ASTM吸气剂测试标准doc.docx

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ASTM吸气剂测试标准doc

非蒸散型吸气剂在分子流范围内

的吸气速率、吸气容量、气体含量的测定

（ASTMF798-97（2002）

1适用领域

1.1本标准说明了在分子流范围内测定吸气速率、吸气容量、气体含量的技术。

1.2本标准给出了激活吸气剂和测定气体释放率的步骤。

1.3各种各样的测定都可能对吸气剂产生本质上的破坏，测定的结果通常都是半计量的，但是同一实验室可以获得相对比较的结果。

多个实验室分析结果的重复性仅能用标准样的来回检测来确定。

同一个实验室对于吸气速率、吸气容量的测量精确度为±15%，多个实验室之间分析结果的重复性估计在50%，气体含量由于温度的不确定性存在很大的误差。

1.4对于吸气剂的毒性、污染都可能产生，但是不在本标准的范围之内，使用者和销售者对于例如化学反应，掉颗粒等控制问题都要有相应的规则。

1.5本标准并不涉及安全性问题。

安全与健康问题，应按照有关法规执行。

吸气剂的一些特殊危险性在本标准的第4节中有详细说明。

2参考文件

2.1美国材料试验协会标准

E296电离真空计在空间模拟器中的应用。

E297电离真空规管的测试方法。

2.2美国真空协会标准

标准气体质谱分析仪的应用

校准压强计及其控制

3术语

3.1本标准中吸气剂类型的定义

3.1.1非蒸散型吸气剂：

在吸气过程中并不需要蒸发。

3.1.2表面吸气剂：

一种表面积主导的吸气剂。

在一定的操作压力和温度条件下，吸气速率、吸气容量不受厚度的影响。

3.1.3体积吸气剂：

在一定的压强和温度条件下，单位质量的吸气剂的吸气速率、吸气量与吸气剂的厚度有关。

3.1.4激活：

吸气剂通过热处理的方法表现出吸气特性。

3.1.5再激活：

已经激活使用过后，再次使用时用热处理的方法部分激活。

3.2气体含量（GC）可以分为如下：

3.2.1总气体含量（TGC）：

气体在吸气剂的表面或内部，物理或化学的结合或溶解的总量。

3.2.2总氢含量（THC）：

氢在吸气剂内的溶解总量。

3.2.3氢气含量（HGC）：

吸气剂从室温加热到激活温度，所释放的氢气量。

3.3再激活气体含量：

吸气剂在再激活过程中释放的气体量。

3.4吸气：

吸气剂在真空器件中通过吸附或者吸入现象除去气体。

3.4.1吸附：

吸气材料表面与气体分子的相互作用，可以分为物理或化学吸附过程。

3.4.2吸收：

气体进入吸气材料体积内进行相互作用，吸入过程取决于孔隙、扩散速率、化学反应、温度和压强。

3.4.3可逆性：

吸气材料与某些气体的作用具有可逆性，能够按正、逆两个方向进行，如氢与锆、钛或者合金等反应是可逆的。

如果需要这些气体可能被再激活释放出来，再被真空泵抽出移去。

3.4.4释放或者吸收气体的量在23±2℃测定，单位为托·升，帕·米3。

3.5吸气剂吸气速率Gi：

单位时间所吸收气体体积，测量单位为升/秒，米3/秒

3.6起始吸气剂吸气速率：

在选择的压强和温度下，在测试开始后3分钟时，瞬间的吸气速率。

为了消除测试开始时真空度，压强的波动，延迟时间是需要调节的。

若延迟时间3分钟，被调节改变时，在测试报告中应说明起始吸气速率的测定的时间。

3.7终端吸气速率GT：

是吸气速率降低到5%起始吸气速率值时的吸气速率，除非另有说明。

3.8吸气容量C：

在设定操作温度，吸气剂的吸气速率达到终端吸气速率，吸气剂在吸气过程中全部吸气总合。

测量单位为托·升，帕·米3。

在操作条件下，吸气量是很少与化学式计算值一致的，通常，可能出现再激活的释放气体。

3.9剩余气体特性：

吸气剂先前已经吸了一种气体达到终端吸气速率，然后又吸了另一种气体所具有的吸气容量及吸气速率即称为剩余吸气特性。

可认为后一种气体进行了置换。

3.10贮备吸气特性：

吸气剂吸了选定的气体并达到终端吸气速率，经过再激活，吸气剂吸了该气体所具有的吸气量和吸气速率。

3.11流量（Q）：

在选定温度，气体在单位时间（秒）流经过某一平面区域的量（体积）。

测量单位为：

托·升/秒，帕·米3/秒

3.12分子流范围：

真空系统内的真空度（压强）范围，分子平均自由程大于真空容器内壁最大距数倍。

在高真空条件下，真空度越高，容器内分子数量越少，在热运动时互相撞击的几率越小，一个分子可自由移动距离（自由行程）也越大而受不到另一个分子的撞击。

在这种分子流范围条件，气体流动速度并不受分子间碰撞的影响，而取决于分子与容器壁碰撞的概率。

分子流范围简而言之，容器内的真空度范围，使得分子与容器壁碰撞概率大于分子间碰撞概率，在真空系统内，由于真空度（压强）差引起的气体流动速度与管道壁间距（内径）有关，分子流并不需要各个方向一致相同。

3.13流导值（F）在稳定状态，系统中二端的压强差（P2-P1）与气体流量Q之比。

在分子流范围，压强差（P2-P1）与气体流量Q成正比。

F=Q/（P2-P1），P2为上游压强，P1为下游压强，流导值F与试验气体的分子量、温度、流导值的形状、孔径有关。

3.14吸气剂材料

3.15活性吸气材料：

元素、合金、化合物或混合物能产生吸气特性。

3.16吸气剂中杂质：

一些元素或化合物能够或不能影响吸气特性，用重量百分比表示。

3.17污染：

吸气剂对真空系统或器件的污染行为。

3.18中毒：

吸气剂周围如真空系统、器件对吸气剂形成的不利影响。

3.19吸气剂支体：

用于支持或装载吸气剂的机械部件。

3.20吸气剂测试室：

吸气剂特性测试仪器设备中放置吸气剂式样的容器。

3.21吸气速率：

以质量表示的吸气速率，单位时间吸收的气体量。

4.危害

4.1吸气材料与其有关设备等所能引起的危害，如中毒、燃烧、破裂、爆炸、电磁辐射等事故应有受过专业训练的人员进行处理。

对具有腐蚀、毒性气体或流体，粉尘固体物，易燃气体，应有明显的安全警示标记。

4.2吸气剂处理的安全防护建议应该研究和防护吸气材料及有关物质对人员的伤害，如吞食、呼吸吸入、皮肤接触、辐射等。

良好的吸气剂生产过程一般是相当安全和容易处理的。

大多数非蒸散型吸气剂是金属粉末，在空气中当室温或者温度略高时会引起自燃灼烧。

自燃灼烧会引起着火和产生气溶细粉尘而随呼吸被吸入，粉末的自燃性与吸气剂的组成和粒度有关。

4.3商品销售吸气剂：

生产厂的产品说明书中应该提供安全处理指导，有关于吸气剂的托运，清洁，操作。

吸气剂与一些酸、碱或有机物，氧化剂的放热反应，会产生灼烧等危险和伤害。

4.4吸气剂的试制与工业生产非蒸散型吸气剂一般是由金属粉末加工制成的。

操作人员应得到安全处理细活性粉末的技术培训。

金属粉末能产生爆炸、灼烧，损害眼和肺。

提高晶体，采取必须的措施和防护器材，避免事故的发生。

5.测试样品----激活和特性

5.1测试样品通常是商品的非蒸散型吸气剂，主要的组成是活性材料、载体或容器、支架等

5.1.1非蒸散型吸气剂能加工制成不同的类型和形状。

活性吸气材料能被加工成碎块、粉末、片、带、环或线、丝等形状。

挤压入适当容器。

压制成圆片，烧结，焊接在支架上，或形成复合层附在基体上。

5.1.2活性金属特性非蒸散型吸气剂的特性是吸气速率、吸气容量、最佳的操作温度和激活参数（时间—温度），吸收的气体（测试气体）。

标准测试气体是氢气和一氧化碳。

氢与吸气剂的作用是可逆反应，而一氧化碳与吸气剂作用是不可逆反应。

但是这二种气体并不是代表其他气体或气体混合物（如空气）的吸气特性。

5.2吸气剂的处理

5.2.1应使用清洁的工具来操作吸气剂（如使用手套）

5.2.2吸气剂应该储存在干燥清洁无粉末的环境中，如采用真空干燥器皿，包装袋，或充以惰性保护气体。

5.3吸气剂激活

5.3.1激活条件参数是温度、压强、时间和加热方法。

吸气剂生产厂应提供不破坏吸气特性的最高可允许的温度和压强。

激活应在高真空条件下进行的。

在1×10-6torr（1×10-4Pa）或更低压强，以保护吸气剂。

激活可分为二种类型。

第一种类型是测定吸气剂应有的吸气特性，激活条件是按生产厂提供的近似最佳的规定条件。

第二种类型测定目的并不是吸气剂应有吸气特性。

激活条件不采用规定最佳条件，而是按吸气剂使用条件确定。

在所有状况下，为了获得正确的测试数据，真空系统操作、烘烤、真空计校准和激活条件都应谨慎细心的操作。

非蒸散型吸气剂的激活是把吸气剂加热到激活温度和保持激活时间。

激活温度和时间是与吸气剂材料和加热方法有关。

5.3.2激活可采用感应加热，电阻加热，辐射和热传导加热，电子束加热等。

在激活过程中必须检测和控制样品温度，可采用热电偶，温度传感器。

5.4吸气剂的认证

5.4.1吸气剂样品应采用生产厂命名的型号、规格

5.4.2样品应记录生产厂生产的批号、生产日期。

由生产批号和日期可跟踪查索主生产质量控制过程以致到原材料。

6.非蒸散型吸气剂的动力学吸气特性

6.1吸气元件的吸气效应是由吸气速率与吸气容量测定的。

动力学测定过程是:

吸气剂在激活后，处于该室的测试温度，控制吸气剂表面上恒定的压强）（Pg），在分子流条件下，测定气体的瞬间流量（Q），计算吸气速率（G），积分累加计算吸气量（C）。

瞬间流量（Q）的计算是由气体通过已知流导值（F）的流导毛细管二端的压强差（Pm-Pg）,Q=F×（Pm-Pg）。

把整个测试时间中各瞬间流量Q累加即为吸气量C。

标准气体是氢和一氧化碳，代表可逆与不可逆吸气。

其它气体特性的测定是根据需要来进行的。

吸气特性的测定有三种不同的应用方面：

基本研究、吸气剂在特殊真空元件中性能测定和吸气材料的比较。

在基本研究中，需要进行吸气机理，活化能的计算。

测试应控制吸气剂处于很顶压强。

因为气体扩散进入吸气体块内是速度控制因素，而且扩散过程与压强和温度有关。

在大多数测试情况中，总让吸气剂控制在恒定压强（Pg）。

值得注意的，吸气剂释放气体的测试中，亦可处于恒定的压强（Pm）或恒定的流量，然而测试结果一般是不可比较的。

6.2注意事项

6.2.1进行吸气特性测定时，应按下列各项要求执行

6.2.2测试气体中杂质和仪器漏放的气体都会影响吸气特性测试结果。

通常测试气体纯度至少为99.99%。

测试仪器应能达到极限压强低于1×10-8torr（1×10-6Pa）。

在实际上，需要具备烘烤炉。

真空泵选择具有较小活性的如具有冷阱的扩散泵或涡轮分子泵。

泵对真空系统和测试气体的抽气速率需大于已知系统的流导值。

吸气剂样品和真空计测量规需远离加热部位。

6.2.3真空计测量Pg和Pm的测量应采用Bayert-Alpert型。

最大的电离电流为10μA。

应选择低温电子发射（即冷阴极）。

若在样品测试进行激活之前，充入测试气体进行真空计校正饱和之后，而没有发现真空规放气，真空规的离子电流虽然比较大，也是可以使用的（参阅本标准6.5.4节）。

真空规的放气速率应小于吸气剂终端吸气速率的5%。

真空计应用标准的真空计和规进行校准。

真空规电极的过量放气会引起校准过程中漂移。

6.2.4流导值的选择是与吸气剂类型（可预计的吸气速率）和测量系统有关。

流导值F必须使测试气体通过流导管测试开始时（初始吸气速率）Pg值保持恒定，并充分的低，有足够的测量精度。

而且在测试终端吸气速率为Gt=0.05Gi时，读出的Pm值有足够的精度。

流导值F，必须满足在吸气剂样品上压强有足够的测量精度应大于残余（漏放）系统压强。

6.3动态吸气特性测试仪器如图1所示。

在测试过程中，旁通阀V1是关封的。

充气微调阀V2控制在样品吸气剂上处理恒定的压强Pg。

过剩的充入测试气体由真空泵抽出，因此通过流导管进入样品室内测试气体与在恒定压强Pg下吸气剂吸气量达到平衡。

阀V3是真空系统的隔离阀，用于测定真空系统的漏放率。

图1动态吸气特性测试仪器图2大表面积吸气剂的图3适用于表面和体积吸气剂动态吸气特性测试仪器的通用吸气特性测试仪器

图1注意1：

测试气体进入应满足：

（1）至达吸气剂表面前需先撞击至吸气室壁上，均匀散开。

（2）应先流至吸气剂，然后到真空规探头

注意2吸气剂与测试室之间的流到值应尽可能大，以消除压强分布不均的压强差。

图3注意：

无脂球阀V1是有磁铁开关的，关闭时，处于流导管流通的，打开时，处于旁通。

图2和图3表示用于测定不同类型吸气剂的真空系统。

6.4测试工作参数的选择

测试仪器应根据吸气剂样品的吸气特性（吸气量C，初始吸气速率Gi）来设计选择流导管的流导值F和真空规Pg、Pm的量程和精度。

真空系统的漏放率也应远低于终端吸气速率GT，以保持较小的误差。

6.4.1初始吸气速率Gi可采用生产厂提供的在设定操作温度的初始吸气速率Gi值。

6.4.2在吸气剂表面的压强Pg可以由初始吸气速率Gi和总吸气容量C来合理的估计。

（1）

为了便于大量简化积分式计算。

G（t）函数在测试开始时为初始吸气速率Gi,t=0,G（t0）=Gi

在测试终端时，为终端吸气速率GT≈0.05Gi≈0近似为“0”.

T=tT,G（tT）≈0

假设，G（t）函数是线性（直线）地关系时，t=0至t=T.由Gi下降至近似“0”。

因此Pg在测试过程为恒定值。

即Pg*t=2C/Gi

（2）

由式

（2）可知测试时间t小，则Pg值增大。

实际上希望Pg值应接近拟预计的使用操作压强。

由于吸气及块吸入测试气体过程控制因素是扩散，为了达到平衡，总测试时间t至少应在3小时，t=10800秒

则Pg=2C/t*Gi=C/5400Gi（3）

若无指导数值，Pg值可选择1×10-5和1×10-6Torr之间（1×10-3和1×10-4Pa之间），最佳选择Pg值为3×10-6Torr（4×10-4Pa）

6.4.3在开始测试时，进气室压强Pm与样品室压强Pg之比Pm/Pg至少应大于40。

使得在测试终端吸气速率GT（~0.05Gi）时，其Pm与Pg值之差仍有适当精度可读出数值。

测试开始时，进气室最大压强Pm值必须处于真空规测量范围内，并保持在分子流状态。

6.4.4流导管的流导值必须小于真空系统的流导值。

系统流导值与测试流导管的流导值之比要大于100。

当测试接近终端时，Pm压强值近似于最小值。

并且接近Pg压强值。

因此，在流导管二端的压强差（Pm-Pg）测定值的精确度和零点漂移，Pm和Pg二个真空规之间校准或为主要测量误差源。

测量过程中，接近终端时Pm和Pg的最小比值选择在2与10之间是合理的。

（Pm-Pg）F=G*Pg（4）

至终端吸气速率，G=GT=0.05Gi

RPg=Pm

则：

（R-1）Pg*F=0.05Gi*Pg（5）

F=0.05Gi/（R-1）（6）

因此可按初始吸气速率Gi和真空规Pg，Pm可读出精度的最小比值R=Pg/Pm（2至10之间）来预计流导值F。

6.4.5图4表示R=Pm/Pg、吸气速率G和流导F之间关系，可以用图示的方法，由最初始吸气速率的Gi值和Pm/Pg比来预计流导值F和初始与终端时的Pm压强值。

例如，Gi=10L/S和R=Pm/Pg=40。

按图4横坐标G=10，与纵坐标R=40相交处流导值F曲线为0.25（F=0.25）。

若测试时控制Pg=3×10-6torr，则初始Pm=R*Pg=40×3×10-6=12×10-4torr。

而终端吸气速率GT可预计为GT≈0.05Gi≈0.5L/S,在图4横坐标0.5处，与F=0.25曲线相交处的纵坐标R=Pm/Pg=3,在2.5与10之间是适宜的，终端处的Pm值为Pm=3×3×10-6=9×10-6torr。

6.4.6在测试开始时，吸气速率处于最大，测得Pmi亦是最大的。

（Pmi-Pg）*F=Gi*Pg（7）

由上述方程式（6）F=0.05G/（R-1）和方程式（3）Pg=2C/t*Gi

则Pmi=40（R-1）*C/t*Gi

若测试过程为3小时，t=10800秒

Pmi≌（R-1）*C/270*Gitorr

图4在各种流导情况下吸气剂的多项压力比（Pm/Pg）与吸气速率关系曲线

6.5测试操作

6.5.1把吸气剂试样放置在动力气体吸气测试仪的样品室内，注意保持清洁。

6.5.2真空系统进行抽真空，并进行烘烤除气，使真空系统达到低于1×10-8torr（1×10-6Pa）在冷却到室温后，在烘烤过程中，必须检测吸气剂样品的温度，防止过热出现部分激活或氧化。

6.5.3真空系统的漏放率（漏气、放气）应控制在远小于吸气剂的终端吸气速率GT=0.05Gi的吸气量GT*Pg。

在测试前进行漏放率的测定，关闭隔离阀V3使真空测试系统隔离真空泵抽气。

测定Pg值随时间上升的变化值dP/dt,已知样品的测试室的容积VT，计算漏放率QL=VT*dP/dt=VT*（Pg2-Pg1）/Δt,漏放率QL应远小于终端吸气速率GT时吸气量GT*Pg.

GT*Pg>>VT*dP/dt（9）

则0.05GiPg≥100VT*（dP/dt）（10）

按吸气量C和初始吸气速率Gi来计算，因Pg=2C/tGi

则0.05Gi*Pg=0.1C/t代入（10）式

0.1C/t≥100VT*（dP/dt）（11）

或dP/dt≤C/1000*t*VT

必须指出，高的Pg值和较短的测试时间t是不恰当的。

对于3小时的测试时间

T=10800秒，则漏放率应满足下式：

Dp/dt≤（C/1.08VT）10-7torr.s

当漏放率达到上述要求后，打开隔离阀，真空泵重新对真空系统抽气，并对真空规脱气。

6.5.4在进行测试前，需要对Pm、Pg进行相对校正比较。

用测试气体充入真空系统预先饱和真空规和真空系统内壁，以减少真空规和壁对测试气体吸收的影响。

逐渐地充入测试气体，当真空规不再吸气，对真空规进行比较校正，利用已校正过的Pg规对Pm规进行校准，校准范围应该于测试开始时最高的Pm值到终端的最小值PmT值，在真空度每一数量级10-2，10-3，10-4，至少校准测试三个数据点。

常用的麦克劳计和容量计在测试仪上进行校准是不能的。

气体流量是用流导值F和流导管二端压强差（Pm-Pg）计算的，因此Pm、Pg规的零点校准和斜率的比较校准是比较重要的。

虽然并不是每次测试都需测定和校正，但在真空规使用一定时间后必须校准的。

6.5.5吸气剂激活

6.5.5.1真空系统、样品室Pg应小于1×10-6torr（1×10-4Pa）

6.5.5.2按吸气剂生产厂提供的激活参数温度和时间，加热吸气剂进行激活

6.5.5.3在激活过程中检测Pg规的压强变，在不同时间进行记录，并注意放气的最高压强值和时间。

这些数值反映了吸气剂的气体含量。

6.5.5.4冷却吸气剂至测试温度。

真空系统达到测试条件后，启用流到管。

充入测试气体，在尽可能短的时间内（小于60秒）使Pg稳定在控制的恒定值。

立即开始记录Pm值，随不同的变化，当吸气速率下降到由初始吸气速率Gi计算的GT=0.05Gi时，可结束测试。

终端吸气速率GT时的Pmi值可从图4表示的已知流导值和初始吸气速率Gi来计算。

6.6吸气速率G，瞬时流量Qi和吸气量C的计算值

Qi=F（Pm-Pg）（13）

=GPg

在平衡时，流过流导管的气体流量等于吸气剂吸入气体量

G=F（Pm-Pg）/Pg

（14）

采用数值累积计算方法

Qi:

瞬时吸流量torr﹒L/S（Pa﹒m3/S）

F:

已知流导值L/S（m3/S）

Pm:

进气室压强torr（Pa）

Pg:

吸气剂压强torr（Pa）

G：

吸气剂吸气速率L/S（m3/S）

C:

吸气量torr﹒L（Pa﹒m3）

6.7测试报告

6.7.1吸气剂的吸气速率和吸气量是按上节6.6所述方程式（13）、（14）、（16）来计算的。

吸气速率G是吸气量C的函数，在双对数log-log坐标系，以吸气速率G为纵坐标。

吸气量C为横坐标，绘制出G-C特性曲线。

图5与图6表示不同类型的吸气剂G-C特性曲线。

大表面积吸气剂，表面积型、体积型吸气剂。

在G-C特性曲线中，应列出吸气剂类型（表面积、体积型）、吸气测试温度，测试气体，吸气剂吸气压强（Pg）、流导值（F）、吸气剂表面积和质量。

吸气剂的型号、生产日期、样品号和测试时间亦应列入。

6.7.2图7列出测试报告中应报告的各项内容。

吸气速率G，吸气量C，在测试报告中顺用单位表面积式计算单位质量来归一化吸气速率和吸气量依据吸气剂的类型来选择。

表面积类型吸气剂（如片、带型）按单位表面积表面吸气速率G（L/S﹒cm2,m3/S,cm2）,吸气量C（Pa﹒L/cm2,Pa﹒m3/cm2）。

体积型吸气剂（如压块）按单位质量表示吸气速率G（L/S﹒g,m3/S﹒g）,吸气量C（Pa﹒L/g,Pa﹒m3/g）。

图5吸气速率G与吸气容量C（大表面积吸气剂）

图6表面积型吸气剂与体积吸气剂，吸气速率G与吸气容量C

图7测试报告

产品名称、型号

生产批号

生产日期

供销序号日期

用户批号

吸气材料几何表面积cm2（m2）

活性材料质量g（kg）

吸气剂测试参数

流导值L/S（m3/S）

测试气体纯度%

吸气剂上压强（Pg）torr（Pa）

吸气操作温度℃

7.吸气剂的气体含量

本节内容对于吸气剂用于气体纯化，多次重复进行吸气剂的激活—吸气—激活放气—吸气过程是重要的。

但对于一般一次性吸气过程的吸气剂来说是可以不考虑的。

7.1对于所有类型非蒸散型吸气剂要定量和再现性良好的测定吸气剂所含总气体量是十分复杂的。

对于某些非蒸散型吸气剂材料（如锆、钛等）氢的含量是相对较容易测定的。

而其它一些气体（如氯、氟、硫等）是需要使用十分精确仪器测试。

吸气剂所含的总氢量是不能精确测定。

然后吸气剂在加热激活过程中所释放出氢是正比于吸气剂总氢量，对于设计气体纯化系统和控制吸气剂再激活历程是有用的。

测定氢气含量也能用于生产吸气剂的质量保证系统

7.2方法综述氢气含量的测定是把吸气剂在真空系统中缓慢的由室温加热到激活温度，把加热，保温过程中释放的气体（氢气），收集排放到已知容积VR处于室温的储气室中，记录压强变化ΔP=P2-P1

按VR﹒ΔP计算释放的气体量，若一次释放的气体量太大，可分几步收集释放的气体（或减少样品量）。

7.3注意事项

7.3.1在测试过程中，吸气剂样品必须保持在激活温度，而不允许出现部分冷却，否则在冷却时吸气剂样品含吸收部分释放气体。

7.3.2在测试过程中，冷阱中应充满液氮保持低温，以选择除去可冷凝的气体如（水蒸汽）。

7.3.3样品测试室的内径约为样品宽度的2至3倍，以防止在激活加热时，样品室壁过热而又要样品室容积较小使释放气体仅较小部分留在样品室。

样品室的受热与较小容积之间求的较适宜的条件。

7.3.4用感应加热激活样品时，要防止等离子放电。

7.3.5强制进行真空规的校正

7.3.6吸气剂温度测定精度应达到±5℃。

铬-铝热电偶，直径0.2至0.3mm是适于使用的。

热电偶不应与吸气剂形成合金。

并有最小导热性。

7.4测试仪器典型的氧含量测试仪器示意图8.吸气剂样品S放置在测试室T内，被激活放气。

测试室T的容积VT已知，并可用隔离阀与真空泵系统隔离。

下述的试验和测试是在玻璃制仪器进行的。

测试系统有三个真空规，一个通常的离子规G1，和二个气体计量测试真空规G2和G3，三个规都应有较快的响应时间，具有随时稳定校准，并且可以反复地暴露在空气中。

气量计测试真空规G2、G3适于采用皮拉尼容量计或麦克劳真空规。