真空概念_精品文档Word格式.doc

1、 低真空 10 5 100Pa 通常用液环式真空泵或往复式真空泵 中真空 10010 -1 Pa 通常用罗茨真空泵+水环真空泵机组、旋片式。 高真空 10 -1 10 -5 Pa 通常用旋片泵和滑阀泵以及机组 超高真空 大于10 -5 Pa 通常用扩散泵和分子泵常用真空泵的分类 往复式真空泵 往复式真空泵又称活塞式真空泵，极限真空为 2600Pa1300Pa抽气量范围为200800m 3 /h，用于从密封的容器中抽除气体，被抽气体温度不得超过35，应用于真空浸渍、钢水真空处理、真空蒸馏、等方面抽吸气体。缺点：不适应抽吸有腐蚀性气体或含有颗粒状灰尘的气体，泵笨重，易损件容易坏。 基本型号：往复式

2、真空泵型号主要分为W3、W4、W5。（慢慢淘汰） 旋片式真空泵 旋片式真空泵的极限真空为 6X10 -2 Pa抽气量为2100L/S，用于抽除密封容积中的干燥气体或含有少量可凝性蒸汽的气体，用于后者时，需要使用该泵的气镇装置。可以用作罗茨泵的前级泵，适 合于中小型的真空冶炼、真空焊接、真空处理、冷冻干燥、电子管、以及半导体器件、电子束加工、 电子显微镜等现代工业技术方面。旋片式真空泵只能在环境温度540范围内，此种泵对于抽 除含氧过高的、有爆炸性的、对金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的以及含有颗粒灰尘的气体是 不适合的；把气体从一个容器输送到另一个容器作输送泵使用也是不适用的。 基本型号：旋

3、片式真空泵型号分为 2X-2、2X-4、2X-8、2X-15、2X-30、2X-70、2X-100。2表示2级真空泵，X表示旋片泵，-4表示本型号的最大抽气量。 罗茨真空泵 罗茨真空泵的极限压为 5X10 -2 抽气量范围为301200L/S，罗茨真空泵是利用两个8字形转子 在泵壳保持一定的间隙，作高速反向旋转面产生吸气和排气，罗茨真空泵的最大优点是在较低入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，必须有一台前级真空泵串联，待被抽系统中的压力， 被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许起动的入口压力时罗茨泵才可以开始工作。罗茨真空泵不允许在高 压差时工作，否则将会使罗茨真空泵过载或过热而损坏电机，因

4、此使用罗茨空泵必须合理的选用前级真空泵，并且安装必要的保护设备。罗茨真空泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空容炼、钢水真空处理、也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。 基本型号：罗茨空泵型号分为 ZJ-30、ZJ-70、ZJ-150、ZJ-300、ZJ-600、JZ-1200。ZJ表示罗次真空泵，-70表示最大抽气量（L/S）。 液环式真空泵 液环式真空泵的极限压力为 17000Pa3300Pa抽气量范围为0.456000L/S,液环式真空泵带有多 个叶片的叶轮偏心的安装在泵体内，在泵体内注入一定量的液体（通常为水），叶轮旋转时，水受离心力在泵体壁内形成一个

5、液环，叶轮轮毂与水环之间形成一个月形空间，在前半转，两叶片与水环之间的密封腔容积逐渐变大，产生负压，通过分配板的吸气口吸入气体。在后半转，密封腔容积逐渐变小，气体被压缩并由分配板的排气口排出，从而起吸排气作用。在运行过程中，一部分水会随气体排 出，必须连续向泵内供水，以保持泵内液环稳定地工作。具有结构简单、工作可靠、使用方便、耐久性强、维修方便等特点，因为液环式真空泵是用水做工作液，所以可以抽吸含有灰尘的气体和气水混 合物。经过改变材质可以抽吸有腐蚀性的气体。有了以上的优点液环式真空泵在工业应用最广。广泛 的应用于化工、石油、轻工、电子、包装、塑胶、造纸、制糖、吸塑等行业。基本型号：水环式真空

6、泵型号繁多，大概分为以下几种： 2BE1系列、2BEF系列、2BVF系列、 SK系列、2SK系列、SZ系列、2BE3系列。2BE1系列 2BE1系列水环式真空泵是我公司引进德国西门子技术，开发的节能产品。极限真空度可达到 113000Pa和3300Pa，抽气量为5.6360m 3 /min。 2BE1系列特点：（1）、2BEF系列泵轴是液环式真空泵中最粗，有效的保证在高真空中正常运行，不 会断轴。（2）、小规格水环泵的泵盖与泵体采用拉杆连接，大规格水环泵的泵盖与泵体采用法兰式联接， 保证了大规格水环真空泵的整体刚性和抗震动能力。（3）、当泵体带隔板时，一台真空泵可以同时抽吸不同真空度的系统。（

7、4）、盘上装柔有性阀板，能有效地防止了排气过程中的过压缩，使泵在不同的吸入压力下高效运行。（5）、泵配有自动排水阀，避免了真空泵的过载起动。（6）、叶轮和轴采用热装过盈配合，同时叶轮和轴进行良好的热处理，叶片具有良好的韧性，使叶片的抗冲力和抗弯力能得到根本的保证。能适应载荷冲击波动的恶劣工况。（7）、2BE1 103-0到2BE1 253-0系列有四个轴 承，前面有一个圆柱滚动轴承，后面也有一个圆柱滚动轴承，后面还有二个定位的球轴承，2BE1 303-0到2BE1 706-1系列有三个轴承，前面有一个圆柱滚动轴承，后面有二个圆柱滚动轴承，能够有效的延长了轴承的寿命，也有效的保证了泵在高真空运行

8、时，轴承不会发热。广泛的应用于电力、化工、 石油、矿山、造纸、制糖、造型、等行业。2BE1系列传动方式分为三种：电机直联；皮带轮传动；减 速机传动。 2BEF系列 2BEF系列小型液环式真空泵是我厂专为小型造纸厂和纸模厂设计的，它具有效率高，抽气量大， 维修简单方便。极限真空可达到-0.09MPa,抽气量为418m 3 /min。2BEF系列特点：（1）、用于脱水量较大的系统时，可以把泵侧的排水口打开，接上管道，真接把水排入水沟，可减少泵叶轮的负荷，保证正常工作运行。（2）、轴和叶轮采用了过盈配合 （3）排气管上配有气水分离器，气水分离器的作用就是把气和水分开。 其余系列请参考各泵系列说明书选

9、用真空泵时，需要注意下列事项： 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-310-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4510-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于110-5mmHg为好。3、

10、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格

11、，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择一、泵类型的确定

12、 泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，需要注意以下两个方面：尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在710mmHg以上，可选用水环大气泵或水环罗茨真空机组作为抽真空装置。二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页真空计算公式。面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型真空泵一览表 名称 型 号 抽气速率 L/s 极限真空Pa 配用功率kW 旋片真空泵 2X（Z）型旋片式真空泵 0.570 6 10-2 0.55