1、厂务系统概述,0.电子厂名言,0.电子厂名言,唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定所以接下来介绍的在现场都不是绝对的,1.厂务系统功能,1.1水系统在制程中的功能,1.2气体系统在制程中的功能,1.3化学系统在制程中的功能,1.4真空系统在制程中的功能,1.5排气/排水系统在制程中的功能,2.厂务系统使用材质,2.1水系统使用材质,2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管),2.3化学系统使用材质,2.4真空系统使用材质,Pump Line制程高真空,SUS 316 BA/EP,GEX一般排气,镀锌螺旋风管,2.5排气系统使用材质,Solvent有机排气,SU
2、S 304全焊式不锈钢风管,Acid/Ak酸碱排气,不锈钢Teflon Coating风管(Tefpass),2.6排水系统使用材质,Drain一般排水,PVC/PVC SCH80,Solvent有机排水,SUS 304不锈钢管,Acid/Ak酸碱排水,PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA,3.厂务系统流程,3.1制程冷却水系统简略流程,3.2冰水系统简略流程,3.3纯水系统简略流程,3.4自来水/回收水系统简略流程,3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程,3.6其他大宗气体/特气系统简略流程,3.7高真空/排气系统简略流程,3.8真空系统简略流程,3.9化学系统简略流程,3.10废水收集系统简略流程,3.11废水处理系统简略流程,讨论时间,