ESD防护治理方式Word下载.docx

1、负责ESD防护文件和操作指导文件的编写与建立；5.解释静电 静电的发生及带电 静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒，由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。 静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉

2、体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。 接触起电：当两种物质接触时，其间距小于10-8cm 时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷。 感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷。 剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电。 摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移。 静电的危害 对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起

3、的电击。对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效。；二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。 绝缘体与导体绝缘体绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1012。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态。如：普通塑料制品、乙烯等导体导体一般表面电阻率在105以下，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。防静电材料根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。

4、静电绝缘材料：表面电阻率1012；静电耗散材料：表面电阻率 105-1011；静电导电材料：表面电阻率 103-105；静电屏蔽材料：表面电阻率103； 静电发生源 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。表 1 常见物体的静电发生序列55 漏电测试工具如电烙铁、电批、示波器等；由于使用 220V 电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后

5、，要求漏电电压小于1V。56 电子元器件的静电耐压表 2 一些器件类型的静电敏感电压值 6.工厂防静电对策作业员 对于可接触到静电敏感元器件或有机会接触到静电敏感元器件的作业员需配戴防静电手环、坐式作业须坐防静电凳； SMT车间员工需配戴防静电手环、穿防静电衣、戴防静电帽、穿防静电鞋； DIP车间员工需配戴防静电手环、戴防静电帽、穿防静电鞋； 仓库、IQC、工程分析人员接触静电敏感元器件时（如：直接接触IC、MOS 元件、加工好的PCBA等）需配戴防静电手环，当没有静电地线时应戴防静电手套进行作业，但是不能长时间接触静电敏感器件；带静电手环注意事项 员工在作业前必须先测试所佩带的防静电腕带是合

6、格的,方可开始作业；作业时, 防静电腕带戴在不影响作业的一只手上； 一定要使防静电腕带紧贴到手腕皮肤；不能戴在手套、衣袖上不能使防静电腕带拉长超过弹性限度,防止将内部导线拉断；当防静电腕带因汗、灰等变脏时会影响接触效果,要清洁金属接触部位；防静电凳子修理台、组件加工、生产作业台面（如插件物料加工台、SMT 炉后检查台、PCB 测试台、炉后分板台、皮带线拉体加工台等）电批需进行接设备地，防止漏电损伤电子元器件；接地时直接接到设备地，电阻小于4。漏电电压要求在Vac； 电烙铁需接设备地，防止漏电损伤电子元器件；接地阻值小于10，漏电电压要求在Vac。 电源插座接地孔应接设备地，接地电阻10。 测试

7、仪器、测试工装、显示器、带灯放大镜等要求接设备地，接地电阻10。台面要求铺设静电胶皮台面为木质材料，防静电胶皮直接铺在台面上，每2 米需接接地线扣（内含1M电阻）1个，与防静电地线连接，或可通过接地铜片直接接防静电地线；台面为金属类材料，需在台面上铺设绝缘胶皮或其它绝缘层；防静电胶皮铺在绝缘胶皮或其它绝缘层上，每2 米需接接地线扣（内含1M电阻）1 个，与防静电地线连接，或可通过接地铜片直接接防静电地线；修理台金属架需接设备地，接地电阻10。如台面为金属台面需注意防静电胶皮接地扣不能与台面短路。（即造成设备地与静电地短路）； 周转箱/周转框/周转板架用于 PCB、PCBA、半成品、物料的周转箱

8、/周转框/周转板架，要求使用防静电材料或使用中性的纸箱进行周转。其表面电阻要求在1051011；表面电压150V。 周转车用于PCBA、半成品周转的周转车，要求使用防静电材料制作的周围车进行周转。表面电阻要求在1051011；有接地铁链的必须保证铁链接地导通性良好，不能生锈、或者悬空。 防静电袋、物料盒半导体元器件供应商供货要求使用防静电材料（一般使用防静电的聚乙烯）包装；防静电袋的使用寿命和防静电效果会随时间而消失,原则上为一次性使用。对重复使用的防静电袋要求在使用前进行防静电测试，合格后才能投入使用。测试标准表面电阻要求在1051011；防静电物料盒、金属物料盒不能用锡箔纸包，一般的不防静

9、电的物料盒且离静电敏感器件距离较近（如装螺丝的物料盒；修理位的不防静电的物料盒）的应用锡箔纸包，用锡箔纸包了的物料盒不能用来装静电敏感器件（如IC 等）。治具、机架通常情况要求测试机架使用防静电材料进行制作，表面电阻要求在1051011；如果使用一般不防静电材料（如有机玻璃）制作，必须采取防静电措施，如需在测试机架上加防静电胶皮或包锡箔纸并实施接地；或者喷防静电液使其表面电阻达到1051011；相对湿度：工厂重点区域要求相对湿度在40%-75%。各个电子仓库、车间在对静电敏感器件做防尘处理时，要确保防尘膜不能直接和静电敏感器件接触，需先在静电敏感器件上盖上防静电材料，然后再围防尘膜。 地线 静

10、电地线：用于静电手环、静电席等接地。设备地线：用于生产线上的仪器设备接地。设备接地规则 接地位置：优先顺序由高到低依次为：设备仪器的后面、左侧、前面（设备仪器后面可以接地的都必须接在后面，后面不能接地的则可以选择左侧或者前面）接地线规格要求:总干线使用 的黄绿线;连接仪器设备支线使用 的黑线；接地方法：接地线在设备地线上绕接约2cm（紧密缠绕）如图所示，再采取焊接方式，直接将连接点用锡焊接起来，接点更加牢靠。接地线可以直接使用鳄鱼夹夹在设备地线上; 鳄鱼夹的连接线必须使用焊接或工具压接方式，不可以直接缠绕在上面； 接地线连接仪器、工具的一端，须使用线耳焊接或工具压接的方式，将其固定在仪器、工具

11、的螺丝下面；防静电材料编码规则所有的防静电胶皮、防静电胶箱、接地扣、防静电椅/凳子、防静电周转车，防静电周转架等需要进行编码管理，以便于检验记录使用；编码规则 编码共9-10 位数代表， 如： LTA-JDK001 为一车间001 号接地扣 ,第 1、2 位为LT厂，固定不变；第3 位为车间代码（如：SMT一车间为A；SMT二车间为B；DIP车间为C；货仓为D；品质部为E；工程部为F； 等依次排序）；第4、5、6 位为物品类型（防静电胶皮为JDP，防静电胶箱为JDX，防静电凳子为JDD，接地扣为JDK 等）；第7、8、9、10 位为物品的编号数量，从001 开始累加。6.11.2.2标签使用

12、尺寸为40MM*15MM 的贴纸,可以打印和手写,字体要工整,清晰,不易擦除/掉色。7.工厂防静电措施检测防静电手环测试，及物品（地板）表面电阻/电压测试规定：检测项目责任 部门ESD防护要求检测仪器检测频次异常处置表面电阻静电电压日周月防静电手环生产/品质/仓库若绿色“PASS”指示灯一直亮,则表明佩带防静电腕带良好，其他NG。静电测试仪上班前反馈拉长防静电地板品质10510110150V表面电阻/电压测试仪反馈生产/人事防静电胶皮反馈生产/采购生产/反馈防静电胶箱/胶盒仓库部门主管防静电胶袋反馈采购防静电车生产/仓库反馈部门主管防静电衣反馈人事防静电帽防静电手套防静电鞋防静电隔板、刀卡、珍

13、珠棉防静电货物栈板生产表面电阻测试仪备注：所有防静电要求的材料，来料时IQC须按照ESD防护要求进行检查。接地系统检测项目规定:测试项目测试仪器合格范围值测试频率检测部门ESD专用接线箱铜条到大地电阻接地电阻测试仪（摇表）R=R1+R210每年电工生产线接地线线尾对专用接地箱中接地铜条的电阻万用表+延长导线10每月工程每条生产线设备地线与防静电地线短路检测万用表电阻大于2以上（非短路）即可，每周IPQC设备接地电阻4设备漏电电压电烙铁的接地电阻10电烙铁漏电压测试仪器、机架接地电阻测试仪器、机架漏电电压电批的接地电阻电批漏电压8.防静电的点检及记录 由各生产线人员每天上班前进行点检；同时将每个

14、测试结果记录在防静电手环测试记录表中； 对点检中发现的不良静电手环要求立即进行更换，并重新测试； 对点检中个别员工皮肤干臊引起接触电阻高使测试不通过的，可在作业员与静电手环金属片接触的皮肤处涂抹润肤保湿霜，2 小时涂一次； 电批、电烙铁 由各生产线指定专人每天进行点检；同时将每个测试结果记录在电批扭力/漏电/接地记录卡、电烙铁温度&漏电&接地记录卡中；防静电衣、帽、手套、鞋，防静电车、胶箱、胶盒、栈板 由各生产线指定专人每月进行抽检；同时将测试结果记录在静电检查记录表中；防静电地板、胶皮、胶袋、隔板、刀卡、珍珠棉由品质部IPQC指定专人,根据检测频次要求，每周/每月进行抽检；同时将测试结果分别

15、记录在静电皮检查记录、防静电胶袋/隔板/刀卡/珍珠棉检查记录及静电检查记录表中； 仪器、设备、机架、治具 由品质部IPQC指定专人,每周进行检查；同时将测试结果记录在设备&测试架&工具接地/漏电记录卡中； 每条生产线设备地线与防静电地线短路检测同时将测试结果记录在设备地线与静电地线间电阻点检表中；由工程部指定专人,每周月进行检查；同时将测试结果记录在产线静电地线与主干线间电阻点检表中； ESD专用接线箱铜条到大地电阻由电工每年测试一次；同时将测试结果记录在防静电接地系统检查表中； 相对湿度仓库、各区域指定专门的人员按仓库管理办法及相关要求点检湿度，同时将每个测试结果记录在温湿度记录表中。9.防

16、静电的管理 防静电的措施制定由工程制定、完善、解释本管理办法由品质部每月组织抽查各生产车间对本管理办法执行情况；抽查不合格项要求由各部门长签名确认；抽检结果记录在ESD 检查清单中，不合格项发出不合格项整改对策报告，责任部门按时完成。外来人员的静电防护措施制定外来人员要进入静电防护区域，必须按照工厂要求实施相应的静电防护措施。临时增加的作业区域静电防护措施对于临时增加工位的ESD 点检同样要形成记录，定期进行点检, ESD 点检合格方可进行生产。 防护等级制定静电审查不符合项判断标准Maj：1、直接接触ESDS 的人或仪器未按照静电防护要求进行防护；2、人员无静电防护意识；3、连续2 次检查都

17、有出现的Min；4、无点检记录或点检记录不真实；5、同一次审查中2 个Min 等于1 个Maj；Min：1、突发性较强的问题；2、不易直接接触到ESDS 的工位人员或者设备未按照静电防护要求进行防护；3、有点检记录，但不齐全或有遗漏；无明显静电标示、未对静电防护器材进行编号管理；4、已经有改善措施，且正在进行改善的问题点；10.防静电标识:见到此标识，则说明此工作区域或产品是静电敏感的，进入此区域或操作此产品时需要做好防静电准备。见到此标识，则说明此产品是静电敏感的，同时也是经过防静电包装的，可以进行运输使用。拆开包装前需要做好防静电准备。11. 培训员工入职时，由人事安排进行ESD基础知识培训，并记录于入职培训卡中；在作业现场，对所有可能接触或接近ESDS的人员,必须进行相关的ESD知识培训,并加以教育与训练,使之树立有效的ESD防护观念;培训的有效期为一年。12. 相关文件防静电系统具体测试方法参照13.相关表单: 防静电手环测试记录表 温湿度记录表 电批扭力/漏电/接地记录卡 设备&工具接地/漏电记录卡 电烙铁温度&接地记录卡 静电检查记录表 产线静电地线与主干线间电阻点检表 静电皮检查记录 防静电胶袋/隔板/刀卡/珍珠棉检查记录设备地线与静电地线间电阻点检表防静电接地系统检查表 ESD 检查清单14.流程图: 无编制审核批准