废水废液工程技术要求及招标规范.docx

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废水废液工程技术要求及招标规范

东营中联国际集成电路废水处理厂

新建工程

技术要求及招标规范

东营东芯集成电路废水处理厂新建工程

技术要求及招标规范

一、技术要求及招标规范范围说明

有关本合约废水处理工程的各系统装置的设计、供应、安装、调试、操作及维修等技术之要求，于本技术规范书及有关图纸内详细说明，以提供符合本合约要求的工程设计、制造至完工的各项细则。

为能妥善完成本合约内各项工程事项，承包商须按要求提供一切所需的设计人员、施工及监督人员、材料、工具、物料、设备、储存、各有效的证件、图纸、临时施工措施、工地安全、检查、调试及运行等事项。

--------------------------第1节结束----------------------

二、规范和条例

所有设备、材料的供应和施工工艺，必须符合下列各机关、部门所颁布的最新的法定职责、条例、规格、标准、施工准则和业务条例：

2.1.1所有中国中央和当地政府机关及部门，包括但不仅限于以下所列的单位：

1.消防局

2.规划局

3.环境保护局

4.卫生防疫局

5.自来水公司

6.环境卫生管理局

7.供电局

8.排水管理处

2.1.2所有中国中央和当地所制定的规范和准则，以及国际认可的规例和标准，最新版本，包括以下,但不仅限于以下所列：

1.《建筑设计防火规范》GB50016-2006

2.《工业金属管道设计规范》GB50316-2000

3.《工业设备及管道绝热工程设计规范》GB50264-97

4.《城市区域环境噪声标准》GB3096-93

5.《工厂企业厂界噪声标准》GB12348-90

6.《工厂企业噪声控制设计规范》GBJ87-85

7.《环境空气质量标准》GB3095-1996

8.《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996

9.《污水综合排放标准》GB8978-1996

10.《建筑给水排水设计规范》GB50015-2003

11.《建筑给水排水管道工程施工及验收规范》GB50268-97

12.《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》GB50242-2002

13.《电子工业职业安全卫生设计规定》SJ30002-92

14.《压力容器安全技术监察规程》（质技监局锅发[1999]154号）

--------------------------第2节结束---------------------

三、技术说明

3.0.1废水来源

本废水处理工程,为收集8”晶圆生产工艺所产生的各类废水及废液,废水、废液分类说明如下:

项次

废水分类

废水来源

IWW一般酸碱废水

制程系统一般酸碱废水

FWW含氟废水

制程系统含氟废水

酸处理塔排水

HF废液定量输送

AW酸性含磷废水

制程系统酸性含磷废水

AHWW含氨废水

制程系统含氨废水

氨气吹脱及吸收塔排水

CMP研磨废水

制程系统背晶研磨废水

制程系统金属研磨废水

制程系统电介质研磨废水

制程系统多晶硅研磨废水

回收水

制程系统清洗水

3.0.2废水废液水质特性

各类废水及废液成份,如下列各表参考说明,供投标厂商进行工艺设计评估,惟投标商需考虑8"晶圆厂通用水质作完整考虑,以确保废水处理系统达标排放.

废液成分

名称

成分

处理方式

硫酸废液

浓度80%左右

收集委外处理

HF废液

浓度20%

收集委外处理/定量输送至含氟废水处理系统处理

光阻液废液（PIX）

收集委外处理

去光阻废液（STRIPPER）

收集委外处理

减薄废液（THINNER）

收集委外处理

有机溶剂废液（IPA）

收集委外处理

IWW一般酸碱废水水质特性

分析项目

浓度范围

2～13

COD（mg/L）

＜150

FWW含氟废水水质特性

分析项目

浓度范围

平均值

1.0～3.0

2.5

F-（mg/L）

500～1200

1000

SS（mg/L）

50～300

175

SO42-（mg/L）

1000～2200

1600

PO43-（mg/L）

＜5

AW酸性含磷废水水质特性

分析项目

浓度范围

1～3

PO43-（mg/L）

100～500

AHWW含氨废水水质特性

分析项目

浓度范围

2～12

NH3-N（mg/L）

＜2000

F-（mg/L）

＜300

H2O2（mg/L）

＜100

CMP研磨废水水质特性

分析项目

浓度范围

2.5～10.5

SS（mg/L）

100～1000

NH3-N（mg/L）

＜15

TOC（mg/L）

1～80

SiO2（mg/L）

0.5～200

回收水水质特性

分析项目

浓度范围

6～9

电导度（us/cm）

1000～2000

3.0.3废水废液排放量

废水排放量

编号

系统

设计能力

处理系统所在位置

责任方

名称

符号

酸碱废水

IWW

40m3/h

960m3/d

废水处理站

承包商

含氟废水

FWW

10m3/h

240m3/d

废水处理站

承包商

酸性含磷废水

5m3/h

120m3/d

废水处理站

承包商

含氨废水

AHWW

5m3/h

120m3/d

废水处理站

承包商

研磨废水

CMP

5m3/h

120m3/d

废水处理站

承包商

回收水

——

10m3/h

240m3/d

废水处理站

承包商

废液排放量

名称

排放量

系统所在位置

责任方

设计

能力

实际排放量

磷酸废液

5m3/h

0.45m3/d

3号建筑（FAB）废水提升站

承包商

硫酸废液

5m3/h

3.2m3/d

3号建筑（FAB）废水提升站

承包商

HF废液

5m3/h

12m3/d

3号建筑（FAB）废水提升站

承包商

光阻液废液（PIX）

5m3/h

0.32m3/d

3号建筑（FAB）废水提升站

承包商

去光阻废液（STRIPPER）

5m3/h

0.47m3/d

3号建筑（FAB）废水提升站

承包商

减薄废液（THINNER）

5m3/h

0.47m3/d

3号建筑（FAB）废水提升站

承包商

有机溶剂废液（IPA）

5m3/h

0.47m3/d

3号建筑（FAB）废水提升站

承包商

3.0.4废水排放标准

本项目生产废水按《污水综合排放标准》（GB8978-1996）的二级排放标准执行。

污染物

单位

二级排放标准

6.0~9.0

mg/L

150

BOD5

mg/L

CODcr

mg/L

150

氨氮

mg/L

Cu离子

mg/L

F离子

mg/L

--------------------------第3节结束---------------------

四、废水处理工艺设计要求

对排放的废水分类收集，分别处理与综合处理相结合;废水分类至少应区分为含氟废水、CMP研磨废水、含氨废水、酸碱废水、酸性含磷废水及收集暂存废液类.

1.1

厂区制程排水管线,废水及废液收集管线材质应依本补充说明第9节「管线材质」及所附空白标单材质要求执行工程.

采用切实可行的先进技术与设备、自动监测等自动化程度高的装备，确保处理效果达标，自动化控制系统具体要求如下：

2.1

废水站控制柜设触控式屏幕，用以监控和调整各类参数；废水站控制柜需备有通讯接口，由业主接线将废水站控制柜内的信号传输至业主中控室计算机，用以数据的监视和报告的输出

2.2

提供系统报警装置（故障报警及超载报警）

2.3

设备需考虑合理的备用数量

2.4

水泵和风机的吸入口要有过滤装置

处理工艺注意以下问题：

3.1

处理工艺方法可采用：

1.化学法；2.物理法；3.生物法；4.物化法

3.2

酸碱废水应采用三段式PH调整，保证系统稳定运行

3.3

含氟废水采用两段式化学混凝沉淀工艺

3.4

高浓度含氨废水,因其中含有氟（F-）,故在先经吹脱（AirStripping）及氧化除氨后，需再并入含氟废水处理.

3.5

酸性含磷废水采用化学混凝沉淀工艺

3.6

研磨废水采用化学混凝沉淀工艺

3.7

回收水采用极电透析，导电度去除率>75%.

3.8

处理工艺需考虑“以废治废”，降低运行成本

3.9

处理系统要有回流及警急排放暂存功能，让不合格废水重新再处理

为保证系统质量及运行稳定性，套装设备必须由设备厂商整体提供

--------------------------第4节结束---------------------

五、工艺流程及P&ID图

5.0.1工艺流程描述

1．研磨废水处理系统

在工艺生产过程中产生的研磨废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，再经化学混凝沉淀系统处理后，出水并入酸碱废处理系统达标排放，产生的污泥排入各系统共享之浓缩池。

2．酸性含磷处理系统

在工艺生产过程中产生的酸性含磷废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，再经化学混凝沉淀系统处理后，出水并入酸碱废处理系统达标排放，产生的污泥排入各系统共享之浓缩池。

3．含氨废水处理系统

含氨废水和氨气吸收塔排水分别经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，先经PH调整、加热后进入吹脱塔进行脱氮，脱氮后出水则再进行化学氧化，进一步除氮，之后出水在进入含氟废水处理系统进行除氟。

吹脱塔的含氨废气应以吸收塔进行中和处理,尾气应符合法令标准后排放.

4．含氟废水处理系统

含氟废水用管道收集后至含氟废水收集槽和浓HF废液收集槽内，此外，酸性废气洗涤塔排出的废水，因其含有F离子，也用管道输送至含氟废水收集槽内，而后含氟废水用泵将其送至废水处理站内含氟废水储槽；高浓度HF废液用泵定量打到废水处理站含氟废水储槽内，与含氟废水一起进行处理。

含氟废水采用两段化学混凝沉淀法进行处理，处理后出水进入酸碱废水系统调整PH后排放。

产生的含氟污泥单独处理，先经浓缩池浓缩后再经脱水机脱水。

5．酸碱废水处理系统

酸碱废水经管道收集至酸碱废水收集槽，然后用泵送至废水站内酸碱废水储槽，经过三段PH调整后排放。

6．回收处理系统

RO浓水、酸碱中和后的排水以及机台回收水经收集后，进入EDR（倒极电透析）系统脱盐处理，处理后的水可作为厂区内回用水使用。

7．高浓度废液收集系统高浓度废液（剥离废液、PIX废液、IPA废液、清洗废液、HF废液、硫酸废液等）经收集后由专业公司外运处理。

5.0.2P&ID

图所附废水处理工艺流程图,投标商为求水质稳定达标,可自行增加处理单元,但不得以减化为由,予以删减处理单元.

--------------------------第5节结束----------------------

六、设备规格及厂牌

序号

设备类别

推荐厂牌

备注

FRP储槽

中信、尔华杰

透明液位管,镀锌爬梯

PE储槽

亚星、大自然

透明液位管,镀锌爬梯

酸碱废水输送泵

Kuobao

Super

耐酸碱泵

非酸碱输送泵

GSD、WALRUS

型式：

卧式离心泵

材质：

铸铁

气动泵

Wilden、VERDER、

型式：

气动隔膜式

隔膜加药机

NIKKISO、ALLDOS

型式：

可调式耐酸碱隔膜泵

鼓风机

富资

龙铁

型式：

三叶鲁式鼓风机

附件：

进出口消音器,滤清器,安全阀,逆止阀,防震接头,压力表

刮泥机

YESAIL、MIDLAND

型式:

全桥式污泥刮泥机

功能：

下刮泥设计;

材质:

接液部分sus304

搅拌机

YESAIL、WANCHANG

材质：

接液部份FRP防蚀

污泥脱水机

MIDLAND、ISHIGIA

型式：

板框式隔膜式

套装式斜板沉淀池

Midland、EVERYOUNG

材质：

CS+防腐处理

自动泡药机收集槽

台玉、SERA

AHWW吹脱气提系统

台玉、Midland

脱氮效率90%以上

EDR套装设备

Midland、GE

散气盘

楷欣、,龙铁

型式:

圆碟状粗气泡

吐气量:

0.1m3/min以上

压力表

华记、WIKAI

表径2-1/2",PP隔膜油浸式

浮球液位计

Key

Radar

耐酸碱PP以上材质

超声波液位计

VEGA、HONDA

用于药液桶槽及含HF类腐蚀类废水废液

pH计

DKK、Suntex

在线氟检测仪

DKK、HOTOC、SUNTEX

在线COD检测仪

HACH、TETHYS.

巴歇尔计量槽流量计

PULSAR

PLC自控

OMRON、三菱

用于电控柜中

图控软件

组态王

用于废水处理厂之工控机

水质分析实验室仪器

标单所列项目

标单所列厂牌

--------------------------第6节结束---------------------

七、电气控制工程说明

7.1.1电控系统构架

现场设备需设置LOCALPANNEL方便操作人员现场操作，LOCALPANNEL并可显示主要的系统数据（如：

仪表等），详见系统架构图，系统中有各分系统相互连锁的信号时用一对一拉接线方式实现，各分系统的主要信号回CCP盘时同。

各马达在主控盘上有自动/停止/手动3档，并有运行/超载指示。

整个系统采用工业计算机监控所有设备，通讯方式为ETHERNET-10/100M

7.1.2元器件要求

序列

名称

系列

厂牌

其它要求

断路器

EZD

施耐德

接触器

施耐德

热继电器

施耐德

中间继电器

OMRON

PLC

OMRON

触控式屏幕

FUJI

软件

KINGVIEW

监控软件采用无限点监控软件，并具有设备状态监控、流程显示、报警的记录、历史数据查询、参数的设定、报表的输出等功能。

端子台

天得

按钮指示灯

施耐德

I/O接线板

OMRON

直流电源

明纬

交流电源

JBK5

正泰

电缆

FAREAST、HUAN

箱体

定做

7.1.3控制柜制作要求

1.箱体安装板及内外门板厚不小于2.5mm其它板厚不小于2mm。

2.内部安装空调的柜体要求防护等级为IP54。

3.门锁采用带锁把手式且上下插销连杆式。

4.柜门应焊接M8的螺丝，便于柜门接地。

5.柜门不得有走扇现象，且开关门不的有异响。

6.每扇柜门都配有30W日光灯及微动开关一组。

7.门边内折，用于加强门板。

8.门边四周贴密封条用于防尘，及关门消声。

9.内部安装板采用整片扳制，颜色为丹红色。

10.箱体的背面板和两侧板可拆卸。

11.箱体外观平整，无漆剥落现象。

采用橘文式粉体烤漆。

12.各板的连接缝隙不得大于2毫米。

13.箱体外观颜色为7035。

14.门板按钮孔上下之间应安装加强筋，便于安装线槽，同时也加固门板。

15.箱体内的底座部分要有盖板封，且为三块板组成，并是活动式便于进出动力线。

16.开孔处无毛刺其尺寸完全符合图纸需求。

17.底座左右雨遍及后面要预留进出线口，颜色为黑色。

18.客体的顶端四角安装有吊环。

7.1.4控制柜安装要求

1.主回路配线

如无特殊要求，三相主回路线一律为黑色BVR线。

柜内走线要横平竖直,线槽内的布线要清晰顺畅,主回路线置于线槽内层控制线置于外层,以便故障时排查。

主回路的导线连接须使用焊锡的压着端子，铜排至断路器上端头用为黄,绿,红色套分别套在对应R-S-T相线两端,盘内导线之相序排列以面对箱面为准，R-S-T相别为由左至右，由上而下或由前而后。

空开下端头至端子台之间的各主回路元器件的联机两端用号码管标示（不得使用色套）。

2.控制回路配线

如无特殊要求,其控制线一律用1mm2,PLC模块上用0.75mm2,电线用多股BVR线。

不同电压的控制线用不同颜色:

交流220V-黄色直流24V–蓝色

3.接线

线头裁剪处续修齐不得有毛刺及飞边，不得使用受损的螺丝接线。

剥皮长度要与所选端子相适应。

如需用接线端子时，其大小与线径一致。

4.色套与号码管

色套与号码管的大小应与所用电线的线径相适应。

以保证在搬运或振动中不再在线滑动。

号码管上的标识应从左到右、从下到上起读。

标识字体清晰，不易脱落

5.组件卷标

每个在电气原理图上有标识的元器件都要贴上含设备名称及代码的卷标，卷标贴在组件上方的线槽盖上且显目处，不得贴在组件上。

标签应横平竖直，且在同一线槽盖上的标签应水平或垂直对齐

6.线槽及导轨

固定前要进行精确测量,保证固定后横平竖直,牢固耐用．导柜的固定点间距不得大于40cm。

在线槽交叉处应剪掉影响布线的线槽面并修平毛刺。

内部布线要均匀，走线方向以使所用电线最短为好。

大电线在里，小线在外。

线槽内不得有接头。

备用线应藏在线槽内，两端做好绝缘处理。

7.动力线和信号线要尽量分开走线，避免干扰。

8.各元器件的安装，要首先满足说明书上的安装要求。

9.端子台上也要有标签，便于查看此组线所接的是什么设备

10.各控制柜之间的联线必须经过本柜的端子台与另外柜之间连接

11.铜排和有电且容易被人接触到的带电体要用透明压克力板遮盖.

12.控制柜安装完成后应在厂内做以下测试：

A.手动测试、B.PLC强制端点测试、C.接线绝缘测试，且做好测试记录

--------------------------第7节结束---------------------

八、防腐工程说明

废水站中与酸碱性液体接触的RC水池及碳钢槽体需采用FRP内衬保护，防止池体因腐蚀所造成的泄漏隐患。

FRP施工要求供做投标厂商之施作参考，废水处理厂之防腐工程为厂商责任施工，得标厂商应考虑废水水质特性，做适当的强化措施.

FRP内衬材质及施工要求如下：

水池池壁及池底施工示意图

（1）：

三布五油

水池池顶施工示意图

（2）：

两布三油

材料要求：

1．昭和R-802/R-806树脂，乙烯基树脂（上海昭和高分子有限公司）

2．玻璃纤维纱席，300g/m2，国内优质品

3．玻璃纤维表面席，30g/m2，国内优质品

4．对含氟废水部份,涂层应使用有机表面席，30g/m2（以上），国内优质品

--------------------------第8节结束---------------------

九、管线工程说明

9.0.1管材要求

配管名称

重力排配管管材

压力管配管管材

保温及防腐

酸性含磷废水管

CS+PTFE

SCH80PVC

户外保温

酸碱废水管

SCH80UPVC

SCH80PVC

户外保温

含氟废水管

PPPN10

全部保温

含氨废水管

SCH80UPVC

户外保温

研磨废水管

SCH80UPVC

户外保温

废气洗涤塔

淋洗废水管

SCH80CPVC

户外保温

硫酸废液管

CS+PTFE

HF废液管

PPPN10

PIX光阻废液管

SUS304SCH10S

去光阻废液管

SUS304SCH10S

IPA有机溶剂

废液管

SUS304SCH10S

减薄废液管

SUS304SCH10S

硫酸铵废液管

CPVCPN10

废水厂处理水

UPVCPN10

户外保温

废水厂空气管线

GIP

废水厂供药管

UPVCPN10

废水厂污泥管

UPVCPN10

注：

1．重力管线需设置清扫口；

2．所有排水管线进入车间收集槽前必须加装过滤设备。

9.0.2管架施作方式

1.抽水（泥）泵设备出口龙门架（面前架）

（1）立架SS4008#槽钢。

（2）管架SUS30441×25×2m/mtC型钢+P型夹。

（3）零星管架4"以下采SUS3041-1/2"单边有孔角钢,4"以上采SUS304,2"单边有孔角钢，以SUS304材质U型螺丝作固定。

2.管路管排支架管线管架分为主固定型管架及辅助支撑型管架两种，其中主固定型管架每5m以内设一组，辅助支撑型管架则于两主支撑管架5m距离内，视承载管径大小于国家法令规定管架最小间距再等分设2-7组（即每60-180cm设一组）作辅助支撑型管架

（1）当管架宽度小于1.5m时，主固定型管架采用SS4005#角钢作门型主架，另于门型支架底横梁管接处侧焊SUS304，2＂单边有孔角钢作固定架；辅助支撑型管架则采SUS3042"单边有孔角钢作主梁另加M10SUS304全牙螺杆作吊杆制造。

（2）当管架宽度大于1.5m时，主固定型管架采用8#槽钢作门型主架，另于门型支架底横梁管接处侧加焊SUS3042＂单边有孔角钢作固定架；辅助支撑型管架则以SUS3042"单边有孔角钢侧加焊8#槽钢与M12全牙螺杆作吊杆制造。

3.管架及支架涂装

（1）所有非SUS304钢制品涂装需喷砂除锈后上EPOXY红丹底漆一道，EPOXY柠檬绿底漆一道及EPOXY面漆两道，EPOXY漆均使用永记虹牌漆。

（2）所有SUS304焊接口处必须酸洗。

（3）所有螺丝（含螺母,垫片）除标单另有要求采塑料螺丝材质外，一律采用SUS304材质施作

（4）所有管夹（包含P型管夹、U型螺丝）均采用SUS304材质施作

--------------------------第9节结束---------------------

十、废水工程接口说明

项次

内容

承包商

业主

一

废水系统

基本概况：

1.1

系统设计

（1）基本及细部设计

○

（2）机械及管线设计

○

（3）土木结构初稿设计（池体结构配置图）

○

（4）电气控制设计

○

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