1、一、 目的规范 规范PTH线流程,提供PTH线工艺控制参数和操作方法,指导生产人员正常生产,以确保生产产品品质,适用于PTH手动或自动线操作。三、 PTH线设备规格表备注: SS:不锈钢 QTZ:石英 P.P:聚丙烯 T:气缸振荡 M:机械摇摆 A:打气 V:电振荡器 TF:铁氟龙 C:冷却四、 PTH自动线程序图及各缸时间范围 注:滴水时间栏空白无要求 各厂根据实际情况可作适当调整 5.1.1前期准备 A、清洗缸体:新线开缸前须用3-5% NaOH溶液泡缸12小时,用清水清洗干净后,再用3-5% H2SO4泡缸12小时,再用清水冲洗,至少2次,药水槽再用纯水清洗一次备用。旧线视缸体清洁度,可
2、考虑不用酸碱泡,但缸体须用清水洗净,药水缸须用纯水清洗; B、测量:测量缸内壁长、宽、高,计算出缸体积,计算方法: V 体= 长宽高(药水液位高度); C、检查生产辅料(比如,H2SO4是否浑浊等)。 5.1.2开缸 5.1.2.1整孔除油缸: A、加入DI水至2/3体积; B、加入整孔剂DS-122(10%); C、补充DI水至液位; D、打开加热,开启过滤机 5.1.2.2微蚀缸: A、加入水至2/3体积,开启打气; B、加入硫酸4%(或硫酸8%,适合硫酸双氧水系列产品); C、冷却后加入过硫酸钠80g/L; D、加水至液位,搅拌。 5.1.2.3酸浸缸: B、加入2%(V/V)H2SO4
3、; C、加入DI水至液位,搅拌均匀。 5.1.2.4预浸缸: B、加入预浸剂DS-133 220g/L(或DS-133 220g/L,AR盐酸5%,适合DS-133体系); C、加入DI水至液位,搅溶后开启过滤泵。 5.1.2.5活化缸: B、加入预浸盐DS-133 220g/L,AR盐酸5%。 C、加入DI水至液位,搅溶后开启过滤泵; D、加入活化剂DS-140 2%; E、打开加热器循环。 5.1.2.6加速缸: B、加DS-155 10%; C、加入DI水至液位; D、打开过滤泵。 5.1.2.7沉铜缸: B、开启打气,加入沉铜液DS-166M 5%; C、缓慢加入DS-166A 7%;
4、 D、缓慢加入DS-166B 7%; E、补充DI水至液位,开启过滤。 5.2.1整孔除油 A、工艺参数 a、温度 60-70 b、时间 5-8min c、过滤 连续过滤 d、摇摆 连续 B、控制 a、碱度控制在0.09-0.15N; b、每生产100m2板补加1-1.5L DS-122; c、每班分析一次,依化验结果调整维护。 C、更换 a、每升工作液处理30-35m2板或铜含量大于1g/L时换缸; b、每次全部排净旧液,洗净缸体后,重新开缸。 5.2.2微蚀 a、温度 25-35 b、时间 1-2min c、浓度 Na2S2O8 60-100g/L H2SO4 3-5% d、过滤 连续过滤
5、 f、打气 过硫酸钠体系开打气,双氧水体系无须打气。 a、每生产100m2添加Na2S2O8 5KG,硫酸2L; b、每班分析一次,微蚀速率控制在0.6-1.0um/mm; a、铜含量大于25g/L时更换; b、更换时保管1/6左右旧槽液,再加入1/2体积纯水,然后加入4%硫酸及80g/L Na2S2O8,用纯水补充至液位。 5.2.3酸浸缸 a、温度 室温(20-30) b、时间 1-3min c、摇摆 连续 a、H2SO4浓度控制在1-3%; b、每班分析一次,按分析结果补加。 与微蚀缸同时更换。 5.2.4预浸 a、温度 室温(18-30) b、时间 0.5-2min d、摇摆 连续。
6、a、比重控制在1.116-1.142SG,每添加165g/L DS-133可升高比重0.01SG(或补加165g/L DS-133可升高比重0.01SG,8.3ml/L盐酸可提高酸度0.1N,此适合DS-133体系); b、每生产100m2板补加2.5KG DS-133、0.5L盐酸。 a、每升槽液生产30m2时更换; b、或溶液转变成蓝色或绿色时更换。 5.2.5活化 a、温度 35-44 c、搅拌 摇摆或过滤循环 d、加热器 石英或铁氟龙e、过滤 定期过滤 a、每生产100m2补加DS-140 0.6L; b、比重控制在1.116-1.142SG,比色控制在60-90%。 a、每升槽液生产
7、600m2时换缸; b、铁含量高于150ppm时更换; c、换时排除全部旧液,再用稀盐酸泡洗槽壁,以清水洗净后用纯水清洗,重新开缸。 5.2.6加速 a、温度 酸性室温(20-30) b、时间 2-4min d、过滤 连续过滤 a、酸性控制到0.2-0.4N; b、每生产1000ft相对补加DS-155 1.5L。 a、每升槽液生产20-30m2时更换; b、当溶液变混浊时; c、更换时全部排除旧液,洗净槽液重新更换。 5.2.7化学铜 a、温度 25-30 b、时间 12-18min c、沉积速率 1.6-25微英寸/分钟 e、搅拌 空气及机械搅拌 f、操作容量(负载) 0.15-0.25f
8、t2/L a、浓度控制Cu2+ 1.5-2.5g/LNaOH 11-13g/LHCHO 6-8g/L b、浓度控制在正常范围之内 补加量计算方法: 1.每生产6-8m2板添加DS-166A、B各1L; 2.每星期更换一次过滤棉芯,更换时用稀硫酸浸洗新滤芯,用DI水洗净,放入滤槽中使用; 3.每周倒一次槽,并将槽内壁沉积铜消除,方法:抽入废微蚀液或加入一定量H2SO4、Na2S2O8并加水至液位并开启打气; 4.每班分析3次,即4小时分析一次。 a、每升槽液生产30-40m2或药水添加量达50MTO时换缸; b、更换时将槽液全部排放,消除缸内壁沉积铜,洗净后重新配。5.3生产控制与维护 5.3.
9、1新开缸药水须化验分析,确保浓度正常范围,检查各药水缸温度应达到正常范围; 5.3.2 取三架裸基材板依沉铜线正常程序拖缸。每架双面累积应达沉铜缸最佳负载,即0.2ft2/L; 5.3.3 紧接拖缸板后做一架生产板,抽取生产板背光,要求:双面板8.5级以上,多层板8.0级以上(详见背光等级表)。正常后批量生产,并连续生产,并连续跟进至少3缸板。 5.3.4 生产过程中须做好生产记录,药水补加尽可能少量多次,以保持各药水缸浓度平衡,前处理各缸药水每生产100 m2补加一次,化铜缸视生产板而定,每架板至少6 m2时,累积6m2补加166A、B液各1L,每架大于6m2时,生产一架添加一次。添加量计算
10、:添加量(L)=累积生产面积m2/6m2; 5.3.5 每次开拉前须检查设备运行状况,待温度升到正常管控要求,化验分析调整各药水缸浓度后,拖缸做板,步骤同5.3.2、5.3.3; 5.3.6 无化验室的厂家,每次开拉前,沉铜缸须补加DS-166A、B各15ml/L,停产12小时以上,还须补加至少5ml/L甲醛(37%)。5.4 PTH线停产处理方法: 5.4.1 停产前沉铜少添加一次药水; 5.4.2 关掉所有药水缸中的加热器; 5.4.3 关掉水洗缸的入水阀及打气阀; 5.4.4 保持沉铜缸有打气及过滤; 5.4.5 保持活化缸有循环; 5.4.6 长时间停产或放假,须将药水缸盖好,尤其是活
11、化槽。5.5 PTH线停电及机械故障处理方法: 5.5.1 当遇停电或机械故障时把正浸在药水槽中的板取出水洗待重做; 5.5.2 当遇停电机械故障不超过10分钟,浸在水洗缸中的板可正常往后生产如若不然须取出重做; 5.5.3 在沉铜缸内板可继续沉铜至足够时间,然后取出至板电; 5.5.4 停电时间超过4小时,须用纯水酸制,用AR级硫酸中和沉铜缸中的NaOH,用量约为7ml/L(AR级硫酸); 5.5.5 返工板程序: 微蚀水洗磨板PTH工序5.6 沉铜效果检测: 5.6.1 背光检测:每生产四小时检测一次,具体见背光对照表; 5.6.2 孔铜附着力检测:沉铜板做到成品后,进行热冲击实验,孔铜不脱离为OK。六、 PTH线常见问题及处理七、 背光级数表
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