太阳能工艺流程docWord格式文档下载.docx

1、变压器最大输送500KVA由高新区统一供水1200万度/年由高新区统一供电绿化23685平方米厂房施工时实施环保工程废气处理酸碱雾洗涤塔4套（4个15米排气筒）一期项目已建设实施（8个排气筒）硅烷燃烧塔3套（3个15米排气筒）活性炭吸附塔1套（1个15米排气筒）酸碱废气洗涤塔处理系统1套（1个25米排气筒）二期扩建项目已建设实施（5个排气筒）铬酸雾废气洗涤+塔处理系统1套（1个25米排气筒）有机废气活性炭吸附系统1套（1个20米排气筒）硅烷燃烧塔1套（1个20米排气筒）多孔碳酸钙+活性炭吸附塔1套（1个25米排气筒）制纯水设施膜过滤纯水设施（设计规模100t/h）一期项目已建设实施膜过滤制纯水

2、设施（设计规模200t/h）二期扩建项目已建设实施废水处理酸碱废水处理+混凝沉淀系统（设计规模100t/h）酸性废水处理+混凝沉淀系统（设计规模200t/h）含氢氟酸废水处理设施（设计规模50t/h）含铬酸废水处理设施废水（尾水）后续处理系统固废处理零排放有资质单位回收处理不产生二次污染危废临时贮存场所50一、二期项目共建实施一般工业固废贮存场所成品仓库100一般原料仓库气罐区30危险品仓库噪声隔音设施、合理布局、厂界绿化隔音已实施辅助工程办公建筑面积1174m2用餐地点面积100m2门卫室1个依托工程苏州新区第二污水处理厂设计日处理8万吨/天，一期4万吨/天，运营稳定3、现有（一期）项目生产

3、工艺流程简述及产污环节（1）一期项目工艺流程现有项目生产工艺流程图（一期项目）一期项目主要工序流程简述：1.硅片腐蚀（制绒）、清洗:P型单晶硅薄片，经碱腐蚀清洗烘干，制绒主要是使用碱性溶液腐蚀硅表面形成绒面。清洗主要是处理制绒后的硅片表面，使其净化，用氢氟酸清洗残留的碱性物质，接着用盐酸去除表面残留的物质，最后再用纯水清洗。此过程有废气产生，废气中含有HCl、HF、H2；此工序还有碱性废水、酸性废水产生，碱性废水中主要含有氢氧化钠，酸性废水中主要含盐酸、氢氟酸；另外在碱腐蚀过程还会有碱性废液产生，其中含有较高浓度的异丙醇。碱腐蚀的反应方程式为：2NaOH+Si+H2O=NaSiO3+2H22.

4、硅片扩散：硅片扩散也称磷扩散，是在氧气存在的条件下，磷源分解在硅中扩散而形成P-N结，POCl3为电子级纯度，在过程中所起作用是为扩散提供磷源，各反应化学式如下：5POCl3=3PCl5+P2O52P2O5+O2+6Si=4P+6SiO24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl24POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2因而硅片扩散工序,有废气产生，该废气成分有P2O5、Cl2等。3.刻蚀：主要是去除边缘的N型硅，此工序为干法刻蚀，主要是利用四氟化碳和硅以及氧气的反应来去除边缘硅，其化学反应式为：CF4+Si+O2=SiF4+CO2因而此工序有未反应完全的四氟化碳和反应生成的四氟化硅气体逸出。

5、4.去硅玻璃（PSG）：主要是用氢氟酸腐蚀硅片表面的氧化层，即清除硅片表面的SiO2层，反应生成为微量的SiF4和H2SiF62-少量的络合物，其一起进入酸性废水处理。因而此工序会有少量的氢氟酸和四氟化硅挥发。5.加减反射膜：利用硅烷、氨气之间的反应在硅片表面形成一层加减反射膜，N2不发生反应，作为保护气体，此工序会有少量的氨气和硅烷挥发。6.丝网印刷（即在硅片上印刷铝浆、银浆、银铝浆）：使用浆料印刷电极，使之形成良好接触,收集电流。主要是使用银浆，铝浆，银铝浆，一般由金属粉末和有机溶剂以及固体树脂构成，经过烧结后有机溶剂和固体树脂都被挥发，剩余金属与硅形成合金层。7烧结烧结工序主要是将印刷好

6、银浆、铝浆、银铝浆的电极放入烧结炉中，使浆料中的水分、树脂及某些有机物挥发出来。烧结自然冷却后即为成品单晶硅太阳能电池片。（2）二期扩建项目工艺流程二期扩建项目主要工序流程简述1.硅片腐蚀（制绒）、清洗：二期扩建项目使用原材料为P型多晶硅薄片，使用碱腐蚀已无法满足产品质量需求，因此本扩建项目使用铬酸腐蚀硅表面形成绒面（使用浓度约在1.25%）。此过程有废气产生，废气中含有铬酸雾、HCl、HF、H2；此工序还有含铬废水、含氟废水、酸性废水产生，同时产生一定的废液，其中含有较高浓度的异丙醇。主要是用氢氟酸腐蚀硅片表面的氧化层，即清除硅片表面的SiO2层，反应生成为为微量的SiF4和H2SiF62-

7、少量的络合物，其一起进入酸性废水处理。4、现有项目污染物排放“三本帐”现有项目污染物“三本帐”一览表（一期+二期）类别一期（已建）二期（在建）公司目前排放总量t/a核准总量t/a废气铬酸雾0.012氟化物（F）0.064*0.4070.471*0.471HCl0.360.72异丙醇0.04*0.20.204*0.204Cl20.11501150.23P2O50.2930.586NH30.7150.5711.43SiH40.0042TVOC0.6911.382废水废水量34.86万19.30278万54.16278万COD36.5226.52363.043SS11.8411.1522.99NH3

8、-N0.540.811.35TP0.1080.1630.27氟化物1.290.4991.789六价铬0.03总铬0.06固废危险固废一般工业固废生活垃圾*氟化物、异丙醇由于在一期项目“三同时”验收时未检出，因此按照检出限的一半计算其排放量；5、现有项目环保验收情况1、现有苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片100MW、太阳能电池组建100MW新建项目（一期项目）已于2008年通过苏州市环保局环保“三同时”竣工验收（见苏环验【2008】184号）。2、苏州阿特斯阳光电力科技有限公司年产太阳能电池片100MW二期扩建项目目前正在进行试生产。根据企业介绍及现场勘查情况，目前该项目各项环保治

9、理措施已全部到位，现已委托进行验收监测。3、在该试生产期间，建设单位中水回用水量达到60t/h，已满足环评批复（苏环建【2008】415号）要求的60%中水回用率。4、现有一期项目在后续生产过程中将4条无铬生产线中的1条改变至有铬生产线，在后续的二期扩建过程中已将6条有铬生产线中的1条改变至无铬生产线，建设单位从而已满足环保主管部门环评批复对建设单位生产线设置要求。6、现有项目主要存在的环保问题a. 未按照江苏省排污口设置及规范整治管理办法（苏环控【1997】122号）的规定规范排污口标志牌；b. 需进一步完善事故应急预案和应急措施；三、本项目工程分析1、本项目主体工程及产品方案建设项目（技改

10、、扩建项目）主体工程及产品方案产品名称及规格扩建前扩建后增量260MW/a（10条线）160MW/a太阳能电池片多晶硅无铬生产线（4条线）40MW/a（1条线）40MW/a（1条线） 2、本项目公用配套工程本项目公用配套工程一览表按实际情况贮运排水厂房建设实施给水供电绿化不变厂房施工时已实施纯水设施膜过滤依托二期扩建项目设施含N废水膜过滤纯水设施1套（100t/d）新建，委托专门单位设计施工“三同时”实施含P废水膜过滤纯水设施1套（10t/d）环保、辅助工程酸碱废气洗涤塔处理系统1套铬酸雾废气洗涤塔处理系统1套有机废气活性炭吸附系统1套硅烷燃烧塔1套含N废气洗涤塔1套含P废气洗涤塔1套酸碱废水

11、处理+混凝沉淀系统1套（设计规模200t/h）依托一、二期扩建项目设施含氢氟酸废水处理设施1套含铬酸废水处理设施1套废水（尾水）深度处理系统1套（设计规模200t/h）含磷废水处理系统（10t/d）含氮废水处理系统（100t/d）噪声治理噪音隔音设施、合理布局、厂界绿化隔音新建，“三同时”实施固废处置由资质单位回收处理不产生二次污染依托一、二期项目已建设施废水事故及消防应急共用池4000m31个3、本项目生产工艺流程及简述（1）含铬多晶硅生产工艺流程本项目有铬生产工艺流程图简述：由于本项目有铬生产线在工艺、设备上基本与现有项目同相，只有在原辅料上不在使用异丙醇（经工艺探索可不用该异丙醇，不会影

12、响产品品质），因此本项目有铬生产线工艺简述可见本报告书现有项目有铬生产线工艺简述。（2）无铬多晶硅生产工艺流程本项目无铬生产工艺流程图本工艺为无铬多晶硅工艺，是目前较先进工艺，无重金属污染问题，具体如下：本项目使用原材料为P（硅片类型）型多晶硅薄片，使用硝酸、氢氟酸、盐酸的混合酸（按一定比例配比）腐蚀硅表面形成绒面。喷淋清洗处理制绒后的硅片表面，使其净化；然后再用氢氧化钾（浓度65%）腐蚀并喷淋清洗，接着用氢氟酸、盐酸的混合酸（按一定比例配比）去除表面残留的物质，最后再用纯水喷淋清洗。此过程有废气产生，废气中含有氮氧化物、硫酸雾、HCl、HF、H2；此工序还有含N废水、含氟废水、酸性废水产生，

13、同时产生一定的废液。经以上清洗后进行空气干燥。3.去硅玻璃：本工艺分为三段腐蚀，先用硝酸、氢氟酸、硫酸的混合酸（按一定比例配比）腐蚀硅片表面的氧化层，再用纯水喷淋清洗，再用氢氧化钾（浓度45%）腐蚀后纯水喷淋清洗，最后用氢氟酸、硫酸的混合酸（按一定比例配比）腐蚀后纯水喷淋清洗，以上工序为清除硅片表面的SiO2层，反应生成为为微量的SiF4和H2SiF62-少量的络合物，以上清洗废水分别进入含N废水处理设施处理及酸碱废水处理设施处理。因而此工序会有少量的氮氧化物、硫酸雾、HCl、HF和四氟化硅挥发。4、资源及能源消耗本项目原辅材料及能源原辅料名称年耗量原料硅片（Si）900t（约7200万片）辅

14、料氮气（99.99%）690t（约85万m3）硅烷（99.999%）2800kg4氨气（99.999%）2040kg5CF4（99.999%）6.048t（约3760m3）6氧气（99.99%）142.856t（约12.5万m3）7三氯氧磷（99%）3.92t（约2333m3）8银浆4200kg9铝浆54000kg10银铝浆11盐酸（36%）134.568t12氢氟酸（40%分析纯）449.1488t13三氧化铬（99.5%）91.2t14硝酸（65%分析纯）365.04t15氢氧化钾（45%分析纯）30.12t16硫酸（98%工业级）2.52t17水处理药剂聚合氯化铝（工业级、固体）25吨1

15、8高分子混凝剂（工业级、固体）0.3吨19氢氧化钠（90%工业级、固体）16吨CaCl2（70%工业级）13吨20能源水26.37万21电1200万度5、主要生产设备、公用及贮运设备本项目主要设备表序号设备名称规格（型号）数量生产设备有铬线扩散前清洗机/8台新增扩散炉4台扩散后清洗机PECVD镀膜机SLPC-71HR4等离子刻蚀机M4220016台丝网印刷机J1762CLD/CUL烧结炉PVD-600甩干机无铬线1台辅助设备冷冻机2台空压机6台组合式空调净化系统0-20T4套通风系统（风机）4套为备用48套水泵10台氮气、氧气储罐氧气20m3依托氮气20m322设计能力200t/h1套23含N

16、废水膜过滤纯水设施100t/d24含P废水膜过滤纯水设施10t/d26环保设备酸性废水处理+混凝沉淀系统27设计能力50t/h2829废水（尾水）深度处理系统（中水回用）30含N废水处理系统（回用）新建31含P废水处理系统（回用）32含铬酸雾废气洗涤塔处理系统设计风量70000m3/h33酸性废气洗涤塔处理系统34含N废气洗涤塔35含P废气洗涤塔36有机废气活性炭纤维吸附系统风量40000m3/h37硅烷燃烧风量6400m3/h38噪音隔音设施6、污染源强及污染物排放量分析（1）本项目的废气产生情况本项目废气产生情况一览表废气类别排气筒编号主要污染因子产生环节防治措施有组织排放废气工艺废气G1

17、4有铬线腐蚀（制绒）铬酸雾洗涤+高空集中25m高排气筒排放G15氟化物、HCl、Cl2、CF4、SiF4、硫酸雾腐蚀（制绒）、硅片扩散、去硅玻璃洗涤塔+高空集中25m高排气筒排放G16硅片扩散G17NOx无铬线腐蚀（制绒）、去硅玻璃G18SiH4、NH3加减反射膜硅烷燃烧+高空集中25m高排气筒排放G19挥发性有机废气（TVOC）印刷、烘干活性炭纤维+高空集中25m高排气筒排放无组织排放废气-铬酸雾、氟化物、硫酸雾、HCl、Cl2、P2O5、NH3、SiH4、TVOC等未收集废气及化学品仓库无组织排放本项目废气产生排放情况一览表废气类型废气量m3/h污染因子产生浓度（mg/m3）产生速率（kg/h）处理方案处理效率排放浓度排放速率700000.120.008铬酸雾洗涤塔90%0.0008G525.51.7857洗涤塔98.6%0.3570.0257.590.531380%3.120.10626硫酸雾0.40.02860%0.160.01121.20.08440%0.05042.4660.17261.480.10356工艺废