半导体清洗设备产业实施方案Word文件下载.docx

1、从政策法规、体制机制、规划设计、标准规范、技术推广、建设运营和产业支撑等方面努力提高产业发展水平，促进产业转型发展，加快构建优势产业发展格局。第二章 原则1、政府引导，市场推动。以政策、规划、标准等手段规范市场主体行为，研究运用价格、财税、金融等经济手段，发挥市场配置资源的决定性作用，营造有利于产业发展的市场环境。2、因地制宜，示范引领。着眼区域实际，充分考虑经济社会发展水平，逐步研究制定适合区域特点的能效标准。制定合理技术路线，采用适宜技术、产品和体系，总结经验，开展多种示范。3、开放融合。树立全球视野，对标国际先进，把握“一带一路”重大战略契机，聚焦产业重点领域，探索发展合作新模式，在全球

2、范围配置产业链、创新链和价值链，更大范围、更高层次上参与产业竞争合作，走开放式创新和国际化发展的道路。第三章 产业环境分析清洗工艺旨在去除芯片制造中上一道工序所遗留的超微细颗粒污染物、金属残留、有机物残留物，去除光阻掩膜或残留，也可根据需要进行硅氧化膜、氮化硅或金属等薄膜材料的湿法腐蚀，为下一步工序准备好最佳的表面条件。目前主要有两种基本的清洗工艺。湿法工艺是使用各种化学药液与晶圆表面各种杂质粒子发生化学反应，生成溶于水的物质，再用高纯水冲洗，依次去除晶圆表面各种杂质。干法工艺是不采用溶液的清洗技术，通过等离子清洗技术、汽相清洗技术或束流清洗技术来去除晶圆表面的杂质。湿法工艺在达到晶圆表面的洁

3、净度和平滑度方面通常优于干法工艺，并且是目前单晶圆清洗使用的标准工艺，应用于晶圆制造过程中90%以上的清洗步骤。湿法腐蚀速率，腐蚀均匀性，晶圆正、反面交叉污染的控制，清洗效率等都是至关重要的工艺要素。随着半导体芯片工艺技术节点进入28纳米、14纳米等更先进等级，工艺流程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是先进制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。目前的清洗设备主要可以分为单晶圆清洗设备和槽式清洗机。槽式清洗机用于批量处理晶圆

4、。通过RCA清洗方法，大量使用NH4OH，HCL，H2O2，H2O等试剂，并且添加表面活性剂和HF,再引入超声波清洗和兆声清洗，达到清洗的目的。单晶圆清洗设备可以针对单个晶圆的清洗进行条件优化，采用单片旋转清洗法，通过浸没喷洒的方式将化学试剂和水不断供应到晶圆表面。近年来，全球半导球市场保持快速增长势头，从2013年到2018年，全球半导体市场规模从3056亿美元迅速提升至4688亿美元，年均复合增长率达到8.93%。2019年全球半导体市场规模受存储器价格滑坡同比下降12.8%到4089.88亿美元。2014到2019年集成电路销售额复合增速已达到21.31%。尤其是在2019年全球半导体市

5、场销售额4121亿美元，同比下降了12.1%的不利情况下。中国2019年中国集成电路产业销售额为7562.3亿元，同比增长15.8%。在国家政策扶持以及市场应用带动下，国内集成电路产业保持快速增长，但增速有所放缓。虽然我国集成电路市场规模增速较快，但主要还是依赖进口。2019年中国集成电路进口金额3040亿美元，同比下降-2.2%。中国集成电路出口金额1015亿美元，同比增长20.1%。整体贸易逆差收窄到2025亿美元，同比下降10.94%，但仍旧约是出口金额的2倍。近几年虽然我国集成电路出口金额随着进口金额增长而同步增加，但整体贸易逆差仍旧非常巨大。预计2018年、2019年清洗设备的市场需

6、求分别为7.7亿美元和12.4亿美元，国内清洗设备需求两年累计超过120亿元，市场空间巨大。随着工艺节点的升级以及良率要求提高，清洗设备用量需求将持续增加。清洗设备未来几年复合增长率达6.8%，预计2020年就将达到35-40亿美元，是200亿人民币级别的大市场。2020年以后，随着部分拟建产线进入投资阶段，清洗设备的市场需求将会持续增长。目前全球半导体清洗设备市场主要被国外公司垄断，全球的清洗设备市场基本由国外的几家巨头把控。日本公司Screen占据了60%的市场份额，占据着主导地位。日本公司TokyoElectron占据了30%的市场份额，韩国公司SEMES、美国公司LAMResearch

7、等其它公司占据了10%的市场份额。第四章 区位优势分析在坚持高标准要求、加快高水平开放、推动高质量发展中更加自信、更加坚定，经济社会发展取得新的成绩，建设有影响力的国际化都市、打造中高端消费品贸易之城和制造之城取得新的成效，为全面建成小康社会、按时高质量打赢脱贫攻坚战、圆满完成“十三五”规划打下了坚实基础。经济运行健康平稳。地区生产总值突破xx亿元，达到xx亿元，增长xx%，连续xx年荣获“中国最佳表现城市”称号。三次产业结构调整为xx:xx:xx，新经济、绿色经济占地区生产总值比重分别提高到xx%、xx%。城乡居民收入分别增长xx%和xx%，达到xx元和xx元。今年经济社会发展主要预期目标是

8、：地区生产总值增速力争高于区域平均水平，规模以上工业增加值、固定资产投资、社会消费品零售总额、进出口总额以及一般公共预算收入、城乡居民人均可支配收入等主要经济指标增速与地区生产总值增速相适应，城镇登记失业率、居民消费价格涨幅控制在省调控目标范围内，森林覆盖率达到xx%，环境空气优良率保持在xx%以上，单位地区生产总值综合能耗下降率、新增能源消费总量和主要污染物排放总量、单位地区生产总值二氧化碳排放量控制在省下达目标范围内。现阶段，发展既面临多重国家战略叠加的历史机遇，也面临诸多矛盾相互交织的风险挑战，机遇大于挑战。从国际看，世界多极化、经济全球化、文化多样化、社会信息化深入发展。世界经济在深度

9、调整中曲折复苏，新一轮科技革命和产业变革蓄势待发。全球治理体系深刻变革，国际经贸规则体系加快重构。同时，国际金融危机深层次影响在相当长时期依然存在，外部环境不稳定不确定因素增多。从国内看，我国发展仍处于可以大有作为的重要战略机遇期。四个全面战略布局协调推进，持续释放新的制度红利。四化同步发展，不断激发新的发展潜能。四大板块和三个支撑带战略统筹实施，进一步拓展区域发展新空间。同时，我国经济发展进入新常态，传统比较优势减弱，发展方式粗放，发展不平衡、不协调、不可持续问题仍然突出。区域协同发展、自由贸易试验区建设、国家自主创新示范区建设，机遇千载难逢，发展潜力巨大。同时，发展中的短板和矛盾问题依然突

10、出，主要是：经济实力不够强，经济总量不大，产业结构不够优化；创新能力亟待提升，民营经济发展不充分，全社会创新创造创业活力有待进一步释放；资源约束趋紧，污染防治任务依然艰巨；社会保障体系不够完善，公共服务水平不够高，基层社会治理有待加强；安全基础比较薄弱，安全生产形势依然严峻；人才发展总体水平不高，高层次人才尤其是领军型人才紧缺。面向未来，站在新的历史起点上，要充分利用有利条件和积极因素，妥善应对风险和挑战，挖掘发展潜力，培育发展动力，厚植发展优势，拓展发展空间。适应新常态、把握新常态、引领新常态，保持经济社会持续健康发展，实现全面建成小康社会目标，必须有新理念、新思路、新举措，更好地适应趋势、

11、创造优势、提升位势、形成胜势。贯彻新的发展理念。坚持创新发展、协调发展、绿色发展、开放发展、共享发展，以发展理念转变引领发展方式转变，以发展方式转变推动发展质量和效益提升。把发展的基点放在创新上，推进科技创新、制度创新、管理创新、文化创新等各方面创新，加快培育新的增长动力和竞争优势，实现由要素驱动为主向创新驱动为主转变。把开放作为繁荣发展的必由之路，积极承接产业转移，完善载体平台，打造内陆开放高地，以扩大开放转换动力、促进创新、推动改革、加快发展。把共享作为中国特色社会主义的本质要求，大力实施脱贫攻坚工程，加强社会事业、民生保障等领域的薄弱环节建设，使全体人民在共建共享发展中有更多获得感。厚植

12、发展优势。突出实施开放带动主战略、创新驱动发展战略和人才强省战略，切实把厚植优势作为引领发展行动的着眼点和立足点。强化竞争优势思维，把是否具备比较优势作为经济决策的基本遵循，体现在方方面面的思路举措中，找准比较优势，发挥已有优势、挖掘潜在优势，打造先发优势、利用后发优势，推动局部优势向综合优势转变，加快提升综合竞争力，形成大枢纽带动大物流、大物流带动大产业、大产业带动城市群、城市群带动中原崛起河南振兴富民强省的发展新局面。着力推进结构性改革。把推进供给侧结构性改革作为适应和引领经济发展新常态的重大创新，用改革的办法推进结构性调整，落实宏观政策要稳、产业政策要准、微观政策要活、改革政策要实、社会

13、政策要托底的政策支柱，在适度扩大总需求的同时，着力推动去产能、去库存、去杠杆、降成本、补短板，加快培育新的发展动能，改造提升传统比较优势，夯实实体经济根基，推动社会生产力水平整体改善。着力构建产业发展新体系。把加快新旧产业和发展动能转换作为中心任务，持续完善提升产业发展载体，坚定不移地走产业集群发展之路。着力增强创新创业活力。把创新作为引领发展的第一动力，把人才作为支撑发展的第一资源，推进人力资源强省建设，打造区域核心创新创业载体，突破技术创新关键环节，形成促进创新创业的体制架构和生态系统，激发全社会创新活力和创造潜能，努力推动大众创业万众创新走在全国前列。第五章 目标规划主要经济指标：xx年

14、增加值达到xx亿元，年均增长xx%；主营业务收入达到xx亿元，年均增长xx%；利税达到xx亿元，年均增长xx%。产业组织结构调整目标：进一步提高集中度，重点企业由目前的近xx户，减少到xx户。第六章 任务重心（一）实施重点企业培育工程加大对产业重点企业扶持力度，支持企业做大做强。引导各类资源要素向行业龙头企业集聚，鼓励龙头企业跨地区、跨行业并购重组。引导中小企业开展专业化配套、承担重点产业化项目、参与制定相关标准。 （二）加强合作对接，协同促进产业发展加强与xx有限公司、xx集团有限公司等行业龙头企业的对接合作。充分发挥行业协会组织、研究咨询机构在行业发展研究、产业政策研究、行业自律等方面的作用；促进重点企业的合作交流，积极引入行业龙头企业和战略合作者；为区域有条件的企业在国外投资办厂提供支持帮助，协同促进区域产业转型升级和发展壮大。（三）搭建信息服务平台搭建信息服务平台。进一步完善信息基础设施，大力引进电子商务、信息咨询、通信服务、网络服