汇总一种掺杂类金刚石薄膜.docx

1、汇总一种掺杂类金刚石薄膜 一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法 发明专利 CN201510292141.X_中国科学院宁波材料技术与工程研究所 2015年5月30日 本发明提供一种掺杂类金刚石薄膜的制备方法，其包括如下步骤：a根据第一性原理计算模拟金属原子与碳原子的成键特征，筛选出与碳原子具有反键特征的掺杂金属元素；b通过离子束法形成类金刚石薄膜，并在类金刚石薄膜的成膜过.查看全文- 下载全文- 导出 2 一种LED发光单元的制备方法 发明专利 CN201410522187.1_佛山市国星光电股份有限公司 2014年9月30日 本发明公开一种LED发光单元的制备方法，包括如下步骤：1)在蓝宝石衬底

2、上生长一层类金刚石薄膜；2)在类金刚石薄膜上制备电极通孔；3)在所述类金刚石薄膜裸露的一面制备电极通孔阵列，同时在电极通孔内壁上电镀一层金属，并在.查看全文- 下载全文- 导出 3 DLC光能污水净化方法及其装置 发明专利 CN201510313230.8_刘南林 2015年6月5日 本发明是应用DLC(类金刚石薄膜英文缩写)纳米新材料技术、太阳能利用技术、有机化工催化反应填充柱技术设计的新型污水净化方法及其装置。其原理为：类金刚石薄膜表面在太阳光照射下，吸收紫外光，形成加速有机物降解反应的催.查看全文- 下载全文- 导出 4 基于类金刚石薄膜的纳米孔测量系统及其制备方法 发明专利 CN201

3、410707203.4_中国科学院重庆绿色智能技术研究院 2014年11月28日 本发明公开了基于类金刚石薄膜的纳米孔测量系统，包括纳米孔系统、盐溶液腔室和电流监测系统，所述纳米孔系统包括衬底和复合在衬底上表面的类金刚石薄膜I，所述衬底和类金刚石薄膜I表面包覆有绝缘保护层，该衬底刻蚀有锥形.查看全文- 下载全文- 导出 5 一种常温、低电压条件下电沉积类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201510298974.7_常州大学 2015年6月3日 本发明属于类金刚石薄膜制备技术领域，特别涉及一种液相电沉积制备类金刚石薄膜的方法。本发明方法以掺杂氟的二氧化锡导电玻璃、ITO或单晶硅为阴极，碳棒为阳极

4、，卤代羧酸溶液为电解液。在常温条件下，通过在阴阳两电极之间施.查看全文- 下载全文- 导出 6 一种可以采用类金刚石薄膜铝基板的功率模块 实用新型 CN201420704604.X_佛山芯光半导体有限公司 2014年11月21日 本实用新型公开了一种可以采用类金刚石薄膜铝基板的功率模块（包括IGBT，MOSFE，二极管等功率模块），结构包括硅凝胶（1）、金属电极（2）、铝基板（3）、类金刚石薄膜（4）、铜膜（5）、焊膏（6）、功率芯片（7）和铝线（8）。该功率模块适用于MO.查看全文- 下载全文- 导出 7 一种纳米润滑体系及其制备方法 发明专利 CN201410712608.7_苏州锦富新材

5、料股份有限公司 2014年12月1日 本发明公开了一种纳米润滑体系及其制备方法。具体而言，该纳米润滑体系包括沉积在摩擦副表面上的类金刚石薄膜纳米层和用于涂覆类金刚石薄膜纳米层的水基润滑剂，其中所述类金刚石薄膜纳米层为加氢型类金刚石薄膜纳米层，其.查看全文- 下载全文- 导出 8 一种可以采用类金刚石薄膜铝基板的功率模块 发明专利 CN201410671812.9_佛山芯光半导体有限公司 2014年11月21日 本发明公开了一种可以采用类金刚石薄膜铝基板的功率模块（包括IGBT，MOSFE，二极管等功率模块），结构包括硅凝胶（1）、金属电极（2）、铝基板（3）、类金刚石薄膜（4）、铜膜（5）、焊

6、膏（6）、功率芯片（7）和铝线（8）。该功率模块适用于MOSFET.查看全文- 下载全文- 导出 9 超薄类金刚石薄膜过滤膜 发明专利 CN201410239501.5_北京大学 2014年5月30日 本发明公开了一种超薄类金刚石薄膜过滤膜，该过滤膜包括基底和直接附着在基底上的超薄类金刚石薄膜层，且薄膜层具有纳米量级孔径的通道。本发明提供的超薄类金刚石薄膜过滤膜具有高硬度，优异的耐磨性以及优异的化学惰性，.查看全文- 下载全文- 导出 10 一种制备含锗和银的类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201310631026.1_中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2013年11月29日 一种制备

7、含锗和银的类金刚石薄膜的方法属于薄膜沉积技术领域，采用已有的真空室及工艺配置，在室温下调节基底至End-Hall型离子源之间的距离；调节真空室的真空度达到110-3Pa量级；选择CH4作为气体，在气体流量控制计的控制. 一种在物件基底上沉积抗腐蚀类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201110308211.8_湖北久之洋红外系统有限公司 2011年10月12日 本发明涉及一种在物件基底上沉积抗腐蚀类金刚石薄膜的方法，属于涂层技术领域，适用于硅、锗半导体材料以及钢及其合金、铝及其合金金属材料表面类金刚石膜的化学气相法镀制，产品特别适合在盐雾、海水、酸、碱、盐等腐蚀环境下.查看全文- 下载全文- 导

8、出 12 一种强激光辐照制备类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201310377771.8_江苏大学 2013年8月27日 本发明涉及一种强激光辐照制备类金刚石薄膜的方法：采用高功率脉冲激光辐照沉浸在循环水溶液下基体的石墨涂层，石墨吸收激光能量迅速气化、电离，产生大量的高速等离子体，并在基体表面产生瞬间的高温高压微区，随后又以极快.查看全文- 下载全文- 导出 13 一种在刀具表面均匀沉积类金刚石薄膜的装置 实用新型 CN201520031486.5_内蒙古工业大学 2015年1月16日 本实用新型公开了一种在刀具表面均匀沉积类金刚石薄膜的装置，其包括真空腔以及设置在真空腔两侧壁底部的进气口，

9、在真空腔外壁设有接地端子，在真空腔内腔顶部活动固定设有尖端向下设置的刀具基底；在刀具基底下方的真空腔.查看全文- 下载全文- 导出 14 柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法 发明专利 CN201210550894.2_中国科学院兰州化学物理研究所 2012年12月18日 本发明涉及一种在柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法，多层多组分类金刚石薄膜组成Cr+CrTi+CrTiN+CrTi/CrTiC+CrTiC/DLC；采用多靶脉冲磁控溅射方法，经过超声波清洗和真空系统中氩等离子体溅射清洗柱塞；溅射沉积Cr+CrTi.查看全文- 下载全文- 导出 15 金属表面镀制类金刚石薄膜的方法 发明专利 C

10、N201210227099.X_陈伟 2012年6月29日 本发明公开了一种金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，主要步骤是：(1)超声波清洗，抽真空；(2)离子清洗，通入氩气，开启离子清洗源，产生大量氩离子对工件表面进行轰击；(3)将金属工件和真空室之间加载负偏压，开启钛电弧源使金属.查看全文- 下载全文- 导出 16 一种含金属类金刚石薄膜制备方法 发明专利 CN201210193088.4_中国地质大学（北京） 2012年6月13日 本发明公开了一种含金属类金刚石薄膜制备方法，所述方法为采用多离子束辅助沉积系统（IBAD）、通过调节溅射靶材的溅射气体压力、脉冲基体负偏压和靶电流，采用在基体中加

11、入非碳化物形成元素，制备类金刚石薄膜，所得到的类金刚.查看全文- 下载全文- 导出 17 一种空间用齿轮沉积钨掺杂含氢类金刚石薄膜的中间过渡层制备方法 发明专利 CN201110396601.5_中国航天科技集团公司第五研究院第五一研究所 2011年12月4日 本发明公开了一种空间用齿轮沉积钨掺杂含氢类金刚石薄膜的中间过渡层制备方法，属于表面改性领域。所述方法步骤如下：(1)化学清洗齿轮；(2)加热及抽真空；(3)等离子体源轰击清洗齿轮；(4)沉积Cr毗邻层；(5)沉积Cr/WC成分梯度.查看全文- 下载全文- 导出 18 一种金属掺杂无氢类金刚石碳膜的制备方法 发明专利 CN20121051

12、9829.3_中国地质大学(北京) 2012年12月7日 本发明公开了一种金属掺杂无氢类金刚石薄膜的制备方法。特点为利用离子束辅助沉积技术在工件表面制备金属掺杂类金刚石薄膜，采用金属靶与石墨靶进行双靶溅射。其具体步骤包括：将工件表面离子清洗和活化，沉积制备金属掺杂.查看全文- 下载全文- 导出 19 离子束快速沉积类金刚石薄膜设备 实用新型 CN201520405331.3_深圳市正和忠信股份有限公司 2015年6月13日 本实用新型涉及一种离子束快速沉积类金刚石薄膜设备，包括一个密封的真空腔体，该真空腔体采用左右对称的结构，在真空腔体30及150位置处设置有小凸腔用于放置两个对称的高能离子源

13、，在真空腔体0及180位置处设置有小凸.查看全文- 下载全文- 导出 20 气相打印技术与设备 发明专利 CN201510313778.2_刘南林 2015年6月5日 本发明是应用高频等离子体化学气相沉积技术和程序扫描打印技术，在常温、真空密闭金属容器中，利用活动电极及其控制的等离子体化学沉积反应作为打印机扫描器件进行扫描，在物体表层定向生成类金刚石薄膜沉积物构成图文或制.查看全文- 下载全文- 导出 一种方便豆浆的加工杯 发明专利 CN201310466582.8_哈尔滨鑫红菊食品科技有限公司 2013年10月9日 本发明涉及一种方便豆浆的加工杯，包括搅碎机构，搅碎机构包括电机、安装轴及搅拌

14、刀，搅拌刀固定在安装轴上，电机带动搅拌刀旋转，所述安装轴和搅拌刀上镀有类金刚石薄膜层。通过在安装轴的表面镀有类金刚石薄膜层，使电机轴具.查看全文- 下载全文- 导出 22 掺氟类金刚石薄膜、其制备方法及包含该薄膜的压印模板 发明专利 CN201310396714.4_苏州锦元纳米科技有限公司 2013年9月4日 本发明公开了一种掺氟类金刚石薄膜、其制备方法以及包含该薄膜的压印模板，该薄膜沉积在基体表面上，薄膜中氟的质量含量为1%4%；薄膜厚度为110nm。本发明公开的薄膜具有类金刚石薄膜的优点，同时具有优异的疏水、防粘性能以.查看全文- 下载全文- 导出 23 一种类金刚石薄膜制备工艺 发明专

15、利 CN201410702591.7_安徽微威胶件集团有限公司 2014年11月29日 本发明公开了一种类金刚石薄膜制备工艺，所述制备工艺的预处理，包括如下步骤：（1）真空室预处理：在把基片放入真空室以前，先用吸尘器吸净真空室的灰尘和附着物，然后带上一次性手套，并用无水乙醇和医用纱布擦拭真空室内壁和.查看全文- 下载全文- 导出 24 一种豆浆食品加工装置 发明专利 CN201310387346.7_哈尔滨鑫红菊食品科技有限公司 2013年8月30日 本发明涉及一种豆浆食品加工装置，包括搅碎机构，搅碎机构包括电机、安装轴及搅拌刀，搅拌刀固定在安装轴上，电机带动搅拌刀旋转，所述安装轴和搅拌刀上镀

16、有类金刚石薄膜层。通过在安装轴的表面镀有类金刚石薄膜层，使电机轴具.查看全文- 下载全文- 导出 25 复合二氧化钛光催化剂及其制备方法 发明专利 CN201110199080.4_刘凡新、刘宝升 2011年7月15日 本发明提供一种复合二氧化钛光催化剂，由惰性金属微纳结构、沉积在所述惰性金属微纳结构上的类金刚石薄膜层，以及包覆在所述类金刚石薄膜层外的纳米二氧化钛组成，其中所述类金刚石薄膜层的厚度为12纳米。本发明通过在惰性.查看全文- 下载全文- 导出 26 在钢铁表面制备类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201110427966.X_中国科学院兰州化学物理研究所 2011年12月16日 本

17、发明公开了一种在钢铁表面制备类金刚石薄膜的方法。利用高功率脉冲磁控溅射技术在钢铁表面制备结合强度高的类金刚石薄膜。制备的薄膜结合力80N，摩擦系数低至0.04N。对于类金刚石薄膜在苛刻环境下的应用提供了技术支持.查看全文- 下载全文- 导出 27 在碳素钢或球墨铸铁表面制备类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201110426225.X_中国科学院兰州化学物理研究所 2011年12月16日 本发明公开了一种在碳素钢或球墨铸铁表面制备类金刚石薄膜的方法。采用高频双极脉冲磁控溅射在碳素钢或球墨铸铁表面制备结合强度高的类金刚石薄膜。磁控溅射工艺成熟、设备简单、沉积温度低、成膜均匀、重复性好的优点结合高

18、.查看全文- 下载全文- 导出 28 一种铝合金表面改性沉积类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201110024294.8_南京理工大学 2011年1月22日 铝合金广泛用于航空航天、交通通讯、石油化工、机电建材及纺织工业等领域，但自身存在硬度低、耐磨性差、耐腐蚀性弱等问题。类金刚石薄膜硬度高，具有良好的耐磨性和耐腐蚀性。本发明涉及铝合金表面改性技术，提供了一种在铝合金.查看全文- 下载全文- 导出 29 微波辅助类金刚石薄膜包覆玻璃纤维的复合纤维制备方法 发明专利 CN201210143782.5_兰州大学 2012年5月10日 本发明涉及一种微波辅助类金刚石薄膜包覆玻璃纤维的复合纤维制备方

19、法，该方法包括以下步骤：启动微波等离子体化学气相沉积系统，抽真空；将天然气通入圆柱形不锈钢真空室，使其均匀充满整个圆柱形不锈钢真空室；启动微波.查看全文- 下载全文- 导出 30 一种多元金属掺杂无氢类金刚石碳膜的制备方法 发明专利 CN201210519901.2_中国地质大学(北京) 2012年12月7日 本发明公开了一种多元金属掺杂的无氢类金刚石碳膜的制备技术。利用离子束辅助沉积技术，采用多元镶嵌金属靶(溅射区3内镶嵌块2镶嵌于基础靶材1上构成)与石墨靶进行双靶溅射，在工件表面沉积制备多元金属掺杂类金刚石薄膜。.查看全文- 下载全文- 导出 一种微/纳织构化类金刚石-离子液体复合薄膜及其

20、制备方法 发明专利 CN201210005814.5_中国科学院宁波材料技术与工程研究所 2012年1月10日 本发明涉及一种微/纳织构化类金刚石-离子液体复合薄膜及其制备方法，采用感应耦合等离子体刻蚀技术，在硅片表面获得具有多种形貌不同几何参数的微/纳织构化规则形貌，然后通过磁控溅射气相沉积技术，在硅片表面获得织构化.查看全文- 下载全文- 导出 32 凸轮轴表面多层纳米复合类金刚石薄膜的制备方法 发明专利 CN201110426223.0_中国科学院兰州化学物理研究所 2011年12月16日 本发明公开了一种凸轮轴表面多层纳米复合类金刚石薄膜的制备方法。本发明利用高频高功率脉冲磁控溅射技术

21、，在凸轮轴表面沉积纳米多层复合类金刚石薄膜。复合薄膜粘着层厚度为0.20.5m、承载层厚度为13m，表层厚度为13.查看全文- 下载全文- 导出 33 大体积微波等离子体制备类金刚石薄膜的装置 发明专利 CN201310754676.5_武汉工程大学 2013年12月31日 本发明涉及一种大体积微波等离子体制备类金刚石薄膜的装置，包括谐振腔、石英管反应腔、多个微波源和多个微波输入系统，所述微波源产生的微波通过所述微波输送系统送入所述谐振腔内，所述石英管反应腔位于所述谐振腔内，所述.查看全文- 下载全文- 导出 34 一种低温沉积含银类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201010529526.0

22、_中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2010年11月3日 一种低温沉积含银类金刚石薄膜的方法属于薄膜沉积技术领域，该方法是：采用已有的真空室及工艺配置，在室温下，调节基底至End-Hall型离子源之间的距离；调节真空室的真空度达到110-3Pa；选择CH4和H2作为先驱气体，其体积比为.查看全文- 下载全文- 导出 35 一种低温沉积折射率可变的类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN200910066757.X_中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 2009年4月7日 一种低温沉积折射率可变的类金刚石薄膜的方法，属于薄膜沉积技术领域中的方法。要解决的技术问题：提供一种低温沉积折射率可变的类

23、金刚石薄膜的方法。解决的技术方案为：1.采用已有的真空室及工艺配置；2.在室温下，调节基底.查看全文- 下载全文- 导出 36 类金刚石薄膜及其制备方法 发明专利 CN201210131830.9_赛屋（天津）涂层技术有限公司 2012年4月27日 本发明涉及一种类金刚石薄膜，其薄膜由下至上分别包括基体渗氮层、铬扩散过渡层、碳、氮的富铬混合层以及类金刚石涂层，基体渗氮层的厚度为20100nm，铬扩散过渡层的厚度为350800nm，碳、氮的富铬混合层的厚度为100300nm，类.查看全文- 下载全文- 导出 37 氧化锌/类金刚石声表面波器件复合薄膜的制备方法 发明专利 CN2011101597

24、89.1_南京理工大学 2011年6月15日 类金刚石（diamond-likecarbon，DLC）薄膜具有高声速和光滑表面，是声表面波器件的理想衬底材料，c轴择优取向的氧化锌（ZnO）薄膜具有压电性能。本发明涉及声表面波器件，提供了一种可用于高频、高机电耦合系数、大功率声表面波器.查看全文- 下载全文- 导出 38 一种提高镁合金抗磨损性能的碳膜及其制备方法 发明专利 CN201010146572.2_中国科学院宁波材料技术与工程研究所 2010年4月9日 本发明涉及一种提高镁合金抗磨损性能的碳膜及其制备方法，该碳膜为类金刚石薄膜，并且该类金刚石薄膜中含有原子百分比为210的金属元素。与现

25、有技术相比，本发明的优点在于：在类金刚石薄膜中引入微量金属元素，在极大降低.查看全文- 下载全文- 导出 39 脉冲放电沉积制备类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201110093123.0_陈伟 2011年3月30日 本发明公开了一种脉冲放电沉积制备类金刚石薄膜的方法，属于金属或非金属表面改性处理的技术领域。该方法采用以石墨为阴极电极的脉冲电弧放电和分解离化碳氢化合物气体的混合物理化学气相沉积法在工件表面进行DLC沉积，主.查看全文- 下载全文- 导出 40 等离子显示屏及其制作方法 发明专利 CN201110458063.8_四川虹欧显示器件有限公司 2011年12月31日 本发明公开了一

26、种等离子显示屏及其制作方法。该等离子显示屏包括上基板、下基板以及由上基板和下基板封接形成的放电单元，下基板的外表面设置有散热层，该散热层为金刚石薄膜或类金刚石薄膜。本发明的等离子显示屏由于散热.查看全文- 下载全文- 导出 模具钢表面多层梯度纳米复合类金刚石薄膜的制备方法 发明专利 CN201110428052.5_中国科学院兰州化学物理研究所 2011年12月16日 本发明公开了一种模具钢表面多层梯度纳米复合类金刚石薄膜的制备方法。该方法将经过常规前处理后的柱塞置于磁控溅射复合气相沉积系统的真空系统中，依次沉积多层梯度膜。多层梯度过渡层在制备的过程中对每一层都经过高温.查看全文- 下载全文-

27、 导出 42 一种快速沉积类金刚石薄膜的装置 发明专利 CN201310074074.5_北京科技大学 2013年3月8日 本发明为一种快速制备类金刚石薄膜的方法及装备。采用射频空心阴极效应，将等离子体束缚在一个特定的区域，负辉区合并，气体离化率成倍增加。同时，射频辉光放电过程中，电子被束缚在电极间，在放电空间来回运动，增加了与气体.查看全文- 下载全文- 导出 43 食品加工机 实用新型 CN201120483914.X_九阳股份有限公司 2011年11月29日 本实用新型涉及一种食品加工机。该食品加工机包括粉碎装置，该粉碎装置包括电机、刀轴及粉碎刀具，该粉碎刀具固定在刀轴上，该电机带动粉碎

28、刀具旋转，所述刀轴和/或粉碎刀具上镀有类金刚石薄膜层。通过在刀轴的表面镀有类金刚.查看全文- 下载全文- 导出 44 在类金刚石薄膜表面制备羧基改性层的方法及由该法所制备的类金刚石薄膜 发明专利 CN201110026613.9_中山大学 2011年1月25日 本发明公开一种在类金刚石(DLC)薄膜表面制备羧基改性层的方法。该方法是在常温、气相条件下，应用低能射频等离子体激发工艺对DLC薄膜表面进行羧基改性，并对羧基改性后的DLC薄膜表面进行氢化处理，制备出具有稳定羧基改性层.查看全文- 下载全文- 导出 45 一种石油管道表面的防腐绝缘耐磨处理方法 发明专利 CN201510120284.2_陕西天元智能再制造有限公司 2015年3月19日 本发明提出一种石油管道表面的防腐绝缘耐磨处理方法，包括：一、进行表面气体渗氮处理；二、在电解抛光池中进行表面电解抛光处理；三、在超声波清洗槽中进行表面清洗处理；四、在化学气相沉积设备内进行表面氩离子轰击清洗处理.查看全文- 下载全文- 导出 46 碳化硅粉体表面包覆金刚石或类金刚石薄膜的方法 发明专利 CN201110355707.0_上海交通大学、新疆龙海硅业发展有限