ESD作业规范标准详文档格式.docx

1、3.1.4工程部负责公司各部门ESD设备异常的对应、维修、保养与新开产线静电接地线架设。3.1.5测试仪器的维护校准工作由仪器计量室负责。公司公用ESD测试仪器由ESD小组统一保管。4. 器件敏感分类解释4.1 静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM、MM、CDM三种模式来进展分类。一般来说，器件的静电敏感电压的上下在三种模式之间没有必然的对应关系。没有特殊说明时，本指引主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。静电敏感组件的敏感等级按照其上所安装的最敏感器件的敏感等级来确定。最初器件的ESD损伤主要采用HBM进展分析，随着电子技术和生产工艺的不断开展，MM和CDM类型的ESD对器件的危害

2、也越来越普遍，因此采用MM和CDM模式对静电敏感器件进展分析的方法逐渐开展普与起来。人体放电模式 （Human-Body Model, HBM）的静电敏感等级分类静电敏感器件等级普遍采用人体模式静电放电进展划分人体带电和器件接触放电，所有的静电敏感器件或组件按照人体模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：HUMAN BODY MODELCLASS VOLTAGERANGEClass 0 0 volts to 249 voltsClass 1A250 volts to 499 voltsClass 1B 500 volts to 999 voltsClass 1C 1000 volts

3、to 1999 voltsClass 2 2000 volts to 3999 voltsClass 3A 4000 volts to 7999 voltsClass 3B 8000 volts to 15999 volts非静电敏感器件16000 volts机器放电模式 （Machine Model, MM）的静电敏感等级分类器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析带电金属和器件接触放电，静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：MACHINE MODELCLASSVOLTAGERANGEM1100 voltsM2 100 volts to

4、 200 voltsM3 200 volts to 400 voltsM4 400 volts器件充电模式 （Charged-Device Model, CDM）的静电敏感等级分类器件静电敏感等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析，静电敏感器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：CHARGED DEVICE MODELC1125 voltsC2 125 volts to250 voltsC3 250 volts to500 voltsC4 500 volts to1000 voltsC5 1000 volts to 1500 voltsC6 1500

5、volts to 2000 vol5. 静电防护区域EPA的界定和标识5.1 Electro ProtectedArea,EPA静电防护区域的划分EPA必须具有如下的根本环境要求5.1.1明确的区域界限和防静电警示标志；5.1.2对区域的所有导体包括人员可靠接地；5.1.3消除一切不必要的静电产生源；5.1.4严重静电源拉伸膜、白色塑胶等至少100cm，非不可防止的静电源必须远离30cm.5.1.5进入本区域应作好人员防静电要求，包括有防静电功能的工衣、工帽、工鞋鞋套、腕带或静电手套、静电指套并作人体综合电阻测试合格后才能进入。5.1.6未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入；

6、5.2根据公司产品器件的静电敏感度等级，本公司EPA静电敏感度等级防要求为特级HBM50-100V）EPA区域和二级（HBM500-1000V）EPA区域防护要求为：5.2.1特级EPA为静电放电严格控制区域，生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以与静电高敏感级别的产品的制造区应划分为特级EPA。生产区域射频与光器件产品的PCBA与模块的加工环节，如：预配与拣料区域、单板加工、单板测试、单板模块组装、单板模块维修、无尘室如EDFA、光电模块或带PCB板的半成品等; 如有其它产品的静电敏感度小于HBM100V，也应放在特级EPA生产。5.2.2二级EPA为根本的静电放电控制区域，涉与静电敏感物

7、料的各个生产操作区域至少要定义为二级EPA区域，必须实施最根本的静电放电控制措施。生产区域单板模块库房、整机组装、调测、包装、逆向库房、单板模块老化、环境实验室；器件在库房不进展拆包，那么可设置为二级EPA。5.3静电防护区域根本控制措施静电防护区域根本控制措施要求按照下表实施： EPA等级ESD控制措施特级EPA二级EPA静电电压控制标准50-100V500-1000V防静电标识静电地板或地垫温/湿度仪器防静电桌垫防静电工作椅防静电腕带防静电工作手套、指套防静电工作鞋腕带测试仪和人体电阻测试仪ESD数据采集系统ESD门禁系统静电消除器如：离子风机接地系统监控仪防静电烙铁防静电吸锡器其它用于产

8、品的常用装配、调试与辅助工具防静电处理静电电压测试仪外表电阻测试仪离子风机测试仪防静电周转工具防静电包装材料防静电作业指导书袋防静电文件夹防静电液必要的静电产生材料禁止带入EPA区域外或独立区域对非防静电包装进展拆包说明：“表示全部要求；“-表示可选或局部要求5.4防静电标识要求为提高人员的防静电意识，防止因标识不清发生不符合静电平安的操作与静电危害，要求防静电区域EPA、防静电设施、器材等防静电物品，以与静电敏感器件与组件等有关包装上应标注有醒目的ESD标识，以便提醒员工采取适宜的ESD防护措施，减少静电风险，提高产品质量。防静电标识严格按照标识管理规定执行5.5静电敏感区域的工程环境防静电

9、规防静电工程环境的要求：SMT车间温度要求保证在2228，相对湿度（RH）：30%60%；其它区域温度：1030，相对湿度（RH）：30%75%；当产品物料与生产环境对环境温湿度有特殊要求时，应根据产品物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。EPA应配备温度计和湿度计，如果是不具备数据采集功能的普通温湿度计，那么要求在每班次作二次记录超标数值用红色笔标出。当相对湿度超出规定的围时，应暂时停线并与时通知相关联部门人员协调动力维护、环卫等采取适当的加湿或抽湿措施。每月的温湿度记录应归类保存，保存期至少1年。5.6 地面的技术要求地板的防静电要求:为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到，

10、除操作人员穿防静电服、防静电鞋外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电，也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。普通地板材料的电阻率都较高，难以泄放人体、工装、设备上的静电。下面的图表为各种地板的泄漏电阻:（单位:）各种地板材料的电阻特性参照下表：地坪材料名称泄漏电阻石104109沥青10111013混凝土1051010聚氯乙烯（贴面）10121015一般涂刷地面1091012导电性水磨石105107橡胶1091013导电性橡胶104108木、木胶合板10101013导电性聚氯乙烯1071011防静电地板的静电特性定期检查与维护保养.1

11、 检查频率：EPA区域每季度点检一次；.2 检查指标：外表电阻；.3检查标准：电阻率为1104RS1109；.4检查仪器：绝缘电阻表。.5相对湿度低于30%时，应增加测量接地电阻的次数，当电阻比拟大时可适量撒少量的水符合平安要求标准情况下。.6当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，应根据情况定期去除。.7假设采用抛光防静电地板蜡的地面，3个月检查测量一次地面的外表电阻，并记录测量结果。.8清扫清洁防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。静电敏感区域的防静电保护接地技术要求防静电接地必须有一个平安可靠的防静电接地母线防静电地线，所有人体、工作台垫、等以并联的方式接入防静电接地母线。.1接地

12、线：也称为地线母线。接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应为46mm2的多芯线材，人体静电线为黄色，设备接地线为黄绿色；设备的接地线采用截面积应不小于1.0mm2 的导线；.2设备接地线端口必须使用接地端子进展接地，保证平安牢靠，易拆装。.3接地电阻：指接地母线与之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4；.4静电极的埋设：埋设地线的原那么是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧；埋设地线的考前须知：a.接地线与接地线接头必须焊接结实，要有足够的机械强度，引线不要过长采用耐腐蚀的接地体金属； b.要保持接地体附近土质的密度质量，并不断采取措施防止接地电阻变大；防静电地线必须是永久性的；|接地线的定期检查.1 检查对象：所有的设备接地线与接地端口；.2 检查仪器：万用表和接地电阻测试仪；.3 检查参数：接地电阻 接地线的定期维护.1 对于检查不过关的接地线必须采取措施与时解决，并实施跟踪确认；.2 确保接地线有效接地；.3对于生锈的或接触不好的接地线要与时更换；.4对于松动的接地线要重新连接；.5按接地线相关规定进展维护。5.7静电敏感区域的人员防静电规定各类人员的防静电知识培训要求与职责有可能进入静电敏感区域的员工