XPS分峰处理_精品文档.doc

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实验条件：

样品用VGScientificESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。

激发源为AlKαX射线，功率约300W。

分析时的基础真空为3×10-9mbar。

电子结合能用污染碳的C1s峰（284.8eV）校正。

X-rayphotoelectronspectroscopydatawereobtainedwithanESCALab220i-XLelectronspectrometerfromVGScientificusing300WAlKαradiation.Thebasepressurewasabout3×10-9mbar.ThebindingenergieswerereferencedtotheC1slineat284.8eVfromadventitiouscarbon.

处理软件：

Avantage4.15

XPS数据考盘后的处理数据步骤

Origin作图：

1.openExcel文件，可以看到多组数据和谱图，一个sheet对应一张谱图及相应的数据（两列）。

2.将某一元素的两列数据直接拷贝到Origin中即可作出谱图。

（注意：

X轴为结合能值，Y轴为每秒计数）

3.如果某种元素有两种以上化学态，需要进行分峰处理时，按“XPSPeak分峰步骤”进行。

XPSPeak分峰步骤

1．将所拷贝数据转换成所需格式：

把所需拟合元素的数据引入Origin后，将columnA和C中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。

如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。

2．打开XPSPeak，引入数据：

点Data----Import（ASCII），引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。

3．选择本底：

点Background，在所出现的小框中的HighBE和LowBE下方将出现本底的起始和终点位置（因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回到Origin），本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。

确定好本底的位置后，回到TXT文本中将不在本底范围内的数据删除，然后保存。

再重新ImportASCII。

4．选峰：

点Addpeak，出现小框，在PeakType处选择s、p、d、f等峰类型（如C1s峰则选s，S2p峰则选p），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。

各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45，峰面积比可固定为4:

3等。

点Deletepeak可去掉此峰。

然后再点Addpeak选第二个峰，如此重复。

5．选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimiseregion进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimiseregion。

6．拟合完成后，分别点另一个窗口中的RigionPeaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。

如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimiseregion。

7．点SaveXPS存图，下回要打开时点OpenXPS就可以打开这副图继续进行处理。

8．点Data――Printwithpeakparameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。

9．点Data――Exporttoclipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。

10．点Data――Export（spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。

元素相对定量计算：

相对原子百分比＝

式中：

Ii－i元素的峰强度（面积）

Si－i元素的相对元素灵敏度因子