despatch操作界面.docx

1、despatch操作界面 Despatch操作界面1.总界面1）System Status：显示当前加热状态，传送带和公用的或别的系统功能。2）RUN：打开所有的系统。STOP：启动终止程序，这样加热器开始冷却。当加热器失效，加热区温度开始下降而其它功能键换是灰色。一旦温度达到200，加热器显示失效并且运输停止3）EXIT：退出CDF操作系统。4）User Information：用户信息。显示日期和时间，用户ID号和使用的安全等级。5）Light Tower Status：灯塔状态。绿色，黄色，或红色灯打开或断开。红色警报。 黄色警告，系统要求操作者帮助。 绿色系统准备好或运行。6）ACTI

2、VE PROFILES/RECIPE IN USE：激活的配置文件/当前的程序使用中。7）RT Graph ：数据记录/图表。监视工艺剖面图。8）CHILLED WATER TEMPERATURE SUPPLY/RETURN：冷冻水进水和出水温度。10) SECURITY SETUP ：设置/安全设置。按这个按钮并且改变或创建用户特权，只有管理员才可进 行操作。11）LOG OUT：退出系统。12）SIGNAL CALIBRATION：校准。显示模拟输入或输出的校准屏幕。13）PID TUNING：比例积分微分调整。显示PID闭环运行和控制屏幕。14.) ALARM STATUS：显示报警状态

3、屏幕。15) SYSTEM PARAMETERS ：系统参数。16）THROUGHPUT CALCULATOR：生产量计算。计算硅片的生产量。17）I/O ACCESS 输入/输出信号进入。显示输入输出屏幕，直接提供输入 输出控制模块。18）Recipe Directory配方目录。列出当前有用的配方。19）Monitor/Recipe/Power Profile 识别屏幕各区的工作状况：正在运行的 程序，功率的剖面图或 者监视当前的系统。20）Dryer & FurnaceTemperatures烘干和烧结区温度。对照当前的实际的 温度，设定点温度和计 算PID CV（每个配方工艺参数当前值

4、和设定值的百分比）。2.Log-In/Log-Out:登录/注销登陆进入后，用户名和访问等级显示在主屏幕的右上角。3.SECURITY SETUP安全设置管理员进入SECURITY SETUP屏幕为各访问级别设置密码。4.EXIT：退出关闭设备时要使用适当的操作规程，按退出按钮并确定，会损坏系统，因为退出系统会关闭 用户程序界面，冷却系统操作将停止，那传送带也会停止而没有适当地冷却。5. Status Display 状态显示6. VIEW LIMITS（查看范围）：编辑工艺配方值范围。1）relative band ：与传送带成比例 inches：英寸2）High Alarm:高位报警。3）

5、High Alert：高位警告。4）Low Alert：低位报警。5）Low Alarm ：低位警告。7. Recipe ：装载和管理配方1） load：加载 view：查看 delete：删除 refresh：刷新2） Edit recipes编辑程序先按 Recipe 箭头选出使用的程序，然后加载。Working With Power Profiles：使用功率配置文件。在功率配置屏幕上，加热灯管最大功率以内都可以进行调整。最大的功率输出极限是300。 8.RT Graph 曲线图1)Trace Selection Lists:图形选择列表。选中指定的区域来选择数据图表的曲线图，或者 取消

6、选中指定的区域来隐藏指定信号的曲线图。2)Scale Dialog ：比例对话框。为每个图形的比例来选择最小和最大值。3)CHANGE Dialog Box ：改变对话框，点击CHANGE调整数据记录设置。点击Datalogging Enabled 复选框激活或不激活数据记录，更改这个属性值并键入一个新的值，或者使用向上或向下滚动键。Max Log Size：最大数据日记文件容量，当达到最大容量时，最初储存的数据会丢失。Log interval：记录间隔。Auto-Save time：自动保存时间。每个文件自动保存到操作磁盘的间隔。更改完成后，点击save保存，或按restore恢复原设置，点

7、击cancel关闭对话框。4)Data Log File Status :数据记录文件状态。显示数据文件信息：当前进入文件， 进入最大文件的数量，当前文件的容量，最大文件的容量。5)Plot Selection :图表选项。有用图的名单，6)Trace Selection Box:图形选择框。三个列表窗口显示每一栏可利用的图形，在每个框里 选择一个图形。7)CLEAR:清除。点击此按钮可删除数据，清除曲线图中旧的数据。在确定对话框中，点击ok可清除数据，点cancel可放弃操作。8)Save:保存。9)copy data log file:复制数据记录文件。 Clear Data Graph

8、Confirmation Window清除图表数据确定窗口 Optional Data Graph Change Dialog Window选择图表数据更改对话窗口Save Data Graph Dialog Window保存图表数据对话窗口9.System Parameters系统参数1）Chilled Water High Limit冷却水上限。冷却水的最高温度值，超过了设备会报警。2）Lamp Power Threshold：灯管功率开始值。当灯管功率低于开始值时，设备会报警。3）Maximum Exhaust Pressure：最大的排气压力。当排气压力超过了极限值时设备会报警。4）T

9、emperature Scale：温标。选择摄氏温度还是华氏温度。5）In/Cm：选择英寸还是厘米。7）Conveyor Process control time limit,min传送带工艺控制期限。8) Conveyor Process Stabilization Time,min 传送带工艺稳定时间。在指定时间内让传送带达到设定点的速度。9) Thermal Process control time limit,min热量工艺控制期限。10) Thermal Process Stabilization time, min热量工艺稳定时间。在指定时间内让所有的加热区域达到希望的温度。11)

10、 Cooldown Temp:冷却温度，在停止传送带之前的温度。10.Alarm Status报警状态1） ACK DISPLAYED ALARMS确定显示报警，注意确定一个报警并不能清除报警。2） 移动报警信息列表：home:原点，scroll up ：滚动向上，scroll down:滚动向下，end:终点3） 报警状态显示：红色：报警出现了没有确定。绿色：报警清除了但没有确定。橙色：报警出现了并且已确定了。4）Alarm History Screen报警历史记录屏幕Reset :清除报警历史记录。5)Event History Screen事件历史屏幕Show all events:显示

11、所有的事件。Show alarm events only:只显示报警事件。11.I/O Access 输入输出通道。1） Discrete outputs ：开关量输出。Dry heat enable:使烘干炉加热 conveyor enable :开启传送带 Frn HL Reset: Frn Heat Enable: 使烧结区加热 CDA Enable ：开启压缩空气 Cooling water enable: 开启冷却水 UBC supply valve: UBC Drain valve: red light: 红灯 yellow light:黄灯Green light: 绿灯 alar

12、m hom: 警报器 Air cool sup fan1:冷却进气风扇1 Air cool sup fan2 冷却进气风扇2 Air cool Exh fan1: 冷却排气风扇1 Air cool Exh fan2:冷却排气风扇22)Analog outputs:模拟输出Dry upper SCR hz 1-4 烘干区上部加热1-4区可控硅 Frn upper SCR HZ1-6 烧结区上部加热区1-6区可控硅 Frn Lower SCR1-6 烧结区下部加热区1-6区可控硅Conv speed control 传送带速度控制 Analog belt sync control 同步皮带模拟控制

13、 Analog belt sync disable同步皮带不模拟控制 ZERO零点3)Discrete inputs开关量输入。Dryer heat enabled:使烘干区加热 Dry lift actuators enable: 使烘干区提升制动器动作 CDA pressure OK:压缩空气压力正常 CDA flow OK 压缩空气流量正常 cooling water flow: 冷却水流量 mode switch normal:模式开关正常Furnace heat enable 使炉子加热 frn lift actuators enable使烧结区提升制动器动作 ups on back

14、up:UPS在供应 Ups battery low UPS电池电量不足UBC tank fill level UBC tank emptyAir cool sup fan 1 VFD ok 冷却进气风扇1 变频器正常。 Air cool sup fan 2VFD ok 冷却进气风扇2 变频器正常。 Air cool Exh fan 1 VFD ok冷却排气风扇1变频器正常。 Air cool Exh fan 2 VFD ok冷却排气风扇2变频器正常。Frn HZ1-6 upper lamps ok ：烧结加热1-6区上面灯管正常 Frn HZ1-6 lower lamps ok烧结加热1-6区

15、下面灯管正常 4)Thermocouple inputs：热电偶输入。Dry Hz1-4 control 烘干加热1-4区控制 Frn HZ1-6 control 烧结加热1-6区控制 CW supper CW return 5)conveyor speed inputs:传送带输入速度。Rate,counts/second 比率，数/秒 speed,inches/minute速度，英寸/分6) I/O client 输入/输出客户端 7) I/O server 输入/输出服务器8) Tcp I/O network ok 传输协议 输入/输出网络正常9) RTU I/O network ok

16、远程终端 输入/输出网络正常10)Ultrasonic belt cleaner：超声波皮带除尘器。Cleaning time :清洗时间。Max Fill time ：最大充满水时间。点击箭头去增加或减小等离子水进水阀打开时间。Max Drain Time：最大排水时间。点击箭头去增加或减小等离子水排水阀打开时间。Belt Speed：皮带速度。Time Remaining：剩余时间。Start Cleaning.：启动清洗。Start conveyor: 启动传送带。12.PID Tuning比例积分微分调整。PID控制屏幕为传送带速度和烘干和烧结区提供控制参数的调节，PID回路调节可减小

17、参数值偏移，振荡，不受控制超限和反应迟钝。1)Loop Parameters :Selected PID Loop Name选择PID回路名称：在Loop Selection列表里选择。PV （Process Value）工艺值：当前测量值（由I/O系统测量）。Act SP（Actual Set Point）实际设定值：实时控制过程值（由PID运算法则要求计算值）。SP（Set Point）设定值：实际设定值用于对当前的修正，点击上下滚动键去修改值。SP RR （Set Point Ramp Rate）设定值的斜坡度：P（Proportional Gain）比例放大率。PID增益参数，在总误差

18、的百分比。I （Integral Rate）积分比。PID积分误差参数。D （Derivative time）微分时间。Upper Out Max上部最大极限值范围。Upper Out Min 上部最小极限值范围。Lower Out Max 下部最大极限值范围。Lower Out Min 下部最小极限值范围。PID Mode ：在自动和手动之间触发PID模式。Man Out （Manual Output）手动输出。强迫输出电平能设置。Output输出量；发送到设备的计算值。Loop selection环路选择。Scale dialog 比例对话框。Restore factory default

19、s 恢复出厂设置。13.Calibration 校准 Analog Inputs 模拟信号输入。Analog Outputs 模拟信号输出。Selected Signal 选择信号Calibration Coordinates :标定坐标。coordinate Values：坐标值。ADD 加法运算。DEL 删除校准点。14.报警信息与故障维修：1）Software Error 软件错误。软件发生一个非致命错误。2）High Idle Temperature 空转时温度高。关机时，有一个或更多加热区温度超过冷却时间极限值时的 温度。3）TCP I/O Network Failure 传输协议

20、输入/输出网络故障。控制电脑同远程终端通讯连接失败，这个 故障不能恢复。4）RTU I/O network Failure远程终端 输入/输出网络故障。5）Dryer Zone 1-4 High Temperature Alarm 烘干1-4区高温报警。6）furnace Zone 1-4 High Temperature Alarm烧结炉1-6区高温报警。7）Excessive Lift Force 升降机过载。8）Furnace Zone 1-6 Upper Lamp Burnout 炉子1-6区上部灯管烧坏。9）Furnace Zone 1-6 lower Lamp Burnout 炉子

21、1-6区下部灯管烧坏。10）Low Cooling Water Flow冷却水流量偏低。冷却水流量开关打开了。11）Conveyor Speed Control Failure传送带速度控制失败。测量出的传送带速度不在设定的公差范围内。12）Dryer Zone 1-4 Temperature Control Failure烘干1-4区温度控制失败。加热时，控制的温度不在设 定的温度范围内。13） Furnace Zone 1-6 Temperature Control Failure烧结1-6区温度控制失败。加热时，控制的温度不在 设定的温度范围内。14） Dryer Zone 1-4 Th

22、ermocouple Open烘干1-4区热电偶断开。15） Furnace Zone 1-6 Thermocouple Open 烧结1-6区热电偶断开。16） Cooling Water Supply Thermocouple Open循环冷却水给水热电偶断开。17） Cooling Water ReturnThermocouple Open循环冷却水回水热电偶断开。11）Temperature High Limit温度超过最高限制。最高温度限制继电器失效。12）UPS on Backup Power UPS正启用。13）UPS Battery Low UOS电池电量不足。14）Maxim

23、um Exhaust Pressure Exceeded 最大排气压力超限。 15）Conveyor Belt Failure 传送带皮带故障。皮带速度低于报警下限。16）Dryer Zone 1-4 Heater Failure烘干1-4区加热器故障。控制温度低于报警下限。 17）Furnace Zone 1-6 Heater Failure烧结1-6区加热器故障。控制温度低于报警下限。18）Control Switch in Maintenance Mode 控制开关在维修模式。19）High Cooling Water Supply Temperature 循环冷却水给水温度偏高 20）

24、High Cooling Water Return Temperature 循环冷却水回水温度偏高21）Low Air Pressure压缩空气压力偏低。 22）Low Air Flow 压缩空气流量偏低。23）Cooling Fan VFD（VARIABLE FREQUENCY drive）Fault 冷却风扇变频器故障。24）Lamp Mon PWB Comm Failure25）Exit VOC Unit Pressure Alarm出口挥发性有机物冷凝器压力报警26）Entrance VOC（Volatile Organic Compound Condenser ） Unit Pres

25、sure Alarm入口挥发性有机物 冷凝器压力报警27）Mass Flow Alarm Upper Dryer Zone 1-4烘干区1-4上部质量流量计报警28）Mass Flow Alarm lower Dryer Zone 1-4烘干区1-4下部质量流量计报警29) Mass Flow Alarm Dryer Entrance Baffle 烘干区入口堵塞引起质量流量计报警30) Mass Flow Alarm Dryer exit Baffle烘干区出口堵塞引起质量流量计报警。31) Mass Flow Alarm Furnace Rapid Cool烧结炉快速冷却引起质量流量计报警

26、。32) Cooling Water Section Alarm 冷却水区报警。33) Emergency stop notification 急停按钮被按下。34) Main Contactor Cannot Be Reset 主接触器不能重新吸合。 A.确信电源供应主分离器（隔离开关）闭合，并且确定主分离器输入电源存在。 B.确实所有的急停按钮都被拔出，如果任何一个急停按钮开关断开，主接触器将不会吸合。检查 急停按钮电源输入电压120VAC和输出电压24VDC是否正常，如果没有输入电压，就检查电路断 路器， 如果有输入120V电压但没有输出24V，更换急停按钮电源。C.如果有24V输出电压

27、，检查急停按钮电压。D.如果系统有UPS电源，确保它是接通的。35）Supply And Exhaust Fans Do Not Run 冷却进气和排气风扇不运行。A.进入I/O Access 检查Air Cool Sup Fan 1 and 2, and Air Cool Exh Fan 1 and 2 的图标， 是否接通。B.检查每个电机断路器。C.检查每个电机变频驱动器的指示灯是否亮着。D.检查每个电机的输入电压，如果电机有电压但电机不运行，更换它。36）Main Circuit Breaker is ON but Computer Will Not Turn ON 主断路器接通但电脑不

28、打开。A.确定电脑和显示屏接通。B.检查电脑连接电缆。C.检查110VAC电源断路器。D.确定UPS电源接通。37）Conveyor Belt Motor is ON but Belt Not Rotating 传送带电机接通了但皮带不旋转。A.确信PID回路没有设置在手动。B.确信传送带没有卡住或者被阻碍物勾住了（这要打开上面盖子）。C.是不是皮带打滑，如果滚轮在旋转但皮带没有移动，是传送带太松了，切除皮带一部分再装上。D.调整滑动离合器。E.检查每个电机断路器。F.检查每个电机变频驱动器的指示灯是否亮着。G.检查每个电机的输入电压，如果电机有电压但电机不运行，更换它。H.如果必要的话重新启

29、动整个系统。38）There Is No Heat In A Drier Or Furnace 一个烘干或烧结区不加热。A.进入I/O Access 屏幕，在开关量输入信号区检查加热灯管是否烧坏。绿色表示灯管运行。B.检查炉子加热电路的断路器/熔断器。C.用毫安表检查直流信号电流是否4-20mA 。D.检查加热器可控硅。看是否有电源输出，如没有，更换可控硅。E.如果可控硅有输出电源但加执灯管不加热，查找加热电路是否断线。F.如果可控硅有输出电源，也没有断线，但加热灯管还是不加热，用万用表电阻档检查加热灯管 电阻，如果阻值无穷大，更换加热灯管。39）A Cooling Water Loop Do

30、es Not Have Water flow冷却水回路没有水流量。A.进入 I/O Access屏幕确定 Cooling Water Enable（开启冷却水）接通。B.确定外围冷却水供应接通。C.确定进水和回水气阀都打开。D.确实冷却水过滤器没有堵塞。关闭入口的截止阀并按步骤去清洗过滤器。E.检查电磁阀电压（灯亮），如果没有，更换电磁阀。40）There Is No Air Pressure 没有气压。A.进入 I/O Access屏幕确定确保 CDA Enable（开启压缩空气）接通。B.确信供应炉子的压缩空气接通。C.确信空气进气阀打开。D.检查进气电磁阀的电压。E.确信空气调节器设置正

31、确。41） A Furnace Clamshell Will Not Lower Or Raise烧结炉上腔室不能下降或上升。A.确信上腔室所有螺母都已拆除了。B.确信Normal-Maint 开关在Maint （维修）位置。C.确信升降机提升接触器吸合。D.检查每台电机的限位开关。E.确信 Raise-Lower开关有110VAC输入电源。F.确信升降驱动的中间继电器通电，如果没有，检查四个过载限位开关。G.检查上腔室提升电路变压器是否有输入电源，如没有，检查电路断路器，如有，检查是否有输 出电压24VAC，如没有，更换变压器。H.检查上腔室提升电路整流器输出的直流电压，如果没有输出电压，检查整流电路断路器。I.把Raise-Lower开关扳到Lo