电阻式蒸发镀膜机具体操作说明书Word下载.docx

1、二、抽空抽真空1、 手动抽空的顺序?此操作是正常抽空镀膜，不包括冷机抽空?注3：抽空之前应先检查腔体炉门是否关好，触摸屏的V5阀是否处于关闭状态，机械泵油、线缆接头是否松动、转架是否正常、炉体清洁、装载铝丝、装载工件、等等！ 待以上工序检查完毕确保无误后，首先点击触摸屏上的“粗抽泵1和“粗 抽泵2图像按键，翻开粗抽泵。开泵之后待10秒钟！再点击触摸屏上的“V1 阀图像按键，翻开“V1阀?粗抽阀?进入粗抽状态。紧接的点击触摸屏上 的“真空计按键，翻开“真空计。待真空度抽到600Pa时！?注4：真空度的换算本人会在下面讲解?再点击触摸屏上的“罗茨泵图像按钮，翻开“罗茨泵。保持在粗抽状态。待真空度抽

2、到2Pa以下时！将触摸屏上翻开的 V1阀“关闭！待完全关闭后?一般关闭需要2秒钟?再点击触摸屏上的“V2 阀图像按钮，翻开“V2阀，紧接翻开“V2阀3秒后，再点击触摸屏上的“V3阀图像按钮，翻开“V3阀。这时已经进入精抽状态。待真空度抽到 本体真空就可以镀膜了。一般电阻式蒸发镀膜机的本体真空设定在0.02Pa 至0.05Pa之间。“本体真空：就是镀膜所需要到达真空度，就是白话所讲的 到达这个真空度才能镀膜。“注4：真空度的换算“真空是指小于大气压力的空间的总称。单位：Pa 帕斯卡在这里本人所讲的是怎样将空间看不到的压力变成用数字来直观的看到，如何将其书面形式书写出来真空度与真空计上显示的一致。

3、举例：书写方式1000 Pa、 100 Pa、 10 Pa、 0 Pa、显示方式1.0*10 Pa、 1.0*10 Pa 1.0*10 Pa 1.0*10 Pa书写方式 0.1 Pa、 0.01 Pa、 0.001 Pa、显示方式 1.0*10 Pa 1.0*10读： “1000 Pa 一千帕、 “1.0*10 Pa 一点零乘十的三次方帕 以上是以帕为单位，真空还有另一个单位“托，托与帕的换算如下： 1托=133帕2、自动抽空状态，机械泵油、线缆接头是否松动、转架是否正常、炉体清洁、等等！自动抽空本人在这里就不多讲了，自动是由PLC编程实现的，我公司已将执行步骤写入了编程，包括：抽空、镀膜、关

4、阀放气腔充气但开关阀门以及机械泵需要一个外部的真空点设置，此点就在真空计上，所以操作人员只要知道如何调整真空点的方法即可。真空计上一共有6个设置点，其中有两个没有用到，现在本人就讲一下每个控制点所控制点位：设定1：扩散泵加热保护真空。 出厂值 15Pa超出15Pa扩散泵将 停顿加热，同时设备将发出报警信号，并提示扩散泵前级报警设定2：空设定3：罗茨泵的翻开点。 出厂值 600 Pa设定4：V2阀?前置阀?的翻开点。 出厂值 0.8 Pa设定5：空。设定6：本体真空设置点。 出厂值 0.02 Pa设置方法设置扩散泵加热真空 “ 设定1点先将真空计面板上的开关打到关闭状态，然后再翻开，当真空计显示

5、窗出现“000000的时候用手指以最快的速度按住J1键，这时真空计面板左窗口显示1.0*105而且数值还在往上涨从1.0*105.1.1*105.1.2*105.1.3*105.一直到1.5*10这时上限值闭合点已经调好，这时松开手指间隔1-2秒再按J1键开场调下限值放开点，下限值是从1.5*10开场，操作方法和上限值调法一样，上下限制控制在0.5以，也就是2.0*10Pa。当调好后紧接着按下真空计面板右侧的“自动键3秒等到真空计右显示窗左上方的“自动小黄灯亮时，这时设置点已经设定好了。当调上下限时真空计面板上的“ 上下箭头会亮起来，调上限值向上箭头会自动亮起来，调下限值向下箭头也会自动亮。当

6、一切设置点设定好后，待真空计显示实际真空时左右窗口都有真空显示不是“000000时，再长按设置点，这时真空点的设置上下值会交替出现，如果显示的还是1.0*105，那说明还是没有调好。三、蒸发的原理以及工艺的调节与制定 镀膜1、电阻式蒸发镀的原理电阻式蒸发镀的原理：是通过电流通过钨绞丝所产生的电阻热而实现将固态的物质变成液态然后到达沸点在进展升华蒸发的过程。2、调节方法电阻式蒸发镀分为预热段、预溶段、线性蒸发段三个步骤。但是这三个步骤与时间长短、电流大小有着密切的关系，本人认为应做到短时间中电流，长时间小电流、蒸发电流呈线性上升的方式作为调整工艺的通常调法，比方同等电流时间长二分之一就会变黄，时

7、间较长就会变黑。膜层厚度过厚也会带一点黑色，但是是金属本色黑色。膜层薄则呈现色。、预热段的现象：预热段炉体钨丝根本没什么变化，只是给钨丝一定安培的电流先加热，通常的工艺电流在600A-1000A之间，时间在10-30秒。 、预溶段的现象：这时炉体的钨丝会有发亮现象，然后铝丝像爆一样的动作， 紧接着将从固态慢慢的变成液态。通常的工艺电流在800A-1200A之间，时间 在5-15秒、线性蒸发段：这个阶段最为重要，膜层变黑变黄都是在这个阶段出现的， 蒸发时炉体的现象，所有的钨丝都到达了像60瓦灯泡那样亮比喻， 随着电流的加大会越来越亮，铝丝刚开场时像水滴一样倒挂在钨丝上，随 着电流的加大慢慢的会被

8、完全蒸发掉。钨绞丝环温度同样随着电流升高 的也在不断的升高通常的工艺电流在1200A-2700A之间线性上升，时间 在10秒之。3、工艺制定以及实际操作方法：参数工艺顺序ArN2OSi2OC中频电压中频电流蒸发电流时间第一步辉光450mL1.5Pa1450V0.5A5第二步预热0.02Pa800A15第三步预溶0.01Pa1000A10第四步蒸发1350A7第五步SiO2300mL150mL0.55Pa1500V0.6A 具体操作如下：上方工艺具体操作? 待真空度抽到2.0*10 Pa 时，首先点击触摸屏上炉体下方的电机?转架? 图像按钮，翻开“转架，转架频率调至50-60Hz，待确保转架已经

9、启动之后， 在执行上方工艺表中的第一步，“辉光。辉光首先应翻开流量控制盒上2路 流量计，将2路流量计面板的拨动开关从“关闭拨到“阀控位置这时2 路流量计?氩气?出于翻开状态，紧接着旋转面板上的旋钮调刻度为450ML ?刻度为十进制一圈?，应注意真空度是否有变化。注：真空度保持的原因是 外界无气体进入腔体，所以越抽越高，现在正好相反，我们是给腔体一定量 的高纯气体使其真空度降低，好到达我们镀膜所需的恒定真空度。如发现真 空有降低，这说明加的气体已经进入腔体，也可我说流量计已经翻开了。谨记：扩散泵是以真空定气量，分子泵是以气量定真空。至于为什么，本人 会在后面讲解?是真空度保持在1.5*10 Pa

10、，紧接着按下中频电源面板上 的蓝色开关按钮，翻开中频电源，电压调到1450V?右侧窗口显示?电流会 自动显示，如无显示证明腔靶面没有起辉，如有起辉定有一定的电流。辉 光所产生的空间气氛颜色为浅蓝色。辉光的时间是5分钟。 待第一步辉光完毕后，先关闭2路流量计，将面板的拨动开关从“阀控拨 到“关闭位置，然后在关闭中频电源，按下中频电源面板上的红色按钮。 待真空度恢复到2.0*10 Pa 时，紧接着进入第二步“预热首先翻开蒸发 电源?按下面板上的蒸发电源按键?，然后在调整电流旋钮，电流调至电流表 指针指在800A的刻度上，在此刻度上保持15秒，预热完成紧接着在800A 的根底之上再加大电流到1000

11、A的刻度上，保持10秒。预溶完成。紧接着用 最短的时间将电流1000A调到1350A保持7-10秒钟。这时蒸镀已经完成，剩 下最后一步镀硅油，首先将蒸发旋钮调到0A关闭蒸发电源，再点击触摸屏上 的“V3图像按钮，关闭“V3阀?阀体图像上方会有一条红线下落下来， 落到最低时V3就已经关闭了?。待2秒后再关闭“V2阀。紧接着翻开“V1 阀。再翻开3?笑气?4?HMDSO?路流量计，同样将拨动开关从“关 闭拨到“阀控位置。将笑气设定在300ML，将3siosi气设定在150ML，真 空度保持在5.5*101.5*10 Pa，然后翻开中频电源，电压调到1500V，电 流0.5A-0.7A保持5分钟，待

12、镀完5分钟后关闭流量计、中频电源，就可以 关阀充气了。4、镀料的使用方法 电阻式蒸发镀膜的镀料有以下几种：铝丝、铝片：锡丝：铜丝：铬丝 重点讲一下铝丝，铝丝蒸镀用的领域比拟广，比方说玻璃镀镜、化装品瓶、 装饰品、车灯、服装、反光瓦等等！使用方法： 铝丝在炉体的装载量的多少决定着膜层的厚度。蒸镀铝丝要求纯度在 99.95%以上，直径在0.8-2mm之间，装载量在0.5克/每根钨丝，一般0.8 直径的铝丝松绕3-4圈，长度在2-4cm之间即可。错误的缠绕方法就是将铝丝缠了几圈之后再拧成麻花状，这样不仅提高预溶的时间，也会出现蒸发不完全的现象铝丝的粗细不一，本人就不一一讲解了，但有捷径可循，就是将铝

13、丝装一定的量，挂满炉工件试镀，一试便知铝丝多少5、退镀 铝遇碱遇酸都会被其腐蚀。所以平安的方法是取浓度为40%的氢氧化钠对水 便可去掉铝膜。四、关阀充气与停机冷机关阀充气是工艺执行完毕之后所需要做的工序，本人重点讲解一下“手动关阀充气“手动停机以及“自动停机。自动关阀充气我已在第二节已经讲过了在此本人就不做讲解了。1、 手动关阀充气待?接?三.3工艺完毕之后,点击触摸屏的“真空计关闭“真空计。紧接着关闭“V1阀和“罗茨泵，待罗茨泵倒计时到零时再关闭粗抽泵1和粗抽泵2，待冷却20秒，点击触摸屏上的“V5图像按钮，翻开“V5充气阀进展充气。待炉门翻开时，关闭“V5阀。剩下的就是，取挂、装铝、上挂，

14、进展下一镀膜周期。2、 手动停机当执行完最后一炉后，将镀好的工件取下，关上炉门，将炉体抽得一定的真空才能关机，首先点击触摸屏上的“粗抽泵1和“粗抽泵2图像按键，翻开粗抽泵。再点击触摸屏上的“V1阀图像按键，翻开“V1阀?紧接的点击触摸屏上的“真空计按键，翻开“真空计。再点击触摸屏上的“罗茨泵图像按钮，翻开“罗茨泵。待真空度抽到2Pa以下时！关闭“真空计。紧接着关闭“V1阀和“罗茨泵，待罗茨泵倒计时到零时再关闭粗抽泵1和粗抽泵2。最后再点击触摸屏上的“扩散泵图像按钮关闭“扩散泵?弯曲线变成黑色?待冷却90分钟，然后点击触摸屏上的“维持泵图像按钮，关闭维持泵。再按下电柜面板上的“电源关按钮，这是设

15、备电源已经处于关闭状态，最后在关水泵，空气压缩机，以及总电源。3、 自动停机自动停机前的抽空顺序与手动停机的一样，只有关闭扩散泵和维持泵与手动停机不同，具体如下：待停机抽空完毕，请点击触摸屏上的“快捷菜单按钮，再点击快捷菜单中“自动开关机按钮，在自动开关机设定画面里点击“自动停机按钮，启动自动停机，停机时间为90分钟?出厂设定值?.?谨记：自动停机的时间不要小于90分钟?待90分钟过后，关水泵，空气压缩机，以及总电源，自动停机完成。五、设备的保养镀膜室的日常保养1.1 必须保证镀膜室的清洁，无油污、无粉尘等。1.2 镀膜室壁及衬板用棉布沾无水丙酮擦洗，擦洗过程中，密封圈不可与 丙酮接触，防止密

16、封圈老化引起漏气。2 2*-70真空泵的日常保养2.1 必须保证真空泵的清洁，无油污、无粉尘等，泵上不得摆放其他物品。2.2 检查油位 a.油位过高，造成喷油。 b.油位过低，影响抽速。2.3 检查旋片式真空泵的质量，如果发现有乳化现象，应开启真空泵，并翻开 气镇阀，工作约30min后关闭气镇阀。3. 罗茨泵的日常保养3.1 必须保证罗茨泵的清洁，无油污、无粉尘等，泵上不得摆放其他物品。3.2 检查油位a.油位过高，使温度升高。 b.油位过低，造成润滑不良。3.3 检查罗茨泵的温度，温升不得超过40度。4. 冷水机及冷却塔的日常保养4.1 必须保证冷水机的清洁，无油污、无粉尘等。4.2 检查冷

17、水机及冷却塔的水位。4.3 检查冷却水路，必须保证水路通畅。5空气压缩机的日常保养5.1 必须保证空气压缩机的清洁，无油污、无粉尘等。6. 电器系统的日常保养6.1 必须保证各电器系统的清洁，防止灰尘过多引起的短路。6.2 必须保证各电器系统的通风良好。 设备的定期保养1.镀膜室的定期保养1.1 设备制镀约100炉后，必须对工件架，电极进展清洗。1.2 对炉体衬板进展打磨处理，除去炉杂物及铝层， 用吸尘器吸干净炉杂物。1.3 清理完炉体后，用铝丝空镀一炉，以除去炉壁衬 板上的水分及杂物。2 2*-70真空泵定期保养2.1 真空泵工作300炉左右，就应及时换油一次，在湿度较大的地区，在潮湿季节工

18、作的泵，或被气体污染很大时，应根据具体情况酌情缩短换有 时间。2.2. 将泵撤除真空系统，将低盘泵体一端垫高，翻开放油阀放油，转动真空泵，捂住排气口，使泵腔污油全部从放弃口放出，再从加油孔加上新油。2.3. 换油时不宜长时间开动电机，以免使排气阀跳动过于剧烈和疲劳。2.4. 严禁用煤油、汽油、酒精或丙酮对泵做费拆卸的清洗。2.5. 如果泵停放时间较长，应取下排气罩，换上排气塞，封闭进气口，放净冷却水，在比拟冷的地区，应在冬季不生产时一定要放净泵体的冷水，以防冻裂真空泵。3. 罗茨泵真空泵的定期保养3.1. 检查联轴器及垫片是否松动和损坏。3.2. 检查齿轮箱和前端轴承箱轮滑油是否变质。3.3.

19、 检查油封是否损坏。3.4. 检查易损件是否有磨损现象。4. 电器系统的定期保养4.1. 各电器原件经长期运行之后，必须检查各部件的绝缘电阻及其工作性能。5. KT-800型高真空扩散泵的定期保养5.1. 扩散泵由于长期工作，及其性能就会逐级变坏，应拆下扩散泵检查油量 是否减少或氧化，以便增加油量或清洗后烘干换油。换新油周期视情况 而定，一般为半年。5.2. 一次拆装后如性能上不去，可检查是否密封可靠或装配不当。5.3. 油扩散泵长期存放，最好抽至低真空，以防油污染和个零件腐蚀，并应 吹尽冷水管和水套的剩水。六、镀膜机验收报告见七、作业指导书本产品名称；型号；客户名称；编写日期；工艺流程；清洗-UV-半成品检验-镀膜-下挂-检验-组装-出货实物照片考前须知及具体操作具体操作；首先再装炉前确定炉以清理干净。 将上好在挂具车上的整挂产品一一放入真空室，待装满炉后，翻开转架试转，确认无刮蹭现象方可关闭炉门进展抽空作业。考前须知；在正常抽空情况下，炉边严谨无人看守 严谨将产品放入炉后不试转现 象发生。 试转时注意刮蹭现象 严谨再操机时时与人闲聊。规；严谨在不带任何手套的情况下进炉，在上挂时一定要带上线手套、口罩。检验；用品；1； 口罩 2；防静电手套材质；ABS产量；pcs/h自检；是备注1真空炉作业备注3备注2备注4批准；审核制定