1、二次配工程规范中纬积体电路(宁波)新建工程气体管线二次配工程规范CONTENTS PAGES1. 目的 32. 范围 33. 文件送审 44. 施工说明 45. 其他说明 96. 验收标准 107. 保固期限 121.目的为使设备机台按照计划顺利装机、运转,且亦能维护Hook Up二次配管施工之品质及作业安全。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。2.范围2.1.制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装;Hook-up范围,GN2、PN2、PO2、CDA自主管预留阀至机台内部接点(含支管),PH2、SiH4、SiH4/N2由气体站氢气纯化器出口及SiH4、SiH4/N2气瓶
2、柜出口接至机台(含VMB),其他特殊气体自位於气体房或Subfab之气瓶柜/架至机台内部接点(含VMB/VMP),其中必要的管线、管件及焊接所需气体,均由承包商负责提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及预留take-off阀尺寸及数量,请参照”FAB栋一层大宗气体二次配平面图”(图号SP-211);各VMB/VMP位置,请参照”FAB栋一层特殊气体二次配平面图”(图号SP-212);气体站至FAB间气体管线,请参照”气体站至FAB栋气体二次配管线平面图”(图号SP-234);GN2、PN2、PO2、CDA自take-off阀至机台间所需装设之阀件,请参照”SP-2二次配管详图”(图号SP-2
3、31);而take-off阀及VMB/VMP与机台衔接点等相关资料,请参照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根据该表资料,设计至机台管线之路径。2.2.前项气体管线Hook-up工程之管路细部设计、施工图绘制、ISO图绘制(Auto 2000或以上版本图档予顾问及业主)、安装後泄漏侦测、各项不纯物量测、讯号测试、材料存放及废料清洁等杂项工程。其中施工图及ISO图面,需依照机台用量流程图(P&ID)及机台设备外观图绘制,并配合材料明细表供业主确认。2.3.本
4、项工程为连工带料施工,并包含施工中所需之施工工具、施工设备、无尘服、安全防护器具、管支撑及杂项消耗等,均由承包商负责。2.4.配合”二次配工程说明”(规范标号NS-SP001)要求所需各项杂项费用。2.5.所有管路标示,管路标示依照”二次配工程说明”办理。2.6.所有管路防震固定支撑架之安装定位。2.7.高架地板开孔及收边之工程发包、请款,切割区域管理。2.8.气体站至FAB间管线所需管桥由业主提供,承包商需负责依业主指示规划气体管线路径,并负责安装所需管夹等固定装置。3.文件送审文件名称投标阶段(3份)设计阶段(5份)竣工阶段(5份)报价表(Quotation form)X专案组织表(Pro
5、ject organization)XX专案执行时程表(Project schedule)XX工程界面清单及位置图(List & location of tie-in point)XXX系统管仪图(P&IDs)XXX焊接设备清单(Equipment list)XXX设备及材料型录及资料(Vendors catalogs and information to support his quotation, including electrical system & I/C system)XXX仪表安装详图(Instrument installation drawing)XX送审文件清单及时程(Tr
6、ansmittal list and schedule)X品质管制程序书(Quality control procedure)X工地办公室及物料暂存区需求(Site office and warehouse requirements)X验收及测试计划/报告(Inspection & test plan/reports)XX制造商测试报告(Manufactures inspection & test reports/records)XX计算书(Contractors calculations)XX管线配置图(Pipe routing plan)XXX管线支撑详图(Pipe support dra
7、wing)XX管材规格(Piping material specification)XX管线施工程序书(Piping construction specification)XX注: 1. 承包商需於得标後一周内提出文件送审清单,并於施工前2周提送设计文件及相关管件及标示实体供审核;送审图面则需在业主提出意见後3天内修改并再次送审。2. 所有送审文件必须以中文或英文书写;英文送审文件需附中文说明。3. 所有竣工阶段需提送之文件均需检附电子档4.施工说明4.1.一般说明4.1.1.承包商应於施工前提送施工程序书及管路测试程序书,经审核通过後,方可据以施工。4.1.2.承揽商需於工作场所设置工程负责
8、人,需有相关工程经历三年以上,其工作职责为:4.1.2.1.施工进度控制。4.1.2.2.施工人员管理及安排。4.1.2.3.材料数量管制。4.1.2.4.现场会勘放样。4.1.2.5.参与承揽商沟通协调会议4.1.3.承揽商需於工作场所设置品管负责人,需有相关工作经历三年以上,其阶层与工程负责人同等,其工作职责为:4.1.3.1.施工品质控制。4.1.3.2.施工完工品质验收。4.1.3.3.施工验收报告汇总。4.1.3.4.原料进厂自主检查。4.1.4.承揽商需於工作场所设置物管负责人,需有相关工作经历一年以上,其工作职责为:4.1.4.1.材料数量管理。4.1.4.2.进厂料件验收。4.
9、1.5.承揽商需於工作场所设置工安卫负责人,需有相关工作经历一年以上,其阶层与工程负责人同等,其工作职责为:4.1.5.1.现场安全卫生工作监督。4.1.5.2.参与承揽商安全卫生协调会议。4.1.5.3.承揽商施工人员安全卫生训练。4.1.6.施工人员数组,依工程数量适时增加人员,但在工程期限内最低需保留三组,每组人员最少三人,每组至少有一人有焊接执照,并由一资深组长带领,所有进厂施工之人员必须经过认可且通过工安检定之人员。4.1.7.品管人员数组,依工程数量适时增加人员,但在工程期限内最低需保留一组,每组人员最少二人,由一资深组长带领,但不可由品管负责人担任。4.1.8.承揽商有任何人员调
10、动需经过认可,且业主相关之人员有权提出异议要求更换,承揽商不得有异议。4.2.材料说明4.2.1.气体管线之分类及其材质要求如下表规定办理。气体种类材质一般大宗气体GN2CDACDA (for burnbox)SUS 316L BA/ 5SSUS 316L AP/ 5SSUS 304 / 5S自燃性气体SiH4, SiH4/N2, PH3/N2内管SUS 316L EP/外管SUS 304其他气体PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr, PHe, N2O,
11、He/O2SS 316L EP/ 5S;另BCl3、SiH2Cl2之管线需提供加热带以确保供气量。4.2.2.各类管线、管件及仪表厂牌,请依下表规定办理,承包商应以一次配选用厂牌为优先考量,如欲选用非下表规定之厂牌,需经过业主审核同意後使得选用。项目规格厂牌SUS 316L BA pipeRmax 3.0mSumikin/ KuzeSUS 316L BA tubeRmax 3.0 mSumikin/ KuzeSUS 316L BA fitting (for pipe)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-letSUS 316L BA fitting (for
12、tube)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-letSUS 316L EP pipeRmax 0.7 mSumikin/ KuzeSUS 316L EP tube (注1)Rmax 0.7mSumikin/ KuzeSUS 316L EP fitting (注1)Rmax 0.7mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-letSUS 316L BA valve (15A)Bellow valve, Rmax 4.5 mKitz/ Ohno/ MotoyamaSUS 316L BA valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax
13、 3.0 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ MotoyamaSUS 316L EP valve (15A)Bellow valve, Rmax 1.0 mKitz/ Ohno/ MotoyamaSUS 316L EP valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax 0.7 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ MotoyamaRegulatorSUS 316L EP, VCR type, Rmax 0.1 m)PN2、PO2每段支管末端。所有机台Tie-in点前。1 pcs/scf ( 0.1 m)其他制程气体机台Tie-in点前1 pcs/scf ( 0.
14、1 m)6.6.氧气含量测试:6.6.1.承包商应使用PN2作为purge gas,并连续纪录氧气含量变化,以观察其下降趋势及作为是否合格之依据。6.6.2.各类气体测试点及含量要求应依下表办理:气体种类应测试位置氧气含量要求GN2每段支管末端。所有机台Tie-in点前。100 ppbPN2每段支管末端。所有机台Tie-in点前。10 ppb其他制程气体机台Tie-in点前10 ppb6.7.验收时需检附各项测试报告及竣工ISO图面。7.保固期限自验收合格後保固期限一年。附件一 Bulk Gas Take-off ListTAKE-OFFTAKE-OFFTool机台流量机台接机台接NOTENO
15、.尺寸LPM头尺寸头型式GN55011/2CV-etcher/QC LabCV-etcher55 3/8DECAP(QC)-1/8ETCHER(QC)-1/4GN55021/29F19F125 1/49F1120 3/89F1120 3/8GN55031/29F29F2120 3/89F2120 3/8GN55041/28F8F55 3/88F50 3/88F50 3/8GN55051/2WJ-999(1)/(2)WJ-999(1)55 3/8WJ-999(2)55 3/8GN55061/2SPAREGN55071/2ND-6200ND-620020 1/4ND-620020 1/4GN550
16、81/2NOVELLUSNOVELLUS20 1/4NOVELLUS20 1/4GN55091/2SPAREGN55101/2SPAREGN55111/2SPAREGN55121/2SPAREGN55131/2AMI 8330CAMI 8330C3 1/4AMI 8330C3 1/4AMI 8330C3 1/4AMI 8330C3 1/4GN55141/2SPAREGN55151/2AMI 8330DAMI 8330D3 1/4AMI 8330D3 1/4AMI 8330D3 1/4AMI 8330D3 1/4GN55161/2AMI 8330BAMI 8330B3 1/4AMI 8330B3 1/4AMI 8330B3 1/4AMI 8330B3 1/4GN55171/2SPAREGN55181/2LAM 590A/PSC-4LAM 590A10 1/2LAM 590A3 1/2
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