TFC图文教程Word下载.docx

1、5试填写A0与B1等各系数，以后熟练可凭经验填写，点击Fit Data选项结束此步。6根据实际情况填写各选项，点击Set Constraints结束此步。7. 填写薄膜厚度与是否优化，点OK离开。8.回到上界面，点击Computer进行计算9.下面为计算结果图，如果感觉结果可接受点击Accept选项，如不接受，点击Reject选项返回重选拟合公式，修改拟合公式系数或膜厚等参数继续计算。10结果处理：感觉结果可接受点击Accept选项，出现下面界面，点击convert选项，填写材料名称，点击OK，即可保存所计算的N与K值，如下图所示。完工。怎么在Plot窗口中显示两条以上的曲线？一个截至率光片的

2、设计实例TFC 的设计步骤1.File-New coating2.填写中心波长，入射角，基底参数：2.3.点击Analysis Parameters，填写计算波长范围：3.4.ModifyStack formula 填写膜系材料与公式：5点击Generate Layers，退出窗口。6计算：7.显示结果：8.完工。 ! ;tlgMl 附录： 4a-JC如显示反射率曲线，可设置Set plot Parameters: TFC优化过程图文说明400nm900nm T99 1.先进行基本设置 xh,;TS（K USv: + .3.然后设置膜系，这里材料选择通用的TiO2与Sio2 . _Bejh 4

3、.5.3.设置优化目标，大家看明白，在那里设置。discrete为离散的优化目标continuous为连续的优化目标，一般选择离散目标优化 D6fry 6.7.4.选择优化方法 -n2vvF 8.9.10.5.优化计算 ZOXitt711.12.13.14.6.显示结果 xgeDfpF15.16.问： 我听说层数多的膜要用透射监控，层数少的膜要用反射监控，不知道为什么？ ii :h E= 我该如何把计算出来的透射光控曲线运用到实际生产当中去？就是说如何让镀膜机按照这个曲线进行光控镀膜，我这边用北仪机（镀不了很多层的膜），optorun1300镀膜机（可以镀比较复杂的膜） CB6+t 还有一个就

4、是如何找到机台的光控Tooling，我是这样理解的，不知道对不对： kFGKm（y 根据计算出来的理论光控曲线进行镀膜，镀出来陪镀片拿去测出的光谱曲线，把光谱曲线代入TFC，与设计出来的理论指标曲线放在一起看看，看看差异在哪里，设置膜料TIO2和SIO2分别为组1和组2，再分别优化组1和组2， $LF 这样就可以判定是哪几层多镀了还是少镀了，再把两个物理厚度相除一下，就得出了该机台的光控Tooling，再怎么把光控Tooling代入，来修正光控曲线呢？17.答：反射与透射监控与层数关系不是很大吧,只要你机器比较片足够多,这个我不太懂,计算Tooling值有很多方法,可以利用光谱曲线计算实际膜厚

5、,或着直接测量膜厚,如椭偏仪,与理论厚度相比即是Tooling值,18.根据结果我算出透射光控曲线19.20.透射光控曲线参数设置21.22.23.24.反射光控曲线怎么会这样呢？25.26.27.28.29.怎样才能把多个设计曲线画在一张图上?30.31.32.在TFC设计中，不显示颜色，啥回事？比如基底是K9，当我优化出物理厚度，还有反射曲线时，我想看一下颜色，我在镀制中是否一样。但看不到，讲必须中心波长在780以上。33.跟中心波长无关，只要在显示的波长中包含可见光波段（380-780）就行。34.TFC 添加材料步骤35.在这里以添加ZnS为例： =kCr0aPF 首先你有ZnS参数，为TXT格式，如下图所示： KZs 添加步骤如下所示。36.37.38.39.40.41.五氧化二钽折射率怎么來?你可以通过光谱仪测量计算,也可以由椭偏仪直接测量,然后保存为TXT格式,怎样把光学厚度复制其它文档 可以保存TXT文档怎样把由tfc设计的制程的膜厚转变成光量？要善于利用tfc自带帮助功能 rEjXK 为什么有时候，的图形输出是角度与反射或透射率的形式呢怎样才能把它转化为波长与反射率或透射率的形式？ /1yj