ESD防静电手册标准Word文档下载推荐.docx

1、靜電敏感區域的工程環境防靜電規範防靜電工程環境的要求地面的技術要求防靜電保護接地的要求靜電敏感區域的人員防靜電規範各類人員的防靜電知識培訓要求及職責人體靜電防護系統臨時或外來人員的防靜電管理靜電敏感區域的防靜電操作規範靜電敏感區域的工作臺、工裝、設備以及防靜電器材的防靜電規範頁數:3 OF 28規定ESD防靜電控制技術規範，為產品在元器件進料、製造、貯存、包裝等各 個環節提供明確可靠的ESD技術支援，從整體上提高公司靜電防護和控制水 準，提咼客戶的滿意度。本規範適用於公司內部靜電防護工程的設計、使用、管理、維護和檢測。同 時，此標準也適用於公司的電子設備的最終用戶的靜電放電控制。公司ESD組織

2、結構和職責本公司依據ESD :2007防靜電管理體系要求建立的，為確保公司防靜電管理體系 有效地建立、健全、運行和保持，特任命 先生 為ESD總負責人，全面負責 ESD體系的建立、實施、保持、改進，並負責與 ESD體系有關的內外部各方的 聯繫協調工作。執行董事：先生2014年09月12日4 OF 28倉尊虛貝卜ESDQZ 負責人負責人負責人PE科 負責人ESDI負責人確保職責和許可權被明確定義並得到充分溝通，以保證公司 ESD體系有效運行。ESD小組成員：制定ESD程式檔、檢測標準、和檢測專案和檢測頻率。建立ESD培訓制度，包括每年的週期性培訓。制定ESD稽核專案、稽核頻率並指定稽核人員 抽樣

3、檢查公司ESD日常執行情況ESD相關的計量儀器定期校驗。ESD基礎設施的建立。各靜電防護區域靜電防護線網的維護和檢測 溫度和濕度的管控。5 OF 28對新進廠的職員工進行防靜電知識的培訓。採購部：按要求購置防靜電物品。需要時取得防靜電物品的防靜電證書。生產部：執行防靜電措施。部門防靜電知識的宣導與培訓。部門防靜電專案的檢查。PE部：負責對SMT車間的靜電裝置、接地裝置防靜電專案的檢查。負責對各種感元件識別要求標準並通知相關部門；負責對防靜電區域儀器監管部門培訓靜電知識；ESD既要本文主要從靜電控制的五個方面（即人員、設備、物料、方法和環境）來論述ESD 規範，貫穿了公司產品設計、製造、貯存、包

4、裝等各個環節防靜電控制，詳細 介紹了防靜電設施的技術要求、檢測方法和作業指導等內容。ESD Electro-Static Discharge 靜電釋放6 OF 28抗靜電材料：同種材料或類似材料相互摩擦，幾乎不產生靜電荷的材料。導靜電材料：材料表面電阻率每平方米小於 105Q的材料。靜電消散性材料：表面電阻率介於每平方米 105 Q與1012 Q之間的材料。 絕緣材料：表面電阻率每平方米大於等於 1012Q的材料。表面電阻率：每平方米材料表面兩個電極間的電阻。靜電敏感器件：指IC類與電晶體（二極體）類電子元件。靜電敏感區：指生產區域、存儲區域、檢驗區域。非靜電敏感區：指除了靜電敏感區以外的所有

5、區域 ，其中包括部分在靜電敏感區 中劃分的非靜電敏感區.防靜電工作區：配備各種防靜電設備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊界 和專門標記的適於從事靜電防護操作的場所。接地：電子連接到能供給或接受大量電荷的物體（如大地、艦船或運載工具外 殼等）。硬接地：直接與大地電極作導電性連接的一種接地方式。軟接地：通過一足以限制流過人體的電流達到安全值的電阻連接到大地電極的 一種接地方式。7 OF 28大地電極：埋於地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。它可以 是杆狀的、板狀的或網狀的，為接地系統提供接大地的基準點。高靜電材料：容易產生靜電及累積靜電的材料，例如：普通紙張、普通塑膠 袋、塑膠筆等。

6、表1靜電敏感器件列表序號型號抗靜電值（Volts）1MOSFET（貼片式場效應管）100-2002SAW濾波器）150-5003 :JFET140-72004CMOS電腦用晶片）250-30005JFET（結型場效應管）140-7006雙極性電晶體380-70007肖特基二極體300-30008運算放大器190-25009膜片電阻（厚、薄）10綁定IC暫缺11LED靜電防護區域（EPA的界定和標識EPA劃分8OF 28EPA必須具有如下的基本環境要求： 明確的區域界限和防靜電警示標 對區域內的所有導體包括人員可靠接地 消除一切不必要的靜電產生源。靜電敏感器件必須離靜電源大於 30釐米處。根據本

7、公司產品器件的靜電敏感度等級，將本公司靜電敏感度等級防範要求為 100V。防護要求為：（我們公司的敏感等級靜電敏感度等級防範要求為100V,應儘量避免產生100V以上的靜電電荷源, 如不能避免，應通過有效方式消除。採用防靜電標識與其他區域分隔開，未採取有效防靜電措施的人員、設備、物 料、工具等皆不得入內。進入本區域應作好人員防靜電要求，包括防靜電服、防靜電帽和防靜電鞋，並 做人體綜合電阻測試合格後才能進入。對於配備靜電手環的崗位，還要做腕帶 檢測，檢測合格，表示該腕帶可以使用。EPA靜電控制措施（控制措施按照表 2實施）：表2 EPA靜電控制措施要求ESD控制措施要求靜電電壓控制標準小於100

8、V防靜電標識防靜電地板防靜電桌墊防靜電腕帶可選防靜電工作手套、指套防靜電工作服防靜電帽防靜電工作鞋防靜電工作椅防靜電周轉工具防靜電包裝材料防靜電烙鐵防靜電吸錫器裝配、調試及輔助工具防靜電靜電產生材料禁止帶入 EPA人體電阻測試儀（帶腕帶測試儀）區域封閉性出入口控制靜電電壓表兆歐表接地系統監控儀離子風靜電消除器離子風機靜電消除器測試儀防靜電液非防靜電包裝的拆包區域外操作或獨立工位操作辦公區區域外或獨立工區EPA標 識防靜電工作區、防靜電包裝材料和轉運工具、設備儀器、防靜電接地系的接地 等都應該具有防靜電標識。防靜電標識的作用是警示任何靠近防靜電工作區的 人員，區域記憶體在靜電敏感器件的操作；警示

9、任何接觸靜10OF 28電敏感器件的人員，對該器件的操作必須進行靜電防護。靜電標識上應注意說明如 注意：靜電安全工作區 或其同意語。 放電” 注 意” 危險”等標示對靜電控制是不合適的。EPA標識所在的位置及其大小應該至少保證在距離工作區 1米時清晰可見。在邊界線內貼靜電敏感區的區域界限標識（如圖 A）,其寬度為45cm。需要在靜電安全工作區的每一個入口和出口放置防靜電標識牌和控制說明 防靜電器材、工具和靜電敏感物料都必須具有明顯的防靜電標識，防靜電容器（防靜電周轉箱A防靜電元域盒等标志元件架和運輸車等器材上應 有防靜電標誌，其標誌應置於明顯且不易受到磨損的地方。如圖 B,防靜電性能標準表3項

10、目要求限定檢測頻率檢驗比例檢測人員防靜電服 1 x 1011 歐姆新購每批5%IQC每月20件ESD Group20個防靜電鞋 x 107歐姆防靜電手套/手指套放靜電地板 1 x 1C9歐姆新安裝100%清潔後半年防靜電工作臺 1 x 109歐姆 1 x 10歐姆移動貨架固定貨架手推車接地線 1歐姆監視報警器是否正常工作 （檢測方法參考相 關指導書）每週維修設備（烙鐵對地阻值）=2 Ohm每天T/S+/- 50V年（外校）IQC抽樣檢驗標準機器接地電阻2Q防靜電容器（周 轉）物品所屬部門靜電敏感區域的工程環境防靜電規範 防靜電工程環境的要求：環境的溫度、濕度要求13 OF 28根據公司環境要求

11、檔對公司內部各個生產區域的溫濕度進行管控，靜電控制環 境內應配備溫度計和濕度計，溫度計和濕度計必須放置在垂直固定於牆壁上， 並按要求做好點檢記錄。地板的防靜電要求：為有效地使人體靜電能通過地板儘快洩漏到大地，除了操 作人員穿用防靜電服、防靜電鞋外，其先決條件是地板必須具有一定的導電性 能，即是防靜電的。防靜電地板的靜電特性定期檢查與維護保養： 當地板上附著有絕緣性的油膜、樹脂、橡膠和髒汙時，清掃防靜電地板時不得使用絕緣性的地板臘。 防靜電保護接地技術要求：防靜電系統必須有可靠的接地裝置，主要技術要求如下 ：接地線（總地線）：也稱為地線母線。接地主幹線的截面面積應不小於100mm2，支幹線（黃綠

12、雙色）的截面面積應不小於 6mm2設備和工作臺的接地線採用截面面積應不小於 的黃綠雙色導線。防靜電設備的連接端子應確保接觸可靠，易裝拆，必須使用插頭座等。接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護接地電阻應小於 2Q。14 OF 28地線的埋設：埋設地線的原則是埋設地點的土壤電阻係數愈小愈好接地體與土 壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。地設地線的注意事項：接地線與接地線接頭必須焊接牢固，要有足夠的機械強度，引線不要過長。要採用耐腐蝕的接地體金屬。要保持接地體附近土質的品質，並不斷採取措施防止接地電阻變大。防靜電地線必須是永久性的。.接地線需要定期檢查：接地線需要定期維護：對於檢查

13、不過關的接地線必須採取措施及時解決。確保接地線有效接地。對於生銹的或接觸不好的接地線要及時更換。對於鬆動的接地線要重新連接。按接地線相關規定進行維護。各類人員的防靜電知識培訓要求及職責：有可能進入靜電敏感區域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都必須接受 防靜電知識培訓。這既是對每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方 法和途徑之一。所有新員工在接受入廠培訓時，必須接受 ESD知識的培訓。培訓結束後，所有 被培訓者需要通過 ESD的考試，合格者才能上崗。所有在職人員必須每年接受2次ESD知識再培訓。培訓內容包括介紹 ESD的 新技術，新規範等。採購部人員必須接受 ESD基本知識培訓，幫助生

14、產部門採購合格的 ESD防護材 料。負責防靜電接地和布生產線的人員，應接受更為專業的 ESD知識培訓。瞭解防靜電接地系統要求並掌握地樁、地線和其他防靜電設施的敷設或安裝。計量檢定人員也應瞭解 ESD基本知識，尤其是關於防靜電儀器的校驗知識，要 定期校驗防靜電檢測器材，保證其安全、有效，現儀器全部外校，每年 1次。人體靜電防護系統：防靜電工作服：防靜電工作服是指為防止靜電荷積累，用防靜電織物作為面料而製成的工作 服，樣式有連體式、分體式等。防靜電工作服主要用來泄放人體高絕緣性能的 服裝所產生的靜電或減少人體靜電產生。16 OF 28防靜電服使用要求：進入防靜電區域的人員必須按規定穿防靜電大褂衣，

15、夾克衣或防靜電連體服, 嚴禁穿一般合成纖維工作服。防靜電衣必須在更衣室更換，不允許在 ESD區域穿或脫防靜電衣。 禁止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無關的金屬物品或裝飾品。不能把非防靜電衣的衣領翻出蓋住防靜電衣的衣領，防靜電衣須將拉鏈拉好, 扣子扣好。非不準將防靜電衣的袖子挽起，不準將手錶、手飾等與工作無關的 裝飾物品露出防靜電衣外。防靜電大褂衣和夾克衣，應保持清潔，工作服的洗滌應儘量採用簡易方法進 行，採用中性洗滌劑 要避免受到較強的機械和化學操作的洗滌。防靜電服需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表 3。 防靜電服的檢測：檢測項目：表面電阻。檢測位置：袖與袖之間。 檢測儀器：阻抗測試儀。170F

16、 28防靜電帽應正確佩戴，帽沿朝前頭髮不能露出防靜電帽外後腦 部分的短細的頭髮。防靜電帽需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表 3。防靜電服的檢測：表面電阻靜電帽表面檢測儀器：阻抗測試儀防靜電工作鞋：作業人員必須穿防靜電鞋，經過人體綜合電阻測試合格後，方可進入靜電敏感 區域工作。防靜電鞋需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表 3。防靜電鞋的檢測：對地電阻。人體綜合測試儀防靜電手套或指套：操作員工在接觸靜電敏感材料時，需要戴上防靜電手套或指套。防靜電防靜電手套或指套需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表 3。防靜電手套或指套的檢測：18 OF 28對地電阻表面阻抗儀防靜電手套或指套較髒或破損時，應及時更換。

17、防靜電腕帶：防靜電腕帶是通過腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將人體皮膚表 面靜電泄放掉裝置作業員坐著接觸靜電敏感材料時，需要佩戴防靜電手腕。防靜電腕帶佩帶方法：將腕帶紮於手腕處，不能鬆動，手腕感覺四周握緊。 保證手腕帶內表面與皮膚良好接觸。防靜電腕帶接地應採用插孔的連接方式，應避免使用鱷魚夾的接地方式。防靜電腕帶需要檢測，檢測頻率和檢測標準參考表 3。臨時或外來人員的防靜電管理：臨時（外來）人員，包括參觀人員、非本車間聯繫工作人員、臨時施工人員 （包括電工、修理工、裝 飾工等），進入防靜電區域時，必須遵守防靜電區域和生產 過程的各項防靜電要求。臨時（外來）人員進入EPA區域，必須有本公

18、司內部經過 ESD培訓的人員陪同。不 能有違背公司ESD規定的舉動。19 OF 28臨時施工作業在正常生產時間內要避免暫態高壓、暫態放電的操作 （如電焊、啟動電機、開關高壓 電源等）或事前採取防範措施，或安排在非生產時間內施工 作業。防靜電區域內需要進行某種維護、修理作業時，維護人員應遵守防靜電區域的 有關規定。靜電敏感區域的防靜電操作規範 所有的 靜電敏感器件及其部件的操作必須在靜電安全工作臺上進行。 貯存和運輸靜電敏感器件及其部件時，應妥善進行防靜電包裝。拒絕接受未包裝在防靜電容器裏的靜電敏感器件及其部件。所有用非ESD材料包裝的電子元器件都應在指定的靜電泄放區域，經過拆包和 靜電泄放處理

19、後，方可 用防靜電中轉工具將其轉到靜電敏感區域。不允許在靜電敏感區域內存放和處理非 ESD的材料，不允許在非靜電敏感區域 內存放和處理未包裝的 靜電敏感材料，不允許非 ESD的材料與 靜電敏感材料 混放。進入靜電敏感區域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜電環， 腕帶必須與皮膚有良好接觸並將腕帶接入可靠的防靜電接地系統中，防靜電鞋 和腳必須與防靜電地板或 ESD地墊保持良好接觸防靜電帽也必須按規定戴 好。不得隨意拆除和改變靜電敏感器件及其部件的封裝。20 OF 28測試靜電敏感器件時必須遵守加電和去電順序，嚴禁帶電插拔靜電敏感器件。 操作員工在接觸靜電敏感材料時，需要戴上防靜電手套或

20、指套。清潔靜電敏感器件及其部件時，不得使用塑膠刷，必須使用防靜電刷。不具備防靜電功能的必備工具和用具，應放在防靜電桌墊上。如果需要加裝離 子分機，並將這些工具置於離子風機的作用範圍內。靜電敏感材料必須使用防靜電材料盛放和包裝。靜電敏感材料初始包裝應在靜電敏感區域內完成，並要用防靜電材料包裝。完成了初始包裝的 靜電敏感材料 器件 進行二次包裝時可以在非 ESD區域內完 成，可不採用防靜電材料。禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝 靜電敏感材料 器件。在任何場合均不允許未採取防靜電措施的人員接觸 靜電敏感材料及其部件。生產過程中使用的設備必須採取接地等防靜電措施。生產過程中運輸靜電敏感材料及

21、其部件時，應將其放入防靜電包裝內進行。必 要時，應用離子風機來消除在運輸過程中產生的靜電。新佈置的生產線或工位等都應進行 ESD認可，只有認可合格後，方可給生產線 使用。新投入防靜電敏感區域的防靜電材料，包括主料，輔料和包裝材料都應進行 ESD認可，只有認可合格後，方可給生產線使用。21 OF 28新投入防靜電敏感區域的防靜電工具等都應進行 ESD認可，只有認可合格後，方可給生產線使用。基本防靜電要求：防靜電工作區內的各種設備、工具、工裝儀器都應實施靜電 防護措施，如接觸元器件的部分應使用防靜電材料 （體積電阻109q）對非防靜 電材料（表面電阻1012Q應採用靜電中和或塗抹防靜電塗液、塗層

22、等其他防護措施進行有效的接地（硬接地軟接地）。防靜電工作桌的技術要求：防靜電工作桌是防靜電工作區的主要組成部分，下面所示為標準的防靜電工作臺構成圖：22OF 28從防靜電桌墊正面壓下旋鈕接頭（可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的連接點代 替），使其穿過 桌墊和箔帶（多層箔帶時應保證全部穿過），以保證電接觸良好。 將經過以上準備好的防靜電桌墊平整的鋪於工作桌面上。將工作桌置於防靜電地板上。防靜電工作桌的接地，使用橫截面不小於 2mm2的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電桌墊串聯1MQ電阻後連接到地線配置系統上。全部安裝完畢後，對各參數指標進行檢驗合格後，方可開始使用。防靜電工作臺接地要求：防靜電工作桌的桌墊，串聯 1MQ + +-10%的電阻接地（即軟接地）。防靜電工作桌墊和地墊上任意一點與地線配置系統間的電阻為 1 X 1O61X 10。接地電纜應中間無接頭。多台防靜電工作桌的接地線不能相互串接。防靜電工作桌上的測試儀器、穩壓電源、電動工具、和電離器等所有外部零件 表面、遮罩面均應接地，對地線配置系統電阻值不大於 2Q,所有接地點應集中接於一點，就近牢固搭接至地線系統上。對載流接地線，應使用同軸電纜來接地和遮罩。