双氧水分析指引Word格式.docx

1、水余量向槽中注入1/2的去离子水加入要求量的M-105混匀用去离子水调整至规定体积工艺条件工作温度5060处理时间56分钟搅拌方式工件移动当量浓度0.15-0.25N槽液维护1. 做1000平方尺板,应向槽中补加0.8L M-105;2. 每升M-105工作液处理200-250ft2板或当Cu2+达到2g/L时,应重新开缸.溶液工作强度分析吸取10.0ml槽液与250ml锥形瓶中,加D.I水50ml加3-5滴甲基红指示剂,用0.1N HCL 滴定至淡红色为终点,消耗为VHCL.计算:M105工作强度 %=22.75*VHCL NHCL铜离子含量分析取槽液20.0ml, 注入250ml锥形瓶.加

2、D.I水50ml, 1:1的氨水20ml, 乙醇10ml,加3-5滴PAN指示剂.用0.05M的EDTA滴定至淡绿为终点,记录所用体积数V.【Cu2+】=3.18MV废水处理用25%NaOH将槽液PH值调整到89,加1g/L硫酸亚铁,加热至70,直至溶液分解,使铜沉淀出来为止.调PH值为7.双氧水稳定剂 M-101M-101作为H2SO4H2O2体系稳定剂对蚀刻稳定效果良好,该蚀刻体系能均匀微蚀铜层表面,适用于孔金属化,图形电镀及镀金,镀镍前处理过程,另外还可用于挂具退铜.槽 -硬质聚乙烯,聚丙烯软化水约78升浓硫酸（98%）8升M-1013升过氧化氢（30%）化学镀铜图形镀4升工艺条件及控制

3、指标2040处理时间 化学镀铜23分钟图形铜0.51分钟H2O26%H2SO48%Cu2+80g/L每处理200Ft2补加浓硫酸0.5升,双氧水2升工作液,同时加入0.5升M-101（M101按双氧水补加量的20%补加）,补加前应先舀出适量体积的工作液.溶铜铜达80克/升工作液后需更换部分或全部槽液.分析方法试样准备:取10.0ml粗化液于100ml的容量瓶中,加D.I水至刻度硫酸吸取上述稀释液20.0ml于250ml锥形瓶中,2. 加100ml D.I.水,搅匀,加5滴甲基橙指示剂,用0.1N NaOH滴定从红色到终点桔黄色,计算H2SO4 %（体积比）=13.3*（0.1N NaOH消耗m

4、l ） 吸取稀释液20.0ml 250ml锥形瓶中,加100ml D.I.水,搅均,加40ml 20% H2SO4搅均,用0.1N的KMnO4标准液滴定至粉红色,H2O2 %（体积比）=12.90.1（标准KMnO4消耗ml ）铜含量吸取稀释液5.0ml于250ml锥形瓶中,加D.I水50ml,加10ml 1:1的氨水,10ml的甲醇,3滴PAN指示剂,搅动,用标准0.10M EDTA滴定,直到颜色变成淡绿色,Cu2+ g/L=（M.VEDTA）63.54预浸剂 M-201M-201是PTH活化过程前维护M-202槽液的酸性和比重的预浸液,并确保孔壁被均匀湿润,防止有害杂质带入M-202中;也

5、用于M-202槽液的制备.加热器 -石英M-201220240g/L240g/L37%试剂HCl25%4%去离子水室温0.52分钟酸当量浓度0.20.6N氯化物当量浓度4.04.45N比重大于1.14根据处理量补加每处理1000ft2板应补加入1.5-2.5Kg M-201和200-400ml 37%的HCl于槽中.根据分析结果控制每提高0.1N 酸浓度,每升槽液添7.93ml 37%的HCl.每提高0.1N 氯化物浓度,每升槽液添5.28克的M-201.根据比重补加M-201补加量18Be（1.14）无17Be（1.13）20g/L16Be（1.12）40g/LD. Cu2+1.0g/L更换

6、槽液.分析方法:吸取5ml槽液于250ml锥形瓶中,加50ml D.I水及3-5滴酚酞指示剂,用0.1N NaOH滴定至粉红色,酸当量浓度=0.2*0.1N*0.1N NaOH消耗ml吸取10ml槽液于250ml溶量瓶中,用D.I水稀释至刻度,摇均,吸取5ml稀释样液于250ml锥形瓶中, 加100ml D.I水,加0.5g糊精粉,加5g碳酸钙,加5-10滴二氯荧光粉指示剂,用0.1N硝酸银滴定至粉红色计算 氯化物当量浓度=2*0.1N*消耗硝酸银ml铜浓度吸取20ml槽液于250ml锥形瓶中, 加50ml D.I水,加20ml PH值=10的缓冲溶液,乙醇10ml加3-5滴PAR指示剂,用0

7、.05M的EDTA滴定至黄色金属铜含量=3.18*0.5M*E.D.T.A消耗mlM-202是一种新型的酸性胶体钯活化剂,这种新型活化剂胶体粒子可以渗入微孔并被均匀的吸附在非导体的表面上,为后续的化学镀铜提供充足有效的催化活性核心,广泛应用于双面及多层印制板的孔金属化工艺及塑料镀活化工艺.加热器 -石英或特氟龙220240g/l240g/l25%（V/V）4%（V/V）M-20235%（V/V）37分钟0.41N氯化物浓度4.05.0N氯化亚锡1024g/l大于1.12每处理100平方米板,需加入550ml M-202.根据比色法补加M-202浓度每提高1%需加入10ml/l的 M-202;酸

8、浓度提高0.1N,需加入37%试剂级盐酸7.93ml/l;需提高氯化亚锡含量时,可将需要量的氯化亚锡溶解到25%HCl溶液中,然后将此混合物加入槽液中.吸取5ml槽液于100ml容量瓶中, ,加8-10滴双氧水混合均匀,用D.I水稀释至刻度,摇均,吸取10ml稀释样液于250ml锥形瓶中, 加100ml D.I水及3-5滴酚酞指示剂,酸当量浓度=2*0.1N*0.1N NaOH消耗ml1. 吸取5ml槽液于100ml溶量瓶中,加8-10滴双氧水混合均匀,用D.I水稀释至刻度,摇均,吸取10ml稀释样液于250ml锥形瓶中, 加100ml D.I水,吸取10ml槽液于250ml锥形瓶中,加入75

9、mL 25%的HCl,加入75mL去离子水加入0.5-1.0g淀粉指示剂用0.1N的碘滴定至蓝黑色6. 计算: 氯化亚锡g/L = （碘毫升数）*（碘当量浓度）*9.48比色法:吸取30mL M202浓缩液注入1000mL容量瓶中.加入225g M201,20mL HCl,稀释至1L,摇均,这一溶液表示工作浓度为3.0%,吸取3.0%的标准样液50,45,40,35,30,25ml分别于六个容量瓶中,用25%体积比的HCL稀释至刻度,混匀,这些标准液代表M202工作液含量分别为3.0%,2.7%,2.4%,2.1%,1.8%,1.5%将标准液倒入2 OZ的玻璃瓶中并贴上标签,应将瓶子注满以避免

10、氯化亚锡的氧化,要确定3.0%工作液的浓度,吸取40ml槽液于一2 OZ的玻璃瓶中,加25%体积比的HCL混匀,再与配制的标准溶液进行颜色比较.如:要确定6.0%工作液的浓度,将20ml工作液与60ml25%体积比的HCL混合液与标准液比较,将与它所比色的标准液结果乘以2就得出正确得浓度.* 分光光度法暂时不用.M-203用于PTH活化过程后,调节被吸收的催化剂,使化学铜迅速均匀牢固地沉积,同时把活化剂的带入影响降至最低,延长化学镀铜溶液的使用寿命.槽 -聚氯乙烯,聚丙烯,硬质聚氯乙烯材料加热器 -不锈钢或特氟龙M-2036-8升203535分钟过滤控制范围 用10m聚丙烯滤芯连续过滤0.25

11、-0.35NM-203工作液每处理1000平方尺板料补加M203浓缩液1.2L;溶液转混浊时或Cu2+含量达到1g/L时更换整个槽液.M203体积%分析吸取20ml槽液于250ml锥形瓶中,加50ml D.I水,加8滴溴甲酚紫指示剂,用1.0N NaOH滴定,由黄色转为紫色M203的当量浓度N=0.05VNaOH5. 每提高0.01N的浓度需加3ml/L的M203吸取槽液20.0ml,注入250mL锥形瓶中.加D.I水50mL,pH=10的氨水20mL,乙醇10Ml,PAN指示剂3-5滴.用0.05M的EDTA滴定至橙黄色为终点,记下所用体积数V化学沉薄铜 M-1000AB体系M-1000AB

12、体系为双组份常温沉薄铜溶液,控制维护方便,消耗量少.槽 -聚氯乙烯,聚丙烯,聚四氟乙烯鼓气装置 -需要过滤泵 -510微米过滤能力的聚丙烯滤芯80LM-1000A8-10LM-1000B2535处理时间 1 15分钟搅拌方式 连 连续空气鼓泡循环过滤可连续进行或间隔进行槽液维护（以100升槽计）成份指标成分工作范围铜（克/升）1.6-2.52.0氢氧化钠（克/升）10-1613甲醛（克/升）6 - 87工作液处理100ft2板,需补加M-1000A 1.2L,M-1000B 1.2L.当室温低于25 时可每天适量补加甲醛100200ml,也可根据分析结果补加.存放需保持空气鼓气.长期停工前需用

13、稀硫酸将工作液PH值降至810.当镀液密度达至1.10克/立方厘米,必须放掉一半工作液,并配制新溶液.吸取20ml槽液于250ml锥形瓶中,加50ml D.I水,20ml 20%硫酸,20ml 10%碘化钾,20ml10%硫氢酸钾,摇均.用0.1N的硫代硫酸钠标准液滴定至浅黄色,加5ml淀粉溶液,继续用0.1N的硫代硫酸钠标准液滴定至米色Cu g/L=3.177（N.V）硫代硫酸钠NaOH和甲醛吸取5ml槽液于250ml锥形瓶中,加50ml D.I水,用0.1N HCL滴定至PH为10.5,记下HCL ml数,用与NaOH量的计算,用0.1N HCL滴定至PH为9.5,加25ml 1M亚硫酸钠

14、溶液,用0.1N HCL滴定至PH为9.5,保持5min不变,记下HCL ml数,用于甲醛量的计算,NaOH g/L=8*0.1N*ml HCLHCHO g/L=6*0.1N*ml HCL加入1%体积比的甲醛,15克/升的硫酸亚铁,加热到70直到溶液分解,并使铜沉淀出来为止.化学沉厚铜 M-900AB体系M-900AB体系为双组份沉厚铜溶液,控制维护方便,消耗量少.M-900MM-900AM-900B40451 3045分钟3.0-5.04.56-139.0P3 86可能出现的问题及解决方法问题可能的原因解决方法沉铜液不稳定,容易析铜槽液配制不对1）严格按供应商提供资料配制补充添加有问题1）只

15、能加纯药纯水,加后搅均2） 要在槽中无板时加3）多次分量补加工作量不对1） 建议工作量0.4ft2/L2） 板在槽中要放均匀4. 槽液被污染1）板入槽前洗净并减少带入2）钯液被带入,引起分解3） 注意有无板掉入槽4）用前或定期彻底清洗5）不用时加盖,减少灰尘6）清洗滤芯直到洗水无泡5. 维护不当1） 连续过滤并定期倒槽2）减少灰尘污染3）备用槽要干净6. 温度太高1）检查温控系统2）工作量太大3） 加药太猛沉积速率太慢,或有暗色铜面出现1. 镀液不平衡1）分析补加2. 活性不足1）保持工作量4ft2/L3 温度太低1）维持所需温度4. 有机物或油质污染1）关掉打气滤去油,必要时需重新开缸5.

16、吹气太强1） 保持适中黑孔或针孔沉铜速度太低1）提高温度或指标2）分析各种成份,并注意槽液是否正确前处理不良1）调整除油及活化体系3. 沉铜液杂质太多1）停工过滤4. 各槽液之搅拌不足1）加强可能原因板面发花1. 前处理问题1.）分析,试验整孔液及与其它溶液相容之情况2 . 沉铜液被污染1.）更换槽液树脂面上出破洞1 .整孔不当1.检查整孔液成份,作业条件,操作方式沉铜层结合力不好1 前处理问题1. 分析及试验整孔液及与其它溶液相容之情况2 .沉铜液被污染1. 更换槽液孔壁粗糙1. 钻孔粗糙,甚至玻璃束拉断及挖破1 .检查调整2. PTH前浮石粉未清除1.用蒸汽喷洗或超音波助洗3 .蚀刻过度造成玻璃突出减少处理时间4. 铜液有固体污染1.定时过滤5. 沉积速率太快1.检查镀液状况