电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt

上传人:b****9 文档编号:97906 上传时间:2022-10-02 格式:PPT 页数:29 大小:763KB
下载 相关 举报
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt_第1页
第1页 / 共29页
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt_第2页
第2页 / 共29页
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt_第3页
第3页 / 共29页
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt_第4页
第4页 / 共29页
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt_第5页
第5页 / 共29页
点击查看更多>>
下载资源
资源描述

电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt

《电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt(29页珍藏版)》请在冰豆网上搜索。

电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述.ppt

厂务系统概述,0.电子厂名言,0.电子厂名言,唯一的不变就是永远在变唯一确定的就是还没决定所以接下来介绍的在现场都不是绝对的,1.厂务系统功能,1.1水系统在制程中的功能,1.2气体系统在制程中的功能,1.3化学系统在制程中的功能,1.4真空系统在制程中的功能,1.5排气/排水系统在制程中的功能,2.厂务系统使用材质,2.1水系统使用材质,2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管),2.3化学系统使用材质,2.4真空系统使用材质,PumpLine制程高真空,SUS316BA/EP,GEX一般排气,镀锌螺旋风管,2.5排气系统使用材质,Solvent有机排气,SUS304全焊式不锈钢风管,Acid/Ak酸碱排气,不锈钢TeflonCoating风管(Tefpass),2.6排水系统使用材质,Drain一般排水,PVC/PVCSCH80,Solvent有机排水,SUS304不锈钢管,Acid/Ak酸碱排水,PVCSCH80/PVDF/PTFE/PFA,3.厂务系统流程,3.1制程冷却水系统简略流程,3.2冰水系统简略流程,3.3纯水系统简略流程,3.4自来水/回收水系统简略流程,3.5CDA/GN2/PN2系统简略流程,3.6其他大宗气体/特气系统简略流程,3.7高真空/排气系统简略流程,3.8真空系统简略流程,3.9化学系统简略流程,3.10废水收集系统简略流程,3.11废水处理系统简略流程,讨论时间,

展开阅读全文
相关资源
猜你喜欢
相关搜索

当前位置:首页 > 自然科学 > 物理

copyright@ 2008-2022 冰豆网网站版权所有

经营许可证编号:鄂ICP备2022015515号-1