废气排放管理办法文档格式.docx

1、Rev更改内容 / 描述 Description of Changes发布日期 Release dateA/0文件新编1目的与范围使PM人员， 设备运行工程师， 系统工程师熟悉废气排放流程，了解废气异常排放处理办法，预防及减 轻废气系统管理不当及人为疏忽造成的对当地大气环境的影响，确保处理后之制程废气达到国家市政废气 排放标准安全排放。2规范性引用文件 中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准3职责 相关部门因按照此办法规定的管理标准严格执行； 动力设备部相关工程师应严格管控生产废气达到国家标准排放；4术语和定义无5管理内容与治理措施方法废气污染源分析 废气处理系统所处理排放的废气主要来源

2、于：生产工艺过程包括扩散前清洗（制绒）、去硅片氧化 物（磷硅玻璃）、刻蚀等使用氢氟酸、盐酸、硝酸、四氟化碳等化学试剂挥发产生的酸性、含氟废气；清 洗、扩散、 PEVCD等工序产生有机溶剂废气和少量工艺尾气。废气处理系统 根据废气性质，将废气处理系统分为一般性废气（废热）排风系统、酸性废气处理系统、工艺尾气处 理系统和有机废气处理系统，新增加异丙醇回收装置，各系统考虑了将来达规模的生产要求，放大了处理 系统的能力，风机采用变频式风机，可根据需要变化排风量。5.2.1一般废气（废热）排风系统 该系统排放一般的废气和高温排风，不需经处理而直接排放。5.2.2酸性废气处理系统 酸性废气主要来源于工艺流

3、程中使用各种酸液对硅片的腐蚀、清洗过程、扩散及等离子刻蚀产生的废气， 主要污染物为氟化物、硝酸、 HCl、 Cl2等；拟设置 1套酸性废气处理装置进行处理。酸性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗 涤塔，吸收液为氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气，吸收效 率为 93% 98%。5.2.2.1酸性废气塔结构原理：5.2.2.2酸性废气处理流程：工艺尾气、碱性废气处理系统工艺尾气、碱性废气主要来源于： PEVCD工艺过程中使用氨气、硅烷等过程，碱性废气的主要成分为氨、 工艺尾气中含有微量硅烷等。采用 HWR型生

4、产工艺废气燃烧加喷淋的处理系统进行处理。5.3.1工艺尾气、碱性废气处理设备结构：有机废气处理系统 有机废气主要来源于丝网印刷和烧结过程中产生的有机气体，主要成份为异丙醇等有机物。设置活性 炭纤维吸附处理系统进行处理。采取的活性炭纤维吸附处理系统对 VOC的处理效果能达到 90%以上，满足中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准的要求。5.4.1有机废气系统处理流程 挥发性有机化合物废气经过活性炭吸附塔，由内部活性炭过滤器吸附，处理后由风机抽引经烟囱排 至大气环境。5.4.2活性炭吸附塔结构原理：5.4.3有机废气处理流程图：工艺尾气排放分析5.5.1工艺废气来源在电池芯片的加工过程中，工

5、艺尾气主要来自扩散、 PECVD、干法刻蚀等工序，尾气中含有微量硅烷等。应用工艺特殊气体的典型生产工艺为：（1）扩散：扩散是在硅片表面掺入纯杂质原子的过程。工艺生产过程中分为沉积源和驱赶两步，其化学反应 为： 600 ： 5 POCl3 3 PCl5 + P2O5： 5P2O5 + 5 Si = 5SiO2 + 4P（2）化学气相沉积（ PECVD）： PECVD是在硅片上沉积氧化硅、氮化硅和多晶硅等半导体器件材料，在 300900的温度下通过化学反应产生以上物质的过程，其化学反应为：SiH4 + O2 SiO2 + 2H2OSiH4 + N2O SixO2 + N2 + H2SiH4 + N

6、H3 Si3N4 + H2 在上述生产工艺中，使用硅烷等多种特殊气体，绝大多数特殊气体参与了反应，所排放的尾气中的主要成 份为 HCl、HF等。5.5.2工艺尾气处理措施 1、对气源柜、注入机反应室、有毒气体间、腐蚀性气体间、氢氟酸配送间、酸液配送间的排风接入酸性 废气洗涤系统进行处理后排放。2、对于在硅片 PECVD生产工序中产生的工艺废气， 本项目拟采用 HWR型生产工艺废气燃烧加喷淋的处理系 统进行处理。处理后产生的尾气由风机经排气筒高于地面 18 米排放。5.5.3废气排放统计酸性 /碱性废气、有机废气中主要污染物处理及排放情况见表。从表中可见，经采取上述处理措施后， 酸性废气、有机溶

7、剂废气各排气筒主要污染物指标均能达到大气污染物综合排放标准 GB 16297-1996 中二级标准 （第二时段 ）；碱性废气各排气筒的氨也能达到恶臭污染物排放标准 GB 14554-93 的要求。表 6 工艺废气主要污染物处理及排放情况废气种类排放参数污染物 名称处理前处理后评价标准达标情况高度（m）排气 总量 （m3/h）排放 速率 （kg/h）排放 浓度 （mg/m3）酸性废气1845000氟化物1209HCl100NOx240碱性废气9400NH320有机废气12000VOC （主要异 是丙醇 ）排放速率 90%注： 1. 除氨执行恶臭污染物排放标准 GB 14554-93外，其余均执行

8、大气污染物综合 排放标准 GB 16297-1996 中二级标准 （第二时段 ）。2. 氮氧化物以 NO2 计，氟化物以 F 计。关于无组织排放5.6.1无组织排放是指排气筒高度小于 15m 或不通过排气筒的废气排放。5.6.2洁净车间有较高的颗粒洁净等级要求，因此车间内各股废气量均为有组织排放，基本没有无组织排 放的废气。权责区分5.7.1对于废气排放的各相关单位及工程师，应该担当各自系统制程，设备清洗等产生废气的管制，要安 全有效的排放废气。动力工程部负责废气收集，废气处理，废气排放，废气系统设备，仪表的保养维护， 确保系统正常运转，保证处理完后废气达到排放标准。5.7.2EHS部门负责监

9、督。废气排放管理5.8.1废气收集系统，处理系统相关设备，仪表，管件由动力工程师及维修人员根据废气系统 PM OI 进行 定期保养维护，并记录各时期自主检查表，确保系统正常运行。5.8.2对于废气排放使用之风机，动力工程部应做定期的检修工作。5.8.3对于排放出的废气环保局会随时抽测，我们会针对不符合排放标准的废气做相应的改进措施。5.8.4定期委外监测5.8.4.1监测项目：氟化物、硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、有机化合物。5.8.4.2监测位置：酸 / 碱排气类型目前均有排放口，每年取样并作记录5.8.5处理设备参数设定5.8.5.1酸性排气洗涤塔的洗涤水 PH 值为 115.8.5.2碱性排

10、气洗涤塔的洗涤水 PH 值为 5.8.6废气系统异常情况分析与对策5.8.6.1主要分为以下异常情况： 生产设备异常造成废气排放， 致使排放浓度增高； 机台正常废气排放， 但处理后未能达标。5.8.6.2机台异常造成废气排放5.8.6.3从所有生产设备使用气体的情况来看， 就钢瓶内储存气体量都不大， Exhaust 都能满足抽风排 气的需求，即生产设备端异常气体泄漏，主要有气体泄漏为酸、碱性气体，会被抽到酸、碱性洗涤 塔，分别用 NaOH 和 HCl 溶液循环洗涤去除有害类气体，如果因为异常废气排放浓度增大，则可以通 过调节洗涤塔内水的 PH 值（对于酸塔提高 PH 设定值，对于碱塔降低 PH

11、 设定值） ，来提高洗涤塔的 处理效率。非正常工况废气排放处理办法5.9.1在车间开工时，首先运行所有的废气处理装置、除害装置和废水处理站，然后再开启车间的工艺流程， 使在生产中所使用的各类化学品所产生的废气都能得到处理、 废水也能排到废水处理站。 车 间停工时，所有的废气处理装置、除害装置和废水处理站继续运转，待工艺中的废气和废水没有排 出之后才逐台关闭。这样，车间在开、停车时排出污染物均得到有效处理，经排气筒排出的污染物 浓度和正常生产时基本一致。5.9.3废气处理系统和排风机均设有保安电源，系统设有备用风机（ N+1 配置）。当废气处理设备出 现故障时，工艺生产过程排放的废气将未经处理直

12、接排入大气，造成非正常排放。故障一般能在 小时内修复。5.9.4排风系统均设有安全保护电源和报警系统，设备定期检修保养，基本上能保证无故障运行。 日常运行中， 若出现故障， 检修人员可立即到现场进行维修， 一般操作在 30 分钟内基本上可以完成， 预计最长不会超过 60 分钟。5.9.6废气处理系统出现故障，一般采取以下措施：5.9.6.1如果全厂停电，停止生产，无污染物产生。5.9.6.2为确保安全，风机仍然继续运转（采用 UPS）。5.9.6.3风机出现故障时，备用风机立即启动。6相关记录：Q/ZTIS Z02020302-01 废气异常排放记录表7管理流程图： 无8附录附录 A：一般酸碱废气异常排放处理流程 附录 A：一般酸碱废气异常排放处理流程一般酸碱废气排放 不符合标准附录 B：有机废气处理流程监测一小时内浓度平均 值超过排放限定浓度确认风机风压是否正常