真空设备操作维护保养规程.docx

1、真空设备操作维护保养规程1目的：按规定进行设备的管理，指导正确操作、使用、维护和保养设备，保证生产，提高产品质量，改进环境绩效，预防和减少事故发生。2范围：本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养3操作规程3.1旋片泵操作规程3.1.1性能规范型号：2X70几何抽速：70L/S；极限压力：1帕；泵转速：450转/分；电机：Y132L-4 功率：5.5KW；电机转速：1440转/分；配用三角带；B/1600：4根；冷却水消耗量：480L/H；润滑油：1#真空机械泵油（KK-1） 储存量8Kg；口径：进气90mm 排气60mm。3.1.2操作规范3.1.2.1起动前的准备（1）检查皮带的松紧程

2、度，起动前可以松一些，起动后调节底座上的螺栓，慢慢拉紧，以减少起动力矩。（2）检查各部分有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合。（3）检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。（4）对于长期未工作的泵，起动前应间断起动电机，检查是否灵活。（5） 检查冷却水是否正常（管路上水压表水压0.20.3MPa）、润滑油是否正常。3.1.2.2起动（1） 打开冷却水阀。（2） 合上电源的开关，起动电机。（3） 泵启动后，再缓慢打开进气阀，以免泵的负荷急剧增加。3.1.2.3停车停泵时应先关断进气口阀门，打开放弃阀法对泵放气。3.1.3注意事项3.1.3.1应经常注意油位及油的清洁，新泵工作150小时后

3、换油一次，以后每2-3个月换油一次，如使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间。3.1.3.2应经常保持泵及泵房的干燥清洁。3.1.3.3注意泵温及冷却水和油的温度，水温在20-40之间，不应超过40，即泵温不超过环境温度加上40。3.1.3.4润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。3.1.3.5入停车后泵温要下降至5以下时，泵内冷却水必须除净。3.2罗茨真空泵操作规程3.2.1性能规范型号：RTO,300S; 抽气速率：300L/S；极限压力：0.6帕；进排气口径：160mm/100mm配用电机：3KW3.2.2操作规范3.2.2.1起动前准备（1）检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水

4、压表水压0.2MPa）。（2）检查两端盖内的润滑是否足够，齿轮箱侧油位应以寖没34个齿高度为宜。电机侧油位应以寖没1/31/2油窗高度为宜。润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/31/2之间。（3）如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末，应在进气口前加装防尘或过滤装置，如果吸入气体有腐蚀性，必须采取中和措施。（4）检查各部分有无松动现象，较长时间不用后，应拆下旁通溢流阀，检查有无锈死。（5）检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。3.2.2.2起动（1）起动前级泵。（2）打开本泵的进气阀门。（3）打开冷却水阀门，当容器压力达到工艺规定压力时，起动本泵。（4）泵运转时应平稳，转子不得有冲击声。（5）泵的轴

5、封处不得有漏油现象。（6）泵在运转过程中如局部升温过大，电流计读数突然发生变化，产生不规则的噪声或其它异常现象，应立即停泵检查。3.2.2.3停泵（1）停泵时，应先停罗茨泵，再停前及泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高，负荷增大而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。或会导致前级泵倒转，前级泵泵油倒灌入管道或罗茨泵，导致前级泵缺油，并有可能污染被抽环境。（2）停止本泵并关闭排气阀门。（3）停止前级泵。（4）关闭冷却水进水阀。3.2.3注意事项3.2.3.1 应经常保持使用环境清洁干净。3.2.3.2应经常注意各部件的润滑情况，如发现润滑油不足时，应及时补充，如发现润滑油不清洁时，应及时更换。3.2.3.

6、3润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。3.3扩散泵操作规程3.3.1性能规范型号：KT600 600表示吸气口径；抽气速率：16000L/S；极限真空：6.5X10-5Pa； 加热功率：9KW；装油量：6-7L(ks-3)；耗水量：1000L/H；进口/出口：600/150。3.3.2操作规范3.3.2.1起动前准备 (1)检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压0.20.3MPa）；(2)起动前，高真空阀门应处于关闭位置。3.3.2.2起动（1）起动前级泵，抽出扩散泵内的气体。（2）接通冷却水（注意：急冷水套在扩散泵停机时才能通水）。（3）接通扩散泵加热电源，对扩散泵加热60min

7、后，当容器压力达到工艺规定压力时，打开高真空阀门，扩散泵可以进入正常工作状态。3.3.2.3停机（1） 关闭高真空阀门；（2）切断扩散泵加热其电源，停止加热。（3）当泵底温度60关闭管道阀门。（4）关闭前级泵， 并向前级泵充气，以防返油。（5）停止对扩散泵供水。3.3.3 注意事项3.3.3.1 扩散泵出水温度应40，否则应立即检查处理。3.3.3.2如果扩散泵在正常运行中突然停电停水，应按照以下步骤处理：（1）立即关闭高真空阀和前级阀；（2）迅速抽出加热器；（3）马上接通急冷水路，并向扩散泵底部淋水；3.3.3.3泵正常工作时，如性能突然变坏，应检查加热器是否损坏。3.3.3.4泵在长期工作

8、后，性能如果下降，应拆泵检查油量及泵油氧化情况，酌情加油或换油（扩散泵专用油），在换油时泵体及泵芯要使用无水酒精或丙酮清洗，然后在80100温度范围内烘干。并每次在装配时注意检察泵的出口管道内挡油板的紧固螺栓，确保其无松动安全可靠。3.3.3.5一般情况下，泵体应保持真空状态，以免大气进入泵内造成扩散泵油的氧化。3.4分子泵操作规程3.4.1性能规范型号：TYFB-1600抽气速率：1600（L/S）极限真空：810-8/510-7电机转数：24000（rpm）冷却水流量：1(L/min)3.5真空镀膜机操作规程3.5.1开停机顺序：3.5.1.1开机前，检查水，电，气是否符合要求，（水压表水

9、压0.20.3MPa），（气压表气压0.40.6MPa）。3.5.1.2开机：打开真空机和流量控制器电源开关，依次按下“维持泵” 、“维持阀” 、“扩散泵” 、按钮。大约30分钟后，扩散泵正常工作。（当分子泵电源频率达到225Hz时分子泵方能正常工作）。3.5.1.3在扩散加热同时打开炉门检查炉内绝缘情况，清理炉内卫生。装工件检查炉门密封圈，关炉门。3.5.1.4开主抽泵、开粗抽阀门。3.5.1.5至真空度到400 Pa时（此时罗茨泵转子为静止状态）。3.5.1.6开前级阀。3.5.1.7启动罗茨泵， 3.5.1.8至真空度到6.7 Pa时，关预抽阀、开前级阀、关罗茨泵，开精抽阀。3.5.1.

10、9至真空度到7.510-3 Pa时开始镀膜。 3.5.1.10 运行工艺流程3.5.1.11镀膜：开流量计按工艺要求充入气体、对工件进行离子清洗（清洗时间有不同工艺而定）。3.5.1.12关闭离子清洗真空度恢复至本底真空（7.510-3Pa）。3.5.1.13 调整气体开始镀膜，（按工艺要求镀膜）。3.5.1.14关机 3.5.1.15关闭真空计、关闭精抽阀。3.5.1.16打开放气阀。3.5.1.17放气结束。3.5.1.18打开箱体大门。3.5.1.19取出工件3.5.1.20装入工件。3.5.1.21关闭放气阀。3.5.1.22重复上述过程。3.5.2设备维护3.5.2 .1 日常保养（

11、1）开机前，检查水、电、气是否符合要求。（开启磁控靶前，检查靶水开关，每次开炉门后，用酒精摖拭门胶条，并用吸尘器清理真空室内部。）（2）检查循环水路各接口，保证无渗漏。(3) 检查循环水路进水温度是否在5250C。回水温度是否低于350C。进水压力为2.5kg/cm33.0kg/cm3(4) 检查水流量开关是否正常工作。（5）检查压缩机管路各接口，保证无压缩空气外漏。（6）检查气泵和储气罐、放掉内部的冷凝水。（7）设备运转时检查机械泵、罗茨泵、扩散泵有无过热和异响。（8）在设备升温、镀膜过程中：检查设备阀门，侧壁，后壁，高阀等有无局部发热现象。（9）检查门密封条有无伤痕。（10）用吸尘器仔细清

12、洁炉体内部。（11）视污染情况更换观察窗保护片。（12）检查机械泵油位是否正常。（13）检查罗茨泵油杯油量，保证油杯量在1/21/3油杯高度即可。（14）检查分子泵油池油量，保证油池油量处于油标上下限之间。（15）检查溅射靶与罐体之间的绝缘度，绝缘电阻大于200M 为合格。（16）检查转架绝缘度；绝缘电阻大于200M为合格。（17）注意记录隔日真空，养成良好的习惯，便于及时发现设备的问题。3.5.2 .2定期维护 下面的工作应每周进行一次：（1）检查水路系统内各水表，阀门等出接口有无渗漏。（2）检查压缩空气管路及气三联件，查看油杯中油量是否合适。及时放掉杯中残余水分。（3）使用压缩空气清洁机械

13、泵外部，防止灰尘过厚影响散热。（4）以压缩空气和吸尘器清洁炉体内部。（5）清洁观察窗玻璃。（6）检察各电源线是否有松动、发热现象。（7）检查循环水各阀门接口有无渗漏 。 3.5.2.3下面的工作应每月一次：（1）以压缩空气和吸尘器较为彻底的清洁炉体内部，内衬。（2）检查罗茨泵泵油状况，如发现油质变色，変烯，乳化等情况，应立即换油。（3）清理机械泵口过滤网。（4）检查各靶材消耗状况。每更换一次靶材，用特斯拉计测量靶磁场强度。（当心强磁场、手机、手表等精密仪器及电气请远离！带有心脏起搏器的人员请远离！）。3.5.2.4 下面工作应三个月进行一次（1）以压缩空气清洁循环水路、设备冷却水套。（2）更换

14、机械泵油（或者考虑使用1000小时）。（3）更换机械泵油过滤器。（4）请打开各电源柜及控制柜外罩，以压缩空气清洁内部，检查紧固螺钉是否松动，机壳接地是否良好，各元器件有无异常。3.5.2.5下面的工作应六月一次：（1）将全部屏蔽板拆出清洗，彻底清洗炉体内部，个别膜层较厚部分，可用抛光布轮或砂轮抛光清理。（2）将高阀打开，检查清洗阀板下面。（3）清洗抽气主管道。（4）清洗充气阀过滤器。（5）更换转动轴封。（6）更换前门密封圈。（7）更换炉体加热器密封圈 。（8）检查机械泵皮带松紧是否适当，每半年调整一次。3.5.2.6下面的工作应一年进行一次：（1）更换机械泵排气过滤网。（2）检查PLC电池电量

15、。（3）更换分子泵润滑油（或者每4000小时）。（4）检查设备动力线是否有老化现象，及时更换。大修： 视设备工作情况，每两至三年大修一次，彻底清理炉体，更换全部真空系统密封圈，检修全套设备大修完成后的设备性能应该接近全新设备。4维护保养4.1真空系统较长时间以后，极限真空度下降，应进行对滑阀泵、罗茨泵、扩散泵进行检修。必要时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清理洗、检修。4.2泵不用时，应用橡皮塞把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。 4.3冷却水水压应保持0.1 MP0.2 MPa之间，出水温度45。 4.4压缩空气压力在0.4Mpa0.5 Mpa之间。 4.5 每次开机前，要检查保护

16、气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。 4.6 经常检查设备各种仪表，保证完好；按照规定对仪表进行校验。 4.7 设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把水冷套内的循环水放掉。 4.8充入的保护性气体，纯度不应小于99.99% 。4.9机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把油放干净。 4.10扩散泵换油时，内部如有氧化，把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。4.11 本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气体。 4.12 设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。

17、4.13 气动系统的气动三连件的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。 4.14 设备的整机电压要保证在350V420 V范围内，三相要平衡。 4.15 规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。 4.16 各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。 4.17 设备工作时，注意观察仪表的显示情况及各泵的声音，以便及时发现异常找出问题。 4.18 设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在1040。在拆修设备时各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。 4.19 设备在工作时，操作人员不

18、得长时间离岗。4.20 运行中的问题与对策问题原因解决方法真空管路或系统内返油1.油蒸汽返流至真空管路或系统中2.油蒸汽压不对 3.停泵时，油返流4.截流阀板上的密封件损坏5.抽气管路底部密封件腐蚀或损坏1.清洗泵后换符合要求的油2.清洗泵后换符合要求的油3.检查并更换截流阀4.更换截流阀板5.更换抽气管路，修理密封件系统工作时温度过高1.缺油2.抽气口与排气口错误连接3.供油管线堵塞4.油泵出现问题5.油泵中外来物堵塞6.环境温度达到或超过油蒸汽压7.油蒸汽压低于指标8.工作气体温度过高1.加油2.抽气管线与抽气口连接3.断开泵连接，清洗并更换符合要求的油4.修理或更换油泵5.清理油泵6.降

19、低环境温度并注意空气流通7.更换符合要求的泵油8.更改工艺或加冷却系统废气在泵附近泄漏1.排气口O型密封圈损坏2.油箱表面密封垫损坏3.泵体表面密封垫损坏1.更换新型密封圈2.更换油箱表面密封垫3.更换泵体表面密封垫烟尘或油雾过重1.油量过多2.气镇阀开启3.滤油网损坏1.减少油量2.关闭气镇阀3.更换滤油网油颜色变深或浑浊1.油在肮脏工艺过程中受到污染2.油不合适3.油不足4.真空漏率过大5.惰性保护气体不足1.更换泵油或清洗2.清洗后用规定的泵油3.加注足量泵油4.修理泄漏处，或更换泵油5.工艺过程中含有腐蚀性、危险性或放射性气体时必须加足量保护气体停泵时系统中出现空气 1.系统泄漏 2.

20、密封阀损坏 1.修理部件 2.修理密封阀异常噪音1.连接件损坏2.缺油3.油泵磨损或损坏4.叶片损坏5.排气阀板上无滤网6.电机轴承出现问题1.更换连接件2.加油3.修理或更换油泵4.拆下油泵，更换叶片5.加滤网6.修理电机问题原因解决方法泵油消耗过多1.出油口密封圈磨损2.油封损坏或安装错误3.油套损坏或腐蚀4.进油口或出油口泄漏5.泵体与油封间垫片泄漏 1.更换密封圈2.更换新油封，检查进油管线3.更换油套4.更换新O型圈5.更换垫片泵不能启动 1.泵粘死2.泵油粘度过高3.油泵磨损或外来物集聚4.电机电压不符5.连线错误6.电机出错1.拆泵修理2.保持室温高于12或换油3.更换损坏件或清

21、理4.更换电机5.检查并修理线路6.更换电机泵达不到极限真空度1.气镇阀开启2.抽气管太细3.排气管直径小于排气口直径4.真空系统有泄漏处5.系统主阀问题6.油不合适7.油被污染或油量太少8.供油管堵塞9.轴上油封损坏10.挡板安装错误11.排气阀破损12.真空计损坏1.关闭气镇阀2.更换合适直径的抽气管3.更换合适直径的排气管4.修理系统漏点5.修理主阀6.使用符合规定的油7.换油或加油8.拆开泵体维修9.更换油封10.拆下正确安装11.更换排气阀12.修理真空计排气速度太低1.抽气与排气管直径太小或管长度太长2.油被污染3.主阀破损4.进气口滤网被堵塞5.泵油不对6.真空系统泄漏7.泵指标

22、低于系统要求1.更换成符合要求管线2.更换泵油3.更换主阀4.清洗滤网5.更换成要求泵油6.修理泄漏处7.更换成满足要求泵1、新机操作系统：2、真空度：3、工件转动系统：4、烘烤系统：5、磁控靶：6、弧源： 紧 急 情 况 处 理5. 安全规范5.1操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。操作人员在设备的使用中，要严格执行设备的操作规程，杜绝违规操作。5.2 在设备的使用中，要严格遵守电气设施的使用管理制度，如有问题必须与电工或电气工程师取得联系。5.3 在运行中，如果出现故障，要按照正确的顺序进行停机，断掉电源，处理故障。5.4 在处理故障时，要两人以上进行配合，确保电源断开、有压力处泄压。5.5 经常检查并却保各安全防护装置的齐全、安全和有效。5.6泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。 5.7注意不要用手直接接触靶水，应用温度计测量，防止烫伤。5.8气瓶的使用要遵守压力容器管理制度。5.9所有设备维护产生废油、废件等废弃物按照废水废液控制程序固体废物处理程序进行处理。6形成文件无7相关文件7.1废水废液控制程序7.2固体废物处理程序7.3设备点检管理制度7.4压力容器管理制度7.5起重机操作维护保养规程8形成记录8.1真空机组日常记录表 MS-040215/030401