整理ASM固晶机工程师教材.docx

1、整理ASM固晶机工程师教材一、目的：规范固晶机工程师日常工作，确保产品质量的提高及工作效率的提升。二、对象：固晶机工程师三、内容：1.机械构成及维修1.1芯片控制器：由芯片工作台和推定器组成1.1.1. 芯片工作台主要由X、Y、马达和扩晶环固定座组成 X、Y马达控制Ahead晶片时，移到当前晶片位置，马 达是控制晶片的旋转角度，当启动工作台启动旋转功能后 马达开始工作，当Ahead当前晶片角度偏移量大于我们设定值时，马达会自动补偿角度偏差值。1.1.2. 推顶器主要由顶针、顶针帽、推顶马达和XY位置调整螺丝组成，顶针是工作中顶起晶片，晶片离开蓝膜使吸嘴 容易吸起晶片，顶针型号为0.022101

2、7MM，顶针的目使用寿命为1KK，当顶针拆损或者达到使用寿命后需要及时更换。推顶马达是来顶起顶针，新更换顶针后，一般顶起主度不超过2300，如果顶起高度小于2000时，需调整推顶马达推顶位置， 松开推顶马达固定推顶位置螺丝，可以用六角棒调整推顶初始位置。顶针帽是保护顶针受到外力损坏。XY位置调整螺丝是用来调整顶针位置，使顶针顶起芯片在中心点。1.2. 工作夹具：由叠式载具、工作夹具、输入/输出升降机组成1.1.1 叠式载具由Load Left Pin、 Load right Pin、Separater和下料盒马达组成，Load Left Pin和 Load right Pin是用来调整支架接触

3、时的中心点，一般中心点为22000，当马达失步时，需要对此中心点进行调整。Separater是支架接触到Load Left Pin和 Load right Pin后，用来分离支架，可以调整进出气压大小来调整Separater速度，X方向行程不可以调整， Y方向行程可以拆开叠式载具面板，用六角扳手调整行程。下料盒马达是用来控制Load Left Pin和 Load right Pin动作，需定期对其进行保养，不然会造成下料不顺畅或者卡料。1.1.2 工作夹具由Feed Pin、Input Pin 、Output Pin和 Output Kick组成。进入SetupDeviceIndexing S

4、etup调整送爪间的配合，Feed Pin和Input Pin主要影响支架送到点胶和固晶位置的初始点，Output Pin主要影响Input Pin 和Output Pin配合时拉杯位置的一致性。1.1.3 输入/输出升降机进料口现在采用叠式载具，输入升降机主要应用在双晶片上面，故没有使用。输出升降机由YZ两个马达构成，YZ马达错位或者中心点偏移会造成卡支架，需定期保养马达，以免造成声音异常和马达失步。2. 点胶注射器及焊头2.1. 点胶注射器由点胶盘、点胶盘马达、点胶头、点胶XYZ动作马达组成。点胶盘储存一定胶量，保证持续使用，要求点胶盘表面的平整性，使点胶有均匀性。点胶盘马达使用24V电压

5、，要求点胶盘阻力和点胶盘轴承阻力小，避免点胶盘马达线圈烧坏。点胶头把胶水从点胶盘点到碗杯，点胶顶部长度为80um，一般使用掉13后需要更换点胶头，使点胶具有均匀性和集中性。点胶XYZ动作马达是控制点胶头的动作过程，为了保证马达正常，每个月需要对其定期保养。2.2. 焊头由吸嘴、焊臂、气体、马达组成。吸嘴是吸起晶片和固定晶片的作用，吸嘴使用的型号有0.100.3.130.3、0.150.3、0.1750.35四种型号，根据不同的产品选择吸嘴，吸嘴寿命为500K。焊臂是核心部件，焊臂的连接部位的间隙为20um，当人为撞坏焊臂时，须对此项进行校正，焊臂的水平校正：装好冶具，关掉电源，用复印纸加白纸垫

6、在顶针帽上，然后打开电源，手动拧动焊臂，并在复印纸上压一个痕迹，检查痕迹的轻重，根据痕迹的轻重来调整焊臂的水平调整螺丝，直到痕迹轻重一样。气体是用来吸取晶片和吹吸嘴用，弱气太大会影响造成胶飞，弱气太小易造成晶片反吸。马达是用来控制焊臂动作的，为了保证马达正常，每个月需要对其定期保养。3. 光学系统：Bond optical system 和Dispense optical 校正3.1. 把校准镜片放在光学镜头的下方，Error!Reference source not found3.2. 进入SetupVisionOpticsBond Alignment Setup选择Field Of Vie

7、w按Enter在22mm，33mm，44mm，之间转换。3.3. 我们选择33，然后按Enter确定，记下来你可以看到PR监视中的率色方框，手动调节光学系统焦距和放大倍数直至可以看到较大的包含33方框，调节镜片位置和光线直至方框内获得清晰的图像，再次按Enter确认，PRS将检查和识别校准镜片的图像以确定视为视界与你的设定相匹配，如果PR校准未成功，应再次进行精密调节和校准。4. 电路构成及维修4.1. PC监控器：由伺服驱动箱，马达驱动I/O箱和电脑主机组成4.1.1. 伺服驱动箱由点胶、固晶、输入/输出料盒XYZ马达驱动电路组成4.1.2. 马达驱动I/O箱由各种数/模、模/数转换、信号通

8、道，信号分配接口组成4.1.3. 电脑主机由系统软件、应用软件和硬件部分组成，系统软件使用的是Windows操作系统，应用软件是Controller Software V5.47T03(升级前使用的旧版本是Controller Software V5.43T03)、硬件是键盘、主板、CPU、内存。4.2. PRS PC:光学系统和电脑主机组成4.2.1. 光学系统CCD摄像机的工作原理是：被摄物体反射光线， 传播到镜头，经镜头聚焦到CCD芯片上，CCD根据光的强弱积聚相应的电荷，经周期性放电，产生表示一幅幅画面的电信号，经过滤波、放大处理，通过摄像头的输出端子输出一个标准的复合视频信号。摄像机

9、对我们生产中目前影响最大的就是角度，摄像机角度偏转时爪取晶片也会偏。4.2.2. 电脑主机由系统软件、应用软件和硬件部分组成，系统软件使用的是Windows操作系统，应用软件是Vision Software V2.825，硬件是键盘、主板、CPU、内存。4.3. 机器的软件系统安装升级4.3.1. 软件安装：版本升级和系统更新4.3.2. 系统设置：主板设置和磁盘备份copy 4.4. 熟悉菜单及熟练应用包含Bond menu、Setup menu、SERV menu和Help menu 下面的各项子菜单使用及应用（详细请见技术员培训资料）5. 重要影响固晶项目5.1. 吸嘴未及时更换： 会影

10、响到机台吸晶及摆放晶片，当吸嘴使用到一定的次数以后，晶片的摆放在角度上会有所偏差，这时即可考虑更换一支新的吸嘴5.2. 顶针未及时更换： 影响到晶片的上吸，以致最后影响到晶片的摆放。5.3. 未做季保养的影响： 会造成机构生锈或脏污严重，引起机构运转不顺，影响机台运转与生产。6. 动作与程序 Operation Flow：6.1.更换吸嘴，步骤： 6.1.2将pick arm移到吹风的位置才可进行吸嘴的更换； 6.1.3用六角扳手将旧的吸嘴取下； 6.1.4换上新的吸嘴，注意要锁紧（配合套具）； 6.1.5调节吸嘴和CCD的中心，保持在同一中心。6.2 更换顶针,步骤： 6.2.1 先轻轻地旋

11、掉顶针帽； 6.2.2 小心地拔出顶针，并换上新的顶针，须将顶针插到底；6.2.3 重新旋上顶针帽，旋时要小心并保持CCD十字中心维持在顶针帽孔的、中心；6.2.4 调节顶针的高度，使顶针高度和顶针帽的高度持平（在up level情况下， 用显微镜观察）； 6.2.5 重新调节吸嘴、顶针和CCD的三点一线；6.2.6 手动抓取晶片测试顶针的良好情况。6.3保养步骤：6.3.1 停机，关掉电源6.3.2 拆开左、右和后侧门6.3.1 检查机台内部是否有粉尘，用真空吸枪吸清洁机台内部。 6.3.4 X、Y轴滑轨及导螺杆上油。，因上油空间不大，建议使用无尘布，沾润滑油涂抹，切勿使用金属棒或棉花棒，金

12、属棒易伤害螺杆，而棉花棒会残留织棉及粉尘碍机械动作之精度。6.3.5 使用空压喷枪和试镜纸擦拭CCD镜头。6.3.6 检查所有可动螺丝是否松动。6.3.7 恢复机台各部件。6.3.8 上电，重新开机。 6.3.9 初始化，检查机台的各功能是否良好。7 设备常见异常讯息与解决手法Alarm Code & Solution7.1 机台出现missing die的情况，处理办法： 7.1.1检查collect是否诸塞，并用真空吹气；7.1.2检查吸嘴、顶针和CCD十字中心是否三点一线，如不是应重新调整三点一线； 7.1.3检查up level的位置（顶针高度）是否恰当； 7.1.4以上情况均良好依然

13、missing die，需将collect换下到显微镜下观察collect是否有受损坏，如果是，就要更换一个新的。 7.1.5此时依然missing die，就要取下顶针到显微镜下观察顶针是否有受损坏，如果是，就要更换新的顶针。7.2 晶片摆放的不整齐，处理办法： 7.2.1检查吸嘴、顶针和CCD十字中心是否三点一线，如不是应重新调整三点一线； 7.2.2检查pick level 和bond level是否恰当； 7.2.3检查delay的数值是否恰当； 7.2.4检查collect是否完好，如损坏则更换； 7.2.5检查顶针是否完好，如损坏则更换； 7.2.6检查焊臂水平，如水平有问题则要重

14、新调整焊臂水平。7.3 missing die，处理办法：7.3.1check collect vallum；7.3.2check pick die level；7.3.3check ejector up level。 7.4 点胶的量太多或太少，处理办法： 7.4.1 调整点胶头高度； 7.4.2调整胶量的大小； 7.4.3调整胶的均匀度； 7.5 PR经常识别不到，处理办法： 7.5.1检查焊接的目标偏差； 7.5.2重新测验焊接/拾取PR，保证图像良好对比度和较高的单一性/边缘明显模板有较高的分数。调整搜索范围，选定的方框内无类似的图像。 7.6 固晶位置不稳定，处理办法： 7.6.1调

15、节焊接Z高度； 7.6.2以垂直线校正摄像机中心点，夹头中心及推顶针中心； 7.6.3增加拾取延迟； 7.6.4增加焊接延迟； 7.6.5增加向上推顶延迟； 7.6.6增加推顶器真空延迟； 7.6.7增加焊头拾取/焊接延迟； 7.6.8调节焊臂水平高度。 7.7 固晶角度不稳定，处理办法： 7.7.1尽量减少向上推顶高度（假如晶片能够被拾取）； 7.7.2保证推顶针位于孔的中心，或推顶针的中心位于孔的中心； 7.7.3检查推顶针尖是否损坏或变平； 7.7.4检查推顶针是否倾斜； 7.7.5校准摄像机中心点，夹头中心和推顶针中心； 7.7.6增加拾取延迟时间； 7.7.7增加焊接延迟； 7.7.

16、8增加向上推顶延迟； 7.7.9增加焊头拾取/焊接延迟。 7.8 晶片反倒，处理办法： 7.8.1如三点校准不正确，则重新垂直校准摄像机中心、夹头中心和推顶针的中心； 7.8.2如是在焊接途中碰到某物，则移除焊臂/夹头在焊接过程中碰到的任何障碍物； 7.8.3保证工作台能够紧密地夹持基片/LF，而无法浮动。 7.9 双晶： 7.9.1清洁夹头或更新夹头； 7.9.2增加焊臂高/低压力。 7.10 无晶处报警： 7.10.1重新校准夹头真空传感器； 7.10.2增加拾取高度； 7.10.3增加向上推顶高度； 7.10.4增加推顶延迟、拾取延迟、推顶器真空延迟。 7.11 旋转方向错误： 7.11

17、.1检查旋转焊臂编码器； 7.11.2检查旋转皮带； 7.11.3检查分度镜高度；、 7.11.4重新测验焊接/拾取PR，保证图像具有良好的对比度和较高的单一性/边缘明显，在选定范围内无类似的图像。 7.12 跳过好的晶片skip good die： 7.12.1根据晶片的性质选择适当的校正方法，重新输入PR图像，在载入图像前；保证图像具有良好的对比度和较高的单一性； 7.12.2调节光线设定，获得良好的图像对比度； 7.12.3检查拾取高度、推顶高度和三点校准； 7.12.4选择较低的缺陷检测等级； 7.12.5扩大搜索范围。 7.13 跳过合格焊位： 7.13.1模板超出搜索范围，则应扩大

18、搜索范围； 7.13.2调节光线设定，获得一致及良好对比度的图像； 7.13.3选择较低的缺陷检查极限标准。 7.14 初始化错误，处理办法： 7.14.1检查所有使ADSP子插件板与CPU板连接的螺丝，它们必须连接牢固； 7.14.2检查CPU板上的LED，前面板上的两个LED应该亮 B.环境影响登记表2.环境影响报告表的内容3.建设项目环境影响评价文件的审查要求另外，故障树分析（FTA）和日本劳动省六阶段安全评价方法可用于定性、定量评价。6.建设项目环境影响评价文件的其他要求发现规划环境影响报告书质量存在重大问题的，审查时应当提出对环境影响报告书进行修改并重新审查的意见。（二） 环境影响经济损益分析的步骤通过安全预评价形成的安全预评价报告，作为项目前期报批或备案的文件之一，在向政府安全管理部门提供的同时，也提供给建设单位、设计单位、业主，作为项目最终设计的重要依据文件之一。（五）建设项目环境影响评价文件的审批建设项目所处环境的敏感性质和敏感程度是确定建设项目环境影响评价类别的重要依据，环境影响评价文件应当就该项目对环境的影响做重点分析。核准： 审核： 作成：