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半导体行业氢氟酸中毒危害及个人防护完整版.docx

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2、ms.【适用制定规则/统一目标/规范行为/增强沟通等场景】编 写:_审 核:_时 间:_部 门:_半导体行业氢氟酸中毒危害及个人防护完整版下载说明:本解决方案资料适合用于解决各类问题场景,通过提出的方法与对策来应付,常见种类如计划方案、设计方案、施工方案、技术措施,本质是人和产品之间建立可触达的桥梁,实现匹配问题,修正问题,预防未来出现同类问题。可直接应用日常文档制作,也可以根据实际需要对其进行修改。氢氟酸档案氢氟酸:Hydrofluoric Acid; CAS:7664-39-3分子式:HF 分子量:20.2;俗名:氟酸、白骨酸、化骨水、洗钻水、除锈剂、酸洗等;特征:具有刺激气味及剧毒性,属

3、于中等强度偏弱的酸,与金属氧化物、氢氧化钠和碳酸盐反应生成金属氟盐,具有溶解硅和硅酸盐的性质,与三氧化硫或氯磺酸生成氟磺酸,与卤代芳烃、醇、烯、烃类反应生成含氟有机物,溶于水生成腐蚀性很强的酸;用途:氢氟酸主要用于半导体行业和玻璃蚀刻剂,因为硅的化学性质不活泼,常温下不与水、空气、酸反应,与强碱反应。注意事项:氢氟酸如不当使用可能对人体的严重危害,其暴露途径包括皮肤及黏膜接触、呼吸道吸入及肠胃道摄入,皮肤若接触到50以上较高浓度的氢氟酸,会立刻引起疼痛、泛白、红肿反应,1至2小时内产生水泡,6至24小时则会坏死及溃烂,若接触到10以下较低浓度者,则往往于6小时或更长时间才发生疼痛等症状,因此常

4、被当事人忽略而太晚处理,最后造成永久性伤害,一般常见受伤害的部位为手指。另外,如呼吸道、肠胃道等其它途径暴露,将产生咳嗽、烧灼感及呼吸困难等症狀,或造成腹痛、恶心、吐血、肠道穿孔等症狀。氢氟酸对人体的伤害,除了酸性腐蚀伤害外,进入人体的氟离子可能与钙、镁离子结合,导致血钙过低、血镁过低和血钾过高,进而影响神经和心脏血管系统。使用氢氟酸时应避免与身体接触,包括皮肤、眼睛及呼吸道等,预防皮肤接触时需佩戴氟化聚乙烯(PVDF)、天然橡胶等材质之手套为佳,不要使用布质及棉质手套,并于易飞溅场合应做到全身防护,可使用连身式防护服、防化靴/工作靴,眼部应使用护目镜或全面式面罩。若不慎遭到氢氟酸腐蚀,应尽速

5、采用大量的清水冲洗患部至少30分钟,直到身上看不到任何附着的固体或液体,并尽速送医,就医时应携带所接触的化学品,以提供医护人员及时进行正确诊疗。 氢氟酸分子小渗透力强,如不清洗彻底将产生蚀骨的永久性伤害,直至节肢;危害、防护和紧急处理健康危害: 对皮肤有强烈的腐蚀作用。灼伤初期皮肤潮红、干燥。创面苍白,坏死,继而呈紫黑色或灰黑色。深部灼伤或处理不当时,可形成难以愈合的深溃疡,损及骨膜和骨质。本品灼伤疼痛剧烈。眼接触高浓度本品可引起角膜穿孔。接触其蒸气,可发生支气管炎、肺炎等。慢性影响:眼和上呼吸道刺激症状,或有鼻衄,嗅觉减退。可有牙齿酸蚀症。骨骼线异常与工业性氟病少见。燃爆危险:本品不燃,剧毒

6、,具强腐蚀性、强刺激性,可致人体灼伤。皮肤接触:立即脱去污染的衣着,用大量流动清水冲洗至少15分钟。就医。眼睛接触:立即提起眼睑,用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。吸入: 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。食入: 用水漱口,给饮牛奶或蛋清。就医。危险特性:本品不燃,但能与大多数金属反应,生成氢气而引起爆炸。遇发泡剂立即燃烧。腐蚀性极强。有害燃烧产物: 氟化氢。灭火方法: 灭火剂:雾状水、泡沫。应急处理: 迅速撤离泄漏污染区人员至安全区,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防酸碱工作服。

7、不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。小量泄漏:用砂土、干燥石灰或苏打灰混合。也可以用大量水冲洗,洗水稀释后放入废水系统。大量泄漏:构筑围堤或挖坑收容。用泵转移至槽车或专用收集器内,回收或运至废物处理场所处置。操作注意事项: 密闭操作,注意通风。操作尽可能机械化、自动化。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩),穿耐酸碱服,戴橡胶耐酸碱手套。防止蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。搬运时要轻装轻卸,防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。储存注意事项:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源

8、。库温不超过30,相对湿度不超过85。保持容器密封。应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。监测方法: 离子选择性电极法;氟试剂镧盐比色法工程控制: 密闭操作,注意通风。尽可能机械化、自动化。提供安全淋浴和洗眼设备。呼吸系统防护:可能接触其烟雾时,佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或空气呼吸器SCBA。紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴氧气呼吸器。眼脸防护:呼吸系统防护中已作防护,或配防飞溅防护眼镜或眼罩,防飞溅全面具。身体防护:穿耐酸碱防护服、防护围裙、袖套等。手足部防护: 戴橡胶耐酸碱手套/防化靴。其他防护:工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作完毕,淋浴更衣。单独存放被毒物污染的衣服,洗后备用。保持良好的卫生习惯。主要用途: 用作分析试剂、高纯氟化物的制备、玻璃蚀刻及电镀表面处理等。禁配物: 强碱、活性金属粉末、玻璃制品。废弃处置方法:用过量石灰水中和,析出的沉淀填埋处理或回收利用,上清液稀释后排入废水系统。包装方法:装入铅桶或特殊塑料容器内,再装入木箱中。空隙用不燃材料填充妥实;装入塑料瓶,特种电木、橡胶或铅容器,严封后再装入坚固木箱中。木箱内用不燃材料衬垫,每箱净重不超过20公斤,35公斤包装每箱限装4 瓶。 本处可输入公司或团队名字THIS TEMPLATE IS DESIGNED BY FOONSHION

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