/R=0.001，所以 l/l (应变)R l=0.0005=5 10 鼻| 6 a a 因 300 10 ,所以 .R R=2 300 10 上6 105、如系题图1-1所示为等强度梁测力系统，R1为电阻应变片，应变片灵敏度系数k =2.05，未受应变时R1 =120门，当试件受力F时，应变片承受平均应变；=8 10鼻，求

9、(1) 应变片电阻变化量和电阻相对变化量 迟/R,。(2) 将电阻应变片置于单臂测量电桥，电桥电源电压为直流 3V，求电桥输出电压是多少。(a) (b)习题图1-1等强度梁测力系统解： (1) 蛆=K& =2.05況810，=1.6410，心R =1.64乂10勺20 = 0.1968QR1解: (2)设桥臂比门=氏，分母中匚尺/尺可忽略，并考虑到平衡条件 區=區，则上式可写为:R1 R? R46、单臂电桥存在非线性误差，试说明解决方法。解：为了减小和克服非线性误差，常采用差动电桥在试件上安装两个工作应变片，一个受 拉应变，一个受压应变，接入电桥相邻桥臂，称为半桥差动电路，由教材中的式( 2-

10、42)可知，U与ARi/Ri呈线性关系，差动电桥无非线性误差，而且电桥电压灵敏度 K=E/2，比单臂工作时提高一倍，同时还具有温度补偿作用。第三章1. 为什么电感式传感器一般都采用差动形式 ？解：差动式结构，除了可以改善非线性，提高灵敏度外，对电源电压、频率的波动及温度变化等外界影响也有补偿作用；作用在衔铁上的电磁力，是两个线圈磁力之差， 所以对电磁力有一定的补偿作用， 从而提高了测量的准确性。2.交流电桥的平衡条件是什么？解：由交流电路分析可得Uo U (乙乙乙乙) 要满足电桥平衡条件，即Uo=0，则有：(Zi Z2XZ3 乙)3涡流的形成范围和渗透深度与哪些因素有关 ？被测体对涡流传感器的

11、灵敏度有何影响？解：电涡流的径向形成范围大约在传感器线圈外径的 1.82.5倍范围内，且分布不均匀。涡流贯穿深度h L(f)，定义在涡流密度最大值的jm/e处。被测体的平面不应小于传感器线圈外D的2倍，厚度大于2倍贯穿度h时，传感器灵敏度几乎不受影响。4 涡流式传感器的主要优点是什么 ？解：电涡流式传感器最大的特点是能对位移、厚度、表面温度、速度、 应力、材料损伤等进行非接触式连续测量，另外还具有体积小，灵敏度高，频率响应宽等特点，应用极其 广泛。5电涡流传感器除了能测量位移外，还能测量哪些非电量？解：还可以对厚度、表面温度、速度、 应力、材料损伤等进行非接触式连续测量。第四章1 某电容传感器

12、(平行极板电容器)的圆形极板半径 r=4(mm)，工作初始极板间距离、：0 =0.3(mm)，介质为空气。问：(1) 如果极板间距离变化量二1( Jm)，电容的变化量 C是多少？(2) 如果测量电路的灵敏度 k1 =100(mV；pF)，读数仪表的灵敏度k5 (格/ mV在 : = 1( Jm)时，读数仪表的变化量为多少？解: (1)根据公式C S - ，其中S=：r2d 心 d d d d 细k2(2)根据公式 k1 1 ,可得到.1= 0 =1 1 =0.02k? k? 52寄生电容与电容传感器相关联影响传感器的灵敏度，它的变化为虚假信号影响传感器 的精度。试阐述消除和减小寄生电容影响的几

13、种方法和原理。解：电容式传感器内极板与其周围导体构成的“寄生电容”却较大，不仅降低了传感器的 灵敏度，而且这些电容（如电缆电容）常常是随机变化的，将使仪器工作很不稳定，影响 测量精度。因此对电缆的选择、安装、接法都有要求。若考虑电容传感器在高温、高湿及 高频激励的条件下工作而不可忽视其附加损耗和电效应影响时， 其等效电路如图4-8所示。图中L包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感； Co为传感器本身的电容；CP为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生电容，克服其影响，是提高电容传感器 实用性能的关键之一；Rg为低频损耗并联电阻，它包含极板间漏电和介质损耗； R为高湿、高温、高频激励

14、工作时的串联损耗电组，它包含导线、极板间和金属支座等损耗电阻。此时电容传感器的等效灵敏度为当电容式传感器的供电电源频率较高时，传感器的灵敏度由 kg变为ke，ke与传感器的固有电感（包括电缆电感）有关，且随 3变化而变化。在这种情况下，每当改变激励频率 或者更换传输电缆时都必须对测量系统重新进行标定。3.简述电容式传感器的优缺点。解：优点：（1）温度稳定性好（2）结构简单（3）动态响应好（4）可以实现非接触测量， 具有平均效应缺点：（1）输出阻抗高，负载能力差（2）寄生电容影响大4.电容式传感器测量电路的作用是什么？解：电容式传感器中电容值以及电容变化值都十分微小，这样微小的电容量还不能直接被

15、 目前的显示仪表显示，也很难被记录仪接受，不便于传输。这就必须借助于测量电路检出 这一微小电容增量，并将其转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。电容转换 电路有调频电路、运算放大器式电路、二极管双 T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等5. 下图为变极距型平板电容传感器的一种测量电路， 其中G为传感器电容，C为固定电容, 假设运放增益A=-,输入阻抗Z=;试推导输出电压U0与极板间距的关系，并分析其工 作特点。题图4-1式中负号表示输出电压U o的相位与电源电压反相。上式说明运算放大器的输出电压与极板 间距离d线性关系。运算放大器电路解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题。但要求Z及

16、放大倍数K足够大。为保证仪器精度，还要求电源电压 Ui的幅值和固定电容C 值稳定。第五章1简述正、逆压电效应解：某些电介质在沿一定的方向受到外力的作用变形时，由于内部电极化现象同时在两个表面上产生符号相反的电荷，当外力去掉后，恢复到不带电的状态； 而当作用力方向改变时， 电荷的极性随着改变。 晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。 这种现象称为正压电效应。 反之，如对晶体施加一定变 电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随之消失，称为逆压电效应。2.压电材料的主要特性参数有哪些？解：压电材料的主要特性参数有：（1）压电常数：压电常数是衡量材料压电效应强弱的参 数，它直接关系到压电

17、输出的灵敏度。（2）弹性常数：压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。（3）介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元件，其 固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 （4）机械耦合系数：在压电效应中，其值等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比 的平方根； 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 （5）电阻压电材料的绝缘电阻：将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。 （6）居里点：压电材料开始丧失压电特性的温度称为居里点。3.简述电压放大器和电荷放大器的优缺点解：电压放大器的应用具有一定的应用限制，压电式传感器在与电压放大

18、器配合使用时， 连接电缆不能太长。优点：微型电压放大电路可以和传感器做成一体，这样这一问题就可 以得到克服，使它具有广泛的应用前景。缺点：电缆长，电缆电容 CC就大，电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏度降低。不过由于固态电子器件和集成电路的迅速发展，电荷放大器的优点：输出电压 U0与电缆电容C无关，且与Q成正比，这是电荷放大器 的最大特点。但电荷放大器的缺点：价格比电压放大器高，电路较复杂，调整也较困难。要注意的是，在实际应用中，电压放大器和电荷放大器都应加过载放大保护电路，否则在 传感器过载时，会产生过高的输出电压。4.能否用压电传感器测量静态压力？为什么?解：不可以，压电传感器本身的内阻抗

19、很高，而输出能量较小，为了保证压电传感器的测 量误差较小，它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器，所以不能用来测 量静态压力。5.题图5-1所示电荷放大器中Ca=100 PF, Ra=，R= ， R= ， CF=10 PF。若考虑引线电容Cc影响，当A=104时，要求输出信号衰减小于1%求使用90 PF/m的电缆，其最 大允许长度为多少？题图5-1示为第六章1说明霍尔效应的原理？解：置于磁场中的静止载流导体，当它的电流方向与磁场方向不一致时，载流导体上平行 于电流和磁场方向上的两个面之间产生电动势，这种现象称霍尔效应。2. 某霍尔元件I b d为1.0 0.35 0.1cm3沿I方

20、向通以电流I = 1.0mA，在垂直lb面方向加有均匀磁场B =0.3T，传感器的灵敏度系数为22V/A.T，试求其输出霍尔电势及载流子 浓度。19(q = 1.602 10 一 C )IB解：Uh =Rh 二KhIB，式中KH=R/d称为霍尔片的灵敏度dIB所以输出的霍尔电势为Uh =22 1 10* 0.3 =6.6 10 J，因为UH ，式中令Rh=-1/ ned(ne )，称之为霍尔常数，其大小取决于导体载流子密度，所以浓度_ IB 二_ 仆10%0.3 UHdq 6.6 10” 0.1 1.602 10J93.磁电式传感器与电感式传感器有何不同？解：磁敏式传感器是通过磁电作用将被测量

21、(如振动、位移、转速等)转换成电信号的一 种传感器。磁电感应式传感器也称为电动式传感器或感应式传感器。磁电感应式传感器是 利用导体和磁场发生相对运动产生电动式的，它不需要辅助电源就能把被测对象的机械量 转换成易于测量的电信号，是有源传感器。电感式传感器是利用电磁感应原理将被测非电量如位移、压力、流量、 、重量、振动等转换成线圈自感量L或互感量M的变化，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出的 装置。4.霍尔元件在一定电流的控制下，其霍尔电势与哪些因素有关？解：根据下面这个公式可以得到Uh =KHIBf(” ，霍尔电势还与磁感应强度 B, Kh为霍尔片的灵敏度,霍尔元件的长度L和宽度b有关。第

22、七章1.什么是热电势、接触电势和温差电势？解：两种不同的金属A和B构成的闭合回路，如果将它们的两个接点中的一个进行加热， 使其温度为T,而另一点置于室温To中，则在回路中会产生的电势就叫做热电势。由于两 种不同导体的自由电子密度不同而在接触处形成的电动势叫做接触电势。温差电势（又称 汤姆森电势）是同一导体的两端因其温度不同而产生的一种热电势。2说明热电偶测温的原理及热电偶的基本定律。解：热电偶是一种将温度变化转换为电量变化的装置，它利用传感元件的电磁参数随温度 变化的特征来达到测量的目的。通常将被测温度转换为敏感元件的电阻、磁导或电势等的 变化，通过适当的测量电路，就可由电压电流这些电参数的变

23、化来表达所测温度的变化。热电偶的基本定律包括以下三种定律：1） 中间导体定律：在热电偶回路中，只要中间导体两端的温度相同，那么接入中间导体 后，对热电偶的回路的总电势无影响。2） 参考电极定律：如果导体 C热电极作为参考电极，并已知标准电极与任意导体配对时 的热电势，那么在相同结点温度（T,T0）下，任意两导体 A、B组成的热电偶，其电势可由下式求得 Eab（T,T。）二 Eac（T,T。）Ecb（T,T。）3） 中间温度定律：在热电偶回路中，两接点温度为 T，To时的热电势，等于该热电偶在接点 T、Ta和 Ta、To时的热电势之和，即 Eab（T,To） =Eab（T,Ta） Eab（T9

24、To）3. 已知在其特定条件下材料 A与铂配对的热电势Eab（T，To）=13967mV，材料B与铂配对的热电势EBr（T，T。）=8.345mV，试求出此条件下材料 A与材料B配对后的热电势。解：根据热电偶基本定律中的参考电极定律可知，当结点温度为 T，To时，用导体A，B组成的热电偶的热电动势等于 AC热电偶和CB热电偶的热电动势的代数和，即：4.PtIOO和Cu5O分别代表什么传感器？分析热电阻传感器测量电桥之三线、四线连接法 的主要作用。解：PtIOO代表铂热电阻传感器，Cu5O代表铜热电阻传感器。三线制可以减小热电阻与测 量仪表之间连接导线的电阻因环境温度变化所引起的测量误差。四线制

25、可以完全消除引线 电阻对测量的影响，用于高精度温度检测。工业用铂电阻测温常采用三线制和四线制连接 法。5 将一只灵敏度为0.08mv/C的热电偶与毫伏表相连,已知接线端温度为50C,毫伏表的 输出为60 mv,求热电偶热端的温度为多少？解：T-60 750C0.086.试比较热电阻与热敏电阻的异同。解：热电阻将温度转换为电阻值大小的热电式传感器 ，热电阻传感器是利用导体的电阻值随温度变化而变化的原理进行测温的。热电阻传感器的测量精度高；有较大的测量范围， 它可测量一200500C的温度；易于使用在自动测量和远距离测量中。热电阻由电阻体、保护套和接线盒等部件组成。其结构形式可根据实际使用制作成各

26、种形状热敏电阻是由一些金属氧化物，如钻、锰、镍等的氧化物，采用不同比例的配方，经 高温烧结而成，然后采用不同的封装形式制成珠状、片状、杆状、垫圈状等各种形状。热 敏电阻具有以下优点：电阻温度系数大，灵敏度高；结构简单；电阻率高，热惯性 小；但它阻值与温度变化呈非线性，且稳定性和互换性较差。第八章1什么是光电效应，依其表现形式如何分类，并予以解释。解：光电效应首先把被测量的变化转换成光信号的变化，然后通过光电转换元件变换成电 信号,光电效应分为外光电效应和内光电效应两大类：a） 在光线作用下，能使电子逸出物体表面的现象称为外光电效应 ；b） 受光照的物体导电率-发生变化，或产生光生电动势的效应叫

27、内光电效应。R2 .分别列举属于内光电效应和外光电效应的光电器件。解：外光电效应，如光电管、光电倍增管等。内光电效应，如光敏电阻、光电池和光敏晶体管等。3.简述CCD勺工作原理。解：CCD的工作原理如下：首先构成 CCD勺基本单元是MOSt容器，如果MOSI容器中的 半导体是P型硅，当在金属电极上施加一个正电压时，在其电极下形成所谓耗尽层，由于 电子在那里势能较低，形成了电子的势阱，成为蓄积电荷的场所。 CCD的最基本结构是一系列彼此非常靠近的MOSfe容器，这些电容器用同一半导体衬底制成，衬底上面覆盖一层 氧化层，并在其上制作许多金属电极，各电极按三相（也有二相和四相）配线方式连接。CCD的

28、基本功能是存储与转移信息电荷，为了实现信号电荷的转换：必须使 MOS!容阵列 的排列足够紧密，以致相邻 MO电容的势阱相互沟通，即相互耦合；控制相邻 MOCfe容栅 极电压高低来调节势阱深浅，使信号电荷由势阱浅的地方流向势阱深处；在 CCD中电荷的 转移必须按照确定的方向。4.说明光纤传输的原理。解：光在空间是直线传播的。在光纤中，光的传输限制在光纤中，并随光纤能传送到很远 的距离，光纤的传输是基于光的全内反射。当光纤的直径比光的波长大很多时，可以用几 何光学的方法来说明光在光纤内的传播。设有一段圆柱形光纤，它的两个端面均为光滑的 平面。当光线射入一个端面并与圆柱的轴线成 Bi角时，根据斯涅耳

29、（Sn ell ）光的折射定 律，在光纤内折射成9 j，然后以9 k角入射至纤芯与包层的界面。若要在界面上发生全反 射，则纤芯与界面的光线入射角 9 k应大于临界角 c （处于临界状态时，9 r=90o），即：且在光纤内部以同样的角度反复逐次反射，直至传播到另一端面。5.光纤传感器常用的调制原理有哪些？解：1）强度调制原理2）相位调制原理3）频率调制原理4）偏振调制原理6.红外线的最大特点是什么？什么是红外传感器？解：红外线的最大特点是具有光热效应，可以辐射热量，它是光谱中的最大光热效应区。能将红外辐射量的变化转换为电量变化的装置称为红外探测器或红外传感器。红外传感器 一般由光学系统、探测器、

30、信号调理电路及显示系统等组成。7光敏电阻、光电池、光敏二极管和光敏三极管在性能上有什么差异，它们分别在什么 情况下选用最合适？解：光敏电阻(1)伏安特性：在一定照度下，流过光敏电阻的电流与光敏电阻两端的电压的关系称为 光敏电阻的伏安特性。光敏电阻在一定的电压范围内，其 I-U曲线为直线，说明其阻值与入射光量有关，而与电压、电流无关。在给定的偏压情况下，光照度越大，光电流也就越 大；在一定光照度下，加的电压越大，光电流越大，没有饱和现象。光敏电阻的最高工作 电压是由耗散功率决定的，耗散功率又和面积以及散热条件等因素有关。(2 )光谱特性：光敏电阻的相对光敏灵敏度与入射波长的关系称为光谱特性，亦称

31、为光 谱响应。光敏电阻的灵敏度是不同的。从图中可见硫化镉光敏电阻的光谱响应的峰值在可 见光区域，常被用作光度量测量(照度计)的探头。而硫化铅光敏电阻响应于近红外和中 红外区，常用做火焰探测器的探头。(3)光照特性：由于光敏电阻的光照特性呈非线性，因此不宜作为测量元件，一般在自 动控制系统中常用作开关式光电信号传感元件。(4)温度特性：光敏电阻受温度的影响较大。当温度升高时，它的暗电阻和灵敏度都下 降。温度变化影响光敏电阻的光谱响应，尤其是响应于红外区的硫化铅光敏电阻受温度影响更 大。光敏二极管(1)光谱特性：一般来讲，锗管的暗电流较大，因此性能较差，故在可见光或探测赤热 状态物体时，一般都用硅管。但对红外光进行探测时，锗管较为适宜。(2)伏安特性：光敏晶体管的光电流比相同管型的二极管大上百倍。(3)温度特性：从特性曲线可以看出，温度变化对光电流影响很小，而对暗电流影响很 大，所以在电子线路中应该对暗电流进行温度补偿，否则将会导致输出误差。光电池(1)光谱特性：光电池对不同波长的光的灵敏度是不同的。光谱响应峰值所对应的入射光波长是不同的，硅光电池在 0.8卩m附近，硒光电池在0