ESD管理办法Word下载.docx

1、 靜電具有雙重性,即能為人類造福.即為利用靜電應用技術制造出靜電復印.靜電涂敷.靜電除塵等,但是.在電子工業制造中也存在靜電危害,現正在日益表露出來並逐漸受人們所重視.其在電子工業領域的靜電危害形式如下: 靜電吸附 靜電放電引起的器件擊穿（硬擊穿.軟擊穿） 靜電感應. 靜電放電時產生的電磁脈沖 3.2敏感元件:電子元件在電子產品制造業上最為普遍,最嚴重的是靜電危害.即電子元件在預處理.焊接.清洗.單板測試.組裝,調試.直到包裝,貯存,發送等工序時,由于接觸 - 分離 - 摩擦 - 感應等作用,都會使操作人員.工具.工作台面,電子元件,電子元件包裝容器等產生靜電,同時會隨時對電子元件造成靜電損害

2、.因此.此類電子元件為靜電敏感元件（如IC.晶體等）,總稱 敏感元件。3.3靜電釋放: ESD （ELECTROSTATIC DISCHARGE）一種突然產生的靜電重新分配,這對敏感元件或裝置會造成損壞。3.4靜電（ESD）防護安全距離:為能使容易受靜電破壞之產品.敏感元件得到有效安全的保護.設立1米（3尺）保護範圍的安全距離。3.5 ESD稽核員: 對靜電防護的產品.工作區域.敏感元件等進行技術性之量測和處理之專業稽核檢查人員。3.6特定工作人員:指正規受訓過並考試合格之ESD稽核員和主管級以上干部。3.7自我檢查: 表示工作區域內之全部人員每日上班前對自己工作區域內靜 電防護檢查。3.8保

3、護接地: 將電氣設備.裝置不帶電的金屬部分與接地體（地壤直接接觸 的導電金屬體）之間作良好的金屬連接。3. 9表面阻抗: 表示物體之表面部分與接地線之間的絕緣電阻阻抗數值, 通常用歐姆（）表示。3.10靜電電壓: 表示物體表面過剩或不足的靜止電荷量.用電壓伏（Voltage） 表示。3.11防靜電屏蔽袋: 用防靜電材料之包裝袋進行成品或半成品包裝（適用於客戶要求）。3.12導體容器: 用于存放防靜電成品,半成品之導電體容器。3.13有線靜電手環: 為防止人體接觸敏感元件而造成靜電破壞,佩帶于手（腳） 6 8 上的防靜電物品,並用一根導線連接接到大。.要求:手環上之電阻在 8.010 10范圍內

4、.佩帶手環之緊度要接觸皮膚為準. 靜電手環又俗稱“靜電手腕”。6 93.14靜電手套: 為防止人手觸摸敏感元件,使其上汗.油污並造成靜電破壞和 腐蝕,特佩帶防靜電的材料制作成的手套,並要求靜電阻抗為10 10,范圍內,靜電電壓為100伏特以下。3.15防靜電周轉箱: 為使容易受靜電敏感之成品.半成品,存放于用防靜電材 料制作的容器內,進行儲存或運輸.並要求用防靜電材料制作之隔板進 行隔離。3.16檢定: 即用標準器對被量測之儀器進行比對.檢定值是否超出誤差范圍。3.17內校: 利用現有的可追溯到國家或國際之標準器,校正檢定公司內之儀器。3.18校正失效: 用標準器對廠內儀器進行量測比對,被量測

5、之儀器示值超出 最大允許誤差范圍,則判定為校正不合格. 即為校正失效。3.19校驗周期: 儀器設備視其使用頻繁程度,規定其每年進行校驗檢定次數。 即為校驗周期。4.0權 責:4.1儀校中心負責靜電（ESD）控制技術指標.制訂靜電防護辦法,以及工作之宣導。4.2品保單位.制造單位.SMT單位.實施靜電防護工作.並每日進行自我檢查,提報不良狀況。4.3資材部實施靜電保護工作.並對敏感之元件和成品.半成品妥善之保存和防護。4.4 生技課ESD工程師負責對全廠內靜電防護單位和個人進行ESD技術性之控制.量測.稽核和處理改善。5.0 程序內容:5.1 靜電（ESD）防護流程圖 5.2 作業說明:5.2.

6、1 訓練:5.2.1.1對新進員工,必須進行靜電防護（ESD）之教育訓練.受訓時間不低 于4小時。5.2.1.2無受過靜電防護（ESD）訓練培訓者,不可上線靜電防護區域或接觸敏感元件。5.2.1.3特定人員.靜電防護組織成員,稽核小組必須定期受訓。5.2.1.4稽核小組組長擬訂教育訓練計劃表（附件一）並根據計劃 表對全廠員工受訓,受訓時必須作出教育訓練記錄。 5.2.1.5受訓過靜電防護的人員,必須有靜電防護識別標示（如下圖一所 示）,分期對人員進行受訓。靜電防護受訓合格後上崗識別標示（圖一）5.2.1.6受訓后人員必須進行考試,及格為80分。考試題目如（附件二）（附 件三）所示。5.2.1.

7、7受訓課程必須包含以下內容:受訓內容 受訓時間 受訓人數 （不得超過）靜電之概念 產生物理過程 1 H30靜電之來源.對半導體元件的不良影響.0.5H靜電防護區域之化分及防護措施 0.5 H保護靜電之包裝.運輸.儲存 靜電防護的識別標示. ESD管理小組及工作職掌 自我檢查的流程內容及實施 5.2.2 靜電控制區域:凡對敏感元件會造成傷害之區域必須用班瑪帶標貼 靜電（ESD防護安全距離 如下圖（二）所示。只能在其范圍內組裝和裝置。有效距離為1米 （3尺）內。（圖二）5.2.3靜電防護在其控制作業中,每周指派專人進行技術量測和稽核,並記錄于【ESD稽核檢查記錄週報表】（PHG-Q4-PE39）內

8、。5.2.4 每年必須對外包廠進行之評鑑一次以上,記錄于【外包廠ESD 評監報告】（PHG-Q4-PE42）內,對不良狀況提出改善意見和對策,並定期進行追蹤處理結果,記錄于【ESD異常處理對策單】（PHG-Q4-PE43）內。5.2.5 矯正措施: 當靜電電壓超過100V時,並對其進行隔離,分析不良原因,加 以改善,必須有ESD稽核員。ESD工程師和ESD主任3人以上人員進行確認並記錄于【ESD異常處理對策單】內。5.2.6 緊急事故處理: 當在靜電防護區域作業時,發生意外事故時,應先考慮是否對 人身安全有危害,並立即采取措施解決.爾后,再考慮解決是否對靜 電防護有破壞,並加以改善。5.2.7

9、 對外包廠商靜電防護要求: 外包廠商與公司有直接的業務來往,為了品質的提升,為降低不良的發生,對其也要作靜電防護的要求:5.2.7.1 生產工藝: 在生產制程過程中,須作靜電防護。5.2.7.2 包裝:對靜電有敏感之元件（如:IC.晶體等）必須防靜電膠帶包裝。5.2.7.3 運輸: 必須把完成品存放于防靜電屏蔽袋內而運輸,並標明靜電防護標示。如下（圖三）所示。（圖三）5.2.8 ESD管理組職: （附件三）. 5.2.8.1 稽核組織成員: 必須受過ESD正規的教育訓練,是廠內ESD的技術顧問,對 靜電防護進行技術的量測。檢驗和管理,並制訂受訓計劃和進行宣導, 稽核組織成員工作職掌如（附件四）

10、所示。5.2.8.2靜電防護成員: 必須受過靜電防護（ESD）正規訓練,獲得ESD資格,對全廠內靜電防護進行管理和推動實施。靜電防護之成員必須是生產線班組長以上干部。工作職掌如（附件四）所示。5.3靜電（ESD）檢查:5.3.1靜電ESD每日自我檢查: 各靜電防護（ESD）單位之員工每日上班前進行靜電防護自我檢查。5.3.1.1使用之有線靜電環是否測試過。如有測試, 是否記錄于【靜電環 檢查記錄表】（PHG-Q4-PE45）內。5.3.1.2在其工作區域內之靜電台墊是否接地,台面是否清潔,干凈。5.3.1.3在其工作之工作台面上是否有產生靜電物（如:塑膠帶（袋等）。5.3.1.4 儀器.治具是

11、否完全接地。5.3.1.5員工本人使用之烙鐵是否3 Pin之插頭.若為2 Pin應立即通知 所在單位的負責人聯絡ESD工程師加以改善。5.3.1.6 檢查自己是否有靜電防護訓練合格后,所佩帶的ESD認別標示 牌.如上圖（一）所示。5.3.1.7每個員工進行自我檢查后,並記錄于【ESD每日自我檢查記錄表】 （PHG-Q4-PE46）內.經所在單位負責人確認后方能上線工作。5.3.2 稽核檢查: 為使靜電防護得到徹底的推動執行和品質提升。能及時發現不良 現象,並得到有效之改善。特ESD稽核小組每月內派專人負責稽核檢 查,每周依據稽核檢查程序進行稽核檢查一次。5.3.2.1 檢查所有員工是否依據自我

12、檢查程序進行自我檢查,並有完整記錄。5 8 5.3.2.2量測工作台墊靜電電壓和阻抗的實際示值,靜電電壓和阻抗是否分別為100伏特以下或1010 之間。5.3.2.3 量測靜電防護區內靜電電壓是否超過100伏特。5.3.2.4有線靜電手環是否有不良現象,如不良現象,有無改善措施和對策。5.3.2.5靜電安全區之儀器.設備.工具是否安全接地。5.3.2.6每日上班前所有員工是否進行靜電手環測試並記錄于靜電環檢查記錄表不允許沒有帶靜電腕環（或接地線）的人靠近你的靜電安全區1米（3尺）之內,告訴他們在你的區域要靠近和觸摸,任何物件之前的人,要帶靜電腕環（或接線）才可進入,而觸摸元氣件必須佩帶靜電手套

13、。5.3.2.7 靜電防護控制區域是否有狀態標示（如上圖二所示）.是否劃線列出管制。5.3.2.8儀器.治具是否超出100伏特。 5.3.2.9 靜電安全區域所有物品均是否低于100伏特。5.3.2.10 IC房.SMT.AI濕度是否控制在55%10%。5.3.2.11檢查靜電防護工作區的接地線是否漏接,損壞或開路,斷線現象。5.3.2.12檢查工作區是否會產生靜電物.如未處理塑膠袋.箱子.保力龍,膠帶或個人用品,最少離ESD敏感元件1米（3尺）之距離。5.3.2.13檢查所有的ESD敏感元件,半成品.成品是否完全的放在導體容器（導靜電籃子）內。5.3.2.14確認裝ESD敏感元件的導體容器（

14、導靜電籃子）內沒有會產生靜電物。5.3.2.15確認所有保護容器在外邊均有一承認的靜電注意標誌。如上（圖三）所示。5.3.2.16 如任一檢測項目失敗的話,則未受到保護,ESD敏感元件不許搬動,直到改善為止,如執行者不能改善這些錯誤,則ESD主任須負責改善。5.3.2.17 各部門有責任將其自我檢查及執行情形接受班組長之確認,並將其結果完整記錄送交稽核小組內存檔管制。5.3.2.18 ESD工程師經常執行ESD稽核使ESD控制的標準化能落實。從他們對部門程序的了解,ESD稽核員應每月一次執行稽核。5.3.2.19執行每月ESD自我稽核時,需確認其程序書仍是可用的,及能使 用正確的儀器、設備,並

15、須定期受校正檢定。5.3.2.20 當發現不符規定的事項能迅速的採取改善措施。5.3.2.21 年度稽核在11-12月中進行。5.3.2.22 稽核檢查結果應記錄于ESD稽核檢查記錄表內。另: 稽核檢查表及未列入表內以外的上述內容,如有不良現象發生,應出具【ESD異常處理對策單】,送出靜電防護管理組織相關人員進行對策和加以改善。5.3.2.23量規儀器靜電區域之管制: 靜電防護區域內之儀器.設備必須安全接地,其靜電電壓值不 得超過100Voltage,如果超出儀器設備必須進行隔離直至處理改善后方能再投入使用,並記錄【ESD異常處理對策單】內。5.3.2.24 每三個月儀校中心進行靜電保護接地是

16、否良好檢查,並記錄于ESD 季度接地檢查記錄表】（PHG-Q4-PE41）如內。接地電阻不得超過3。5.4 防靜電用品.裝備之質量檢驗。5.4.1防靜電工作服和帽: 5.4.1.1 外觀質量:防靜電工作服.帽外觀要求無破損.斑點.污物以及影響衣、帽上之性能缺陷.結構設計要滿足穿著輕便,舒適便于解脫.服裝上一般不得使用金屬或橡膠佩件. 如金屬或橡膠帶靜電之銘牌或商標等。5.4.1.2靜電量檢驗: 對防靜電工作服和帽進行靜電量測時.先進行洗滌（不包含新購入未使用服裝和帽）,其洗滌條件應符合（表一）,並 洗滌脫水自然晾干后方可量測.靜電電壓不得超過50伏特。 洗滌條件項目條件洗滌方式普洗洗滌液濃度2

17、g/升水溫40+3溶比1:水溶量30升以上 （表一） （注:洗滌劑呈中性或微堿性 PH=7-8）。5.4.2防靜電鞋: 5 85.4.2.1外觀質量: 鞋底應無絕緣物,無裂紋.無開膠.無孔洞.鞋面不得帶有金屬或其他帶靜電橡膠銘牌等。5 85.4.2.2質量檢驗:鞋底電阻阻抗值應為0.5 10 10 範圍內,鞋面電壓值不得超過100伏特。5.4.3防靜電工作台墊:表面阻抗應為10 10 範圍內,鞋面靜電值不得超過100伏特。5.4.4防靜電零件盒,周轉箱.膠帶。5.4.4.1外觀質量:應無裂紋,破損.不得有明顯變形.並要求盒箱表面光滑,且膠帶必須柔軟、光滑。5.4.4.2質量檢驗:靜電量不得超過

18、100伏特。5.4.5防靜電手環:5.4.5.1外觀質量:手環帶應無毛刺.裂跡和孔洞。865.4.5.2質量檢驗:用靜電手環測試器測試是否為GOOD 或用FLUKE5500A檢定電阻值在8.0 10 - 10 範圍內,並且手環帶引出線必須串接一只10 電阻。 注明: 以上防靜電用品測試不合格為A類不合格.不可使用.另外觀不合 格為B類不合格.視其情形酌情考慮是否可使用之。5.6 防靜電測試器之檢驗: 防靜電測試用之儀器: 靜電手環測試器.表面阻抗測試器.靜電電壓測試儀.接地阻抗測試器,依據【儀器設備管制計劃表】（PHG-Q4-CC02）之校驗周期.計劃校驗日期進行送出中國電子工業部第五研究所6

19、01計量站國家級計量單位檢定,或依據廠內自身校正能力進行內校.檢定失效或不合格則進行改善對策,並記錄于【標準器.量規.儀器校正失效記錄表】（PHG-Q4-CC07）內。6.0附 件:6.1新進人員靜電防護考試題 （附件一） 6.2新進人員靜電防護考試題 （附件二） 6.3 ESD管理組職圖 （附件三）6.4 ESD管理組職工作職掌 （附件四）6.5 ESD稽核檢查記錄週報表（PHG-Q4-PE39）6.6外包廠.協力廠ESD評鑑報告（PHG-Q4-PE42）6.7 ESD異常處理對策單（PHG-Q4-PE43）6.8靜電環檢查記錄表（PHG-Q4-PE45）6.9 ESD每日自我檢查記錄表（P

20、HG-Q4-PE46）6.10 ESD季度接地檢查記錄表（PHG-Q4-PE41）6.11儀器設備管制計劃表（PHG-Q4-CC02）6.12標準器.量規.儀器校正失效記錄表 （PHG-Q4-CC07）7.0 相關文件:7.1靜電防護手冊.7.2 靜電基礎理論 附件一 飛 宏 集 團 新進人員靜電防護考試題 姓名: 單位: 職務: 總分:1. 物體摩擦產生靜電 是 否 2. 靜電電壓不得超過: 100伏特 10伏特 50伏特 3. 進入靜電防護區內可以不帶靜電手環.四.工作台面可以用塑料物品使用. 是 否 五.所有之儀器、設備治具不必全部接地 六靜電手環不必要每天上班前測試七靜電防護區安全距離

21、為 100cm 50cm八靜電防護區可以存放塑膠帶，橡膠品九.靜電周轉箱內可以存放塑膠帶. 十.通過培訓學習ESD防護后,就可以上線工作.附件二 特定工作人員靜電防護考試題 職號: 一.靜電是怎樣產生的? 二.靜電防護區怎樣劃分? 三.公司規定最大靜電電壓值為多少? 四.SMT.AI地板阻抗規定為多少? 五.靜電防護區內之保護接地電阻為:1. 1M以下 3以下 3K以下 六.靜電電壓測試儀測試時,應注意哪些事項? 七.如何檢定靜電手環為不良品? 八.靜電認別標示為何意? 九.你必須每天進行靜電環測試嗎? 意義何在? 十.如你是ESD主管,請問你如何進行推動和實施?附件三飛 宏 集 團靜 電 管

22、 理 組 職 圖ELECTRO STATIC DISCHARGE（ESD）MANAGEMENT ORGANIZATION附件四 靜 電 管 理 組 職 工 作 職 掌部門職稱姓名第一代理人第二代理人工作職掌1.為設備ESD技術咨詢來源制造部ESD主任ESD工程師ESD組長2.主持ESD的相關會議,對ESD問題進行分析與檢討,並提出對策.3.為設備ESD承諾根據的管理者和分配者1.將各部門自我查核的不服從點報告給ESD主任.2.對ESD問題進行分析與檢討,並提出改善對策.3.督導各ESD組長對ESD工作茖實.1.督導各部門ESD稽核員任務之執行.2.負責每月的自我檢查不服從點.3.將稽核結果呈報告至ESD主任以為公司整理.1.督導ESD稽核員任務之執行2.對稽核的自我檢查之不服從點提出對策ESD稽核組長ESD稽核員並加以改善.3.將稽核結果呈報告至ESD主任以做為公司之整理.1.稽核每周及每月的ESD自我檢查記錄落實情況.2.稽核生產線上的ESD問題點並督導加以改善.3.不良問題即時回饋.4.對接觸敏感元件或區域之單位或個人進行靜電防護訓練.