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电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述PPT文档格式.ppt

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2、S 304全焊式不锈钢风管,Acid/Ak酸碱排气,不锈钢Teflon Coating风管(Tefpass),2.6排水系统使用材质,Drain一般排水,PVC/PVC SCH80,Solvent有机排水,SUS 304不锈钢管,Acid/Ak酸碱排水,PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA,3.厂务系统流程,3.1制程冷却水系统简略流程,3.2冰水系统简略流程,3.3纯水系统简略流程,3.4自来水/回收水系统简略流程,3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程,3.6其他大宗气体/特气系统简略流程,3.7高真空/排气系统简略流程,3.8真空系统简略流程,3.9化学系统简略流程,3.10废水收集系统简略流程,3.11废水处理系统简略流程,讨论时间,

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