MEMS麦克风介绍PPT格式课件下载.ppt

1、,MEMS Microphone Presentation,AAC Acoustic Technologies Holdings Inc.,AAC,MEMS Microphone Presentation,MEMS 技术介绍,MEMS Microphone 介绍,MEMS Mic优点,Production Process,Application of Products,AAC,MEMS Microphone 产品简介,MEMS（Micro Electromechanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统

2、。#概括起来MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产.MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。#MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。#其研究内容一般可以归纳为以下三个基本方面：#,MEMS 技术简介,AAC,MEMS Microphone 产品简介,1理论基础：#在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规律仍然起作用，但由于尺寸缩小带来的影响（Scaling Effects），许多物理现

3、象与宏观世界有很大区别，因此许多原来的理论基础都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等，因此有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学进行深入的研究。#这一方面的研究虽然受到重视，但难度较大，往往 需要多学科的学者进行基础研究。#,MEMS 技术简介,AAC,MEMS Microphone 产品简介,2技术基础：#MEMS的技术基础可以分为以下几个方面：#（1）设计与仿真技术；#（2）材料与加工技术（3）装配与封装技术;#（4）测量与试验技术；#（5）集成与系统技术等。#3应用研究：#人们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS技

4、术与航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等应用领域相结合，制作出符合各领域要求的微传感器、微执行器、微结构等MEMS器件与系统。#,MEMS 技术简介,AAC,MEMS Microphone 产品简介,MEMS 微结构,MEMS 晶圆排列,MEMS 技术简介,AAC,MEMS Microphone 产品简介,1.体积小.2.便于SMT安装.3.耐高温,稳定性好.4.灵活的设计应用.5.兼容数字化发展.6.自动化程度高.7.适合大批量生产.,AAC,MEMS Microphone,MEMS Microphone Presentation,MEMS Microphone

5、产品简介,MEMS麦克风是由MEMS微电容传感器、微集成转换电路（放大器）、声腔及RF抗噪电路组成。#MEMS微电容极头部分包含接收声音的硅振膜和硅背极,硅振膜可直接将接收到的音频信号经MEMS微电容传感器传输给微集成电路,微集成电路可将高阻的音频电信号转换并放大成低阻的音频电信号,同时经RF抗噪电路滤波,输出与手机前置电路相匹配的电信号.完成“声-电”转换.,MEMS Microphone 工作原理,AAC,MEMS Microphone 产品简介,V out,Silicon Back Plate,Silicon diaphragm,GND,RF Filter,MEMS Microphone

6、 Module Structure,V supply,MEMS Acoustic Sensor,ASIC,AAC,MEMS Microphone 产品简介,MEMS Wafer,MEMS Die,MEMS Microphone Wafer&#MEMS Die,AAC,MEMS Microphone 产品简介,MEMS Microphone Profile,AAC,Acoustic port hole,L,W,H,4,2,1,3,PIN#FUNCTION1.OUTPUT,2.NO CONNECTION3.GROUND,4.POWER,MEMS Microphone 产品简介,MEMS Micro

7、phone Structure,AAC,1,2,3,6,7,8,5,4,MEMS Microphone 产品简介,Performance Comparison,AAC,MEMS Microphone 产品简介,Recommended Interface Circuit,AAC,AAC MEMS Microphone,Term3.Term2.,Term4,Term1,-,+,Vref,External Gain=-R1/R2（Set by customer）,+,R2,R1,MEMS Microphone 产品简介,Solder Reflow Profile,AAC,Incoming Inspe

8、ction,Wafer Sawing,Wafer Expand,SMT/glueing,Packaging/Cutting,Testing/Marking/Taping,Shipping Inspection,Packing,Wafer Fabrication,Packaging,Wafer Foundry,Pick up and place MEMS,Wire Bonding,Reliability Test,Wafer Testing,Wafer Inspection,Production Process,AAC,MEMS Microphone,MEMS Microphone 产品简介,C

9、ellular Phone（CDMA,GSM,PCS）,Camcorder Phone,MP3 Phone,PDA Phone etc.,Camcorder,Digital Camera etc.,Ear Phone MIC for Headsets,MP3,Bluetooth,etc.,Notebook Computer,Desk-Top ComputerVideo Door Phone etc.Cordless Phone,MEMS Wafer Fab.,MEMS Packaging,Application of Product,AAC,MEMS Microphone 产品简介,MEMS Mic,MEMS Mic,Application of Product,AAC,MEMS Microphone,List of Products,AAC,MEMS Microphone 产品简介,AAC,Thank You The End,