93 ESD防护程序.docx

1、93 ESD防护程序華容電子(昆山)有限公司標準編號: A-04-093-X3C0551版次頁數日期發行編號1282008.5.15標準承認校對製表華容電子(昆山)有限公司文件修訂記錄表文件名稱:ESD防護程序文件編號:A-04-093-X3C0551版本變更內容頁(數)次(發行)變更日期製表校對標準承認ECN編號連絡書編號1首次發行162004.02.012增加管控所依據之工業標准: ANSI/ESDS20.20162005/11/1831對各部門權責定議作修改.2.增加ESD季度稽核內容162006/1/174刪除,新增&修改內容(6.1) 72006/3/105增加靜電帽鞋更換定義，增加

2、點檢異常處理方式72006/4/246增加人員進入廠區前的防靜電處理措施12006/12/147增加靜電地板82007/1/128.增加靜電工作桌墊測試NG處理方式82007/1/269部分內容新增82007.2.510靜電線點檢內容修改82007.3.1511設備接地電壓量測6-2(1)82008.4.2212修改6-112008.5.151. 目的：1.1.改善產品品質並減少及去除ESD對產品的損害。1.2.藉由供應商與公司內部ESD標準的建立與實行，以降低產品不良的發生與耗損。1.3.建立可測量且有效的稽核程序，以控管ESD防護。1.4.減少客戶產品的損害，並增加產品的可靠度。2.範圍：

3、建立廠內各電子敏感項目之ESD最小管制的規範，以確保產品在生產期間不因過高的靜電壓，造成產品立即性的不良及可靠度的下降，因此本規範將針對生產活動中可能會產生靜電的製造活動進行最小之ESD管制要求及檢驗測試的方法。3.權責：3-1. 靜電防護實施：制造,品管,倉庫。3-2. 測試標准制訂 : 工程部3-3. 靜電防護查核：品管部門。4.名詞定義 : ESD: Electrical static discharge,靜電放電.5.ESD管控所依據之工業標准: ANSI/ESDS20.206.內容：6-1 人員方面(1) 凡進入靜電工作站作業人員需接受ESD防護訓練課程，並統一出題進行考試，以80分

4、為及格，方能進入靜電工作站作業，未及格者於一周內進補考，補考再不及格者呈報單位主管處理。(2) 所有直/間接人員在進入工廠車間前，著裝必須改著防靜電服, 防靜電鞋，防靜電帽且須將身體上靜電導出。具體方法為:(a).凡須通過客戶更衣室進入車間的人員需靜電消除處理，將身上的靜電導掉后，方能進入車間。(b).如通過員工更衣室進入車間的人員，則通過靜電環測試的方法將身上靜電導掉，然后進入車間。 表1 ESD防護訓練課程內容對象課程內容受訓時間直接人員及間接人員1.ESD介紹。2.ESD防護目的。3.生產線ESD防護規範。4.ESD防護基本作業規範。5.ESD防護設備儀器介紹與使用。4小時ESD負責人及

5、靜電專業講師1.ESD介紹。2.ESD防護目的。3.ESD基本知識介紹。4.ESD防護基本作業規範。5.ESD防護設備儀器介紹與使用。6.Audit實習20小時(3) ESD負責工程師資格經ESD防護訓練課程20小時以上，檢定認證並取得廠內靜電工程師資格証，如圖一。(4) 直接及間接人員年度考核凡安排需進入靜電安全區域或靜電安全工作站作業之直接及間接人員（已取得認證者），各單位每年需舉辦在職訓練，並於課後進行測驗，以確認所有直接及間接人員之ESD觀念，未通過者得予以於一週內補考一次，若再次檢定未過，則取消其原有之認證資格，並呈報單位主管。(5) 頭髮(Hair)作業員進入工作站前需將頭髮綁束整

6、齊於帽內，以避免非故意的碰觸, 嚴禁作業員頭髮暴露于帽緣外。(6) 靜電環(Wrist Strap)(a).每日上班前，所有作業員須佩戴有繩接地靜電環，以靜電環測試儀檢測靜電環接地是否良好, 結果記錄於（附件7-4靜電環每日檢測記錄表）IPQC每日進行抽檢，將結果記錄于(附件 7-1靜電環抽樣檢測記錄表)，直接接觸PCBA人員必須帶靜電環&靜電手套,包材類加工人員可不帶靜電環須帶棉手套(手指套)。 (b).靜電環測試器需每年進行校驗。(7) 靜電衣帽& 靜電鞋(a).靜電衣帽以表面阻抗測試器檢測時，其單位面積之電阻值需介於105至1011。(b).靜電鞋以表面阻抗測試器檢測時，其單位面積之電阻

7、值需滿足1*109。(c).靜電衣帽&鞋經清洗過後需用表面阻抗測試器檢測其功能是否正常， 將結果記錄於（附件7-2靜電衣帽&拖鞋靜電點檢抽樣記錄表）每半年須更換。 (8) 靜電地板(a).靜電地板以表面阻抗測試器檢測時，其單位面積之電阻值需小于109。（附件7.14靜電地板量測記錄表）(b).靜電地板按照規定的測試點要求每季度測一次(c).靜電測試器需每年進行校驗。6-2機器/設備/治具/工作台方面 a.設備 (1)所有帶電設備須接地，用萬用表量測接地電壓值，AC電壓0.5V。使用方法將2支表筆分別接觸在設備接地線上&設備導體上，結果記錄於（附件7.15設備接地電壓值記錄表）(2) ESD檢測

8、儀器使用&新增請購(a).靜電環測試儀及表面阻抗測試儀於使用前，須進行檢測儀器自主校驗，以確定儀器之檢測正常性。若發現儀器檢測異常，則須立即送至儀校室檢修。(b).新進檢測儀器購入，各單位須將操作方法，以書面報告的方式知會儀校，經校驗合格后方可使用。(c)如檢測儀器超過校驗有效期限時，不得使用，應速送往儀校室校驗，經校驗合格後方可繼續使用。(3). ESD檢測儀器報廢(a).不能使用之ESD測試儀器及設備的報廢，需參考廠商所提供之資訊，並依公司行政作業及ISO14000環保相關要求處理。(b).待報廢之ESD檢測儀器及設備需於外表標示明顯標誌，等候消帳處理，以避免誤用。(4). ESD檢測儀器

9、管理流程 圖二 ESD檢測儀器管理流程b. 治工具(1).產線使用之治工具須接地，每月測試接地狀態(交流電動工具：阻抗20或者DC電壓150mV；電池驅動或氣動手持工具：阻抗1.0*1012) (2).治工具接地狀態確認需使用數字萬用表。將萬用表2表筆分別接觸治工具上與產品直接接觸的導體位置與三廂插座接地極，使用檔與交流毫伏檔測試阻抗值與交流電壓值。(3).靜電敏感區域內之特殊治工具靜電壓需做SPC管制。每日測量結果記錄於(附件7-7 ESD靜電管制圖) 每月須統計產線靜電不良直通率,結果記錄於（附件7-8 ESD直通率）。如客戶有特殊要求,依客戶要求作業.(4).治具靜電壓測試需使用靜電場測

10、試儀。使用方法請參照靜電場操作說明書(C-06-100-X3C0600)。(5).當治工具接地狀態不達標時，應立即停止使用，並交付維修單位或廠商進行維修，維修候須再次確認其接地狀態，Ok後,方可繼續使用。c.工作台(1).工作桌墊須使用表面阻抗1*109之靜電消散型之材料。(2).測試須采用表面阻抗測試儀，使用方法請參照表面阻抗測試儀操作說明書(C-06-080-X3C1300)(3).工作桌墊之表面阻抗由品管人員負責點檢,檢驗合格後在桌墊上粘貼合格標籤，如圖三。檢驗結果記錄於(附件7-10靜電表面阻抗點檢記錄表)。 圖表三 靜電工作桌墊ESD檢驗合格標籤(4). 工作台上所有非必要的絕緣體，

11、譬如那些塑料或紙質的產品(如咖啡杯子、食物封包以及其它個人物品)必須移除。(5).測試NG處理方式: 靜電工作桌墊測試無法達到SPEC，須噴涂防靜電液並重新測試確認，若噴塗防靜電液後仍無法達到SPEC須知會ESD專案工程師並更換靜電工作桌墊。d. 靜電線(1) 靜電線靜電總線每月須點檢，工作區域靜電支線阻抗值須小于4，靜電總線阻抗值須小于2；（附件7-5靜電接地測試記錄表7-12靜電總線點檢記錄表）(2) 以上測試結果須記錄，測試方法：靜電線測試方法:將萬用表一只表筆接於總線，另一表筆接於要測試之靜電線(或設備接地線)測試點，並將數字萬用表打至檔，測試此2點間的阻值。(3) 測試NG處理方式：

12、責令不良生產線或者工作站停線整頓，並立即通知電工處理，修復OK後，重新確認合格方可恢復生產。6-3. 材料方面(a).所有ESD敏感元件、半成品及無機殼之成品應隨時置於防靜電容器中。(b).所有對無防靜電包裝的ESD敏感元件、半成品及無機殼之成品的處理均須在靜電防護區域內完成。在非保護區域，ESD敏感物件必須使用靜電防護包裝。(c).未使用之敏感元件應為密封式包裝，並貼有便於識別的靜電防護標籤。(d).在製程中的敏感元件，須折疊袋口或覆蓋盒口的方式作為保護，嚴禁敏感元件在未受保護的情況下任意零散的擺放。(e).ESD敏感元件的包裝外應貼上靜電防護標籤，而標籤應使用一目瞭然的符號，並貼於靜電防護

13、包裝外顯而易見的位置。(f).成品包裝材料需使用靜電防護材料, 電阻值需介於104至1011之間，結果記錄于(附件7.9防靜電包材靜電點檢抽樣記錄表)。(g).當發現有未上線的ESD敏感元件、半成品及無機殼之成品無靜電防護包裝保護或者包裝防護能力已失效，應立即隔離此部分ESD敏感元件、半成品及無機殼之成品，並及時施加防護措施並消除可能的ESD危險。另相關責任單位應立即檢討造成疏漏的原因，並制定對策以避免類似問題再發生，必要時須知悉相關部門主管處理。6-4 .環境(1). 溫度需控制1830、溼度需控制在30-70RH%，並每日定時檢測記錄（附件7-3溫濕度管理表單）以降低靜電的產生。依溫濕度管

14、理標準 A-04-094-X3C0551(2). 當濕度可能超出控制限時，應立即改善。濕度過低可開啟增濕器已適當提高濕度；濕度過高則需開啟空調除濕檔以降低。(3). ESD防護區域附近必須張貼明顯且易於辨識的警告標識。(4). ESD敏感區域應定時自檢 (5). 對於考慮可能因靜電場造成ESD敏感元件損傷的區域，須使用離子風扇將異性離子中和。針對離子風扇需每月檢測離子平衡值-10+10V之間及最佳狀態靜電電壓余量確認，結果記錄於(附件7-11離子風扇日常點檢保養表)。6-5 .方法(1).工作站應避免放置或使用會產生靜電的物品，工作站所有物體的靜電壓不得大于200V，若須放置則須離敏感元件至少

15、1公尺之距離。(2).所有方法均應按照SOP執行。6-6 .稽核管理(1) .ESD每日自主檢查(a).靜電環每日點檢,IPQC稽核作業員是否落實執行自主檢查,。(b).監控現場環境溫溼度之控制，並每日定時檢測及記錄。(c).確認工作站之接地線路無斷裂或損毀的狀況發生.(2) .ESD每月自主檢查及稽核複查各單位需每月執行ESD自主檢查,品管依附件7-6 ESD MASTER LIST)進行稽核. 稽核發現有重大缺失時受檢單位于一星期內提出明確解決方案. 如靜電工作桌墊測試無法達到SPEC,則可加涂靜電液並重新測試確認,或更換靜電工作桌墊,靜電線(3) .ESD季度稽核(a).Review厂内

16、ESD教育训练、管理执行及落实情况追踪所有日常点检情况及异常处理结果, 檢查結果應予以記錄並驗收前次稽核需改善的結果。 (b).ESD季度Review会议定為每季度最后一周周一召開.(4)異常處理方式(a).所有點檢發現超出範圍時需立即通知管理部調整並告知部門主管。知會品管開立“ESD異常改善對策單”(附件7-13 PQ068*1)。(b).稽核時發現有異常將結果記錄於(附件7-6 ESD MASTER LIST)並開立“ESD異常改善對策單“對策單位於24小時回覆改善對策。(5).ESD年度稽核(a).年度稽核由ESD負責工程師於每年12月依定期實施。(b).將年度稽核所發現之重要缺點，由受

17、檢單位於一星期內提出明確的解決方案，並訂定解決方案時間表。(c).稽核結果經ESD負責工程師整理後於兩星期內，以書面報告的方式，呈報廠區最高主管。 6-7. 記錄維護所有記錄保存一年.7.附件: 7-1. 靜電環抽樣檢測記錄表 7-2. 靜電衣帽&靜電鞋點檢抽樣記錄表 7-3. 溫濕度管理表單 7-4. 靜電環每日檢測記錄表 7-5. 靜電接地測試記錄表 7-6. ESD MASTER LIST 7-7. ESD靜電管制圖 7-8. ESD直通率 7-9. 防靜電包材靜電點檢抽樣記錄表 7-10. 靜電表面阻抗點檢記錄表 7-11. 離子風扇日常點檢保養表 7-12. 靜電總線點檢記錄表 7-13. ESD異常改善對策單7-14. 靜電地板量測記錄表 ( PE111*1)7-15. 設備接地電壓值記錄表 (PQ061*1)