电子工业职业安全卫生设计规定SJ30021.docx

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电子工业职业安全卫生设计规定SJ30021

电子工业职业安全卫生设计规定SJ3002-92

1总则

2.3厂区布置

2.3.1电子工业工厂的总平面布置，应根据各类工厂的生产性质、工艺特点、建筑类别、人流物流、防火、卫生等技术要求，结合地形、地质、气象等自然条件合理进行布置。

2.3.1.1改善原有不合理的布局和不良的生产条件；

2.3.1.2减少对现有生产影响；

2.3.1.3合理利用旧有建筑物及有关设施。

2.3.2厂区应根据生产、工艺特点，按功能分区布置。

一般可分为：

厂前区、主要生产区、辅助生产区、仓库区和动力区。

2.3.3工厂主要建筑宜呈南北布置。

应有良好的通风和自然采光。

2.3.4工厂入口宜人物分流。

厂区主干道。

应将主要人流与较大物流。

2.3.5由厂部办公室、多层厂房、厂区主入口等组成的厂前区，宜置于厂区最小频率风向的下风侧。

2.3.6显象管涂敷、总装、电子枪装配，集成电路制版光刻等对洁净度要求较高的主要生产厂房，宜布置在厂区最小频率风向的下风侧，并应在四周留有绿化场所。

2.3.7电镀、酸洗、喷漆、制版、配料、铸锻、热处理等会向大气中排出有害气体、蒸汽、烟雾、粉尘、臭气的生产厂房，应布置在厂区最小频率风向的上风侧，并应与厂前区、洁净度高的厂房以及人流密集处留有一定的防护距离。

2.3.8放散大量余热的车间和厂房，宜采用单层建筑。

厂房四周不宜建披屋；确有必要时，应避免建于夏季主导风向的迎风面。

2.3.9厂区内主要噪声源，宜相对集中，远离厂内外要求安静的区域。

2.3.10仓库区的布置应避开人流通道，靠近生产区及货运入口，并应留有足够的货物装卸和汽车回转场地。

2.3.11汽车库宜布置在厂区的边缘，避开人流密集处。

有条件时，可社专用入口或利用货运口出入口。

2.3.12化学危险品库、油料库应布置在厂区最小频率风向的上风侧及边远地区，应远离火源，并符合国家现行有关防火规范的规定。

2.3.13对于氢氧站、氮氧站、油库、液化石油气站、锅炉房等发生火灾、爆炸危险性大的动力站房，应布置在厂房最小频率风向的上风侧。

氢氧站、氮氧站、油库、液化石油气站等，应设置围墙和专用出入口。

各类气罐、气柜、气瓶库，应布置于厂区最小频率风向的上风侧和烟囱最小频率风向的下风侧，并应按国家现行有关规范要求留有必要的消防间距。

2.3.14      玻璃溶解生产有含铅烟气排出时，厂房外应有足够设置净化装置的场地。

2.3.15      工厂电源配（变）电所应布置在厂区用电负荷中心、高低压线进出方便及远离人流密集的地方，应与散发烟尘、酸气的厂房有足够的防护距离。

对于大容量的总降压站、开关所，尚应在其周围加围墙。

2.3.16      对于含氟、含铬、含镉、含氢氟酸以及含各类酸碱等废水处理建（构）筑物的布置，应靠近污染源，远离水源构筑物及空调气入口，四周应留有必要的卫生防护距离。

2.3.17      厂区道路布置应符合国家现行防火规范、《工业企业厂内运输安全规程》和《厂区道路设计规范》的规定。

主要生产厂、仓库、区动力区的道路，应呈环形布置。

厂区尽端式道路，应有足够的消防车辆回转场地。

2.3.18      厂区道路两侧植树不应妨碍行车安全。

道路上部管架和栈桥等障碍物，在干道上的净高不小于4.5m,对于通过集装箱车辆的道路不应小于5.0m。

2.3.19      工厂铁路专用线设计，应符合国家现行《工业企业标准轨距铁路设计规范》的规定，不宜与人行主干道交叉；与道路交叉处，应设平交道和标记；人流密集处应设防护栏。

2.3.20      厂区应进行绿化。

应在道路及围墙沿线植树，空地上种植灌木、乔木和草皮。

厂前区可布置花坛、水池以及厂标、雕塑等建筑小品。

2.4生产工艺与设备的选择

2.4.1工程设计应采用合理的生产组织、先进的工艺流程及生产技术，将危险和有害因素减至最低程度。

2.4.2在保证产品质量的前提下，应简化生产工艺，宜采用无毒无害或低毒低害的原材料，采用不产生或少产生危险和有害因素的新技术、新工艺、新设备。

2.4.3电镀、喷漆、印制电路版、热处理、氢氧、氮氧、氧气、煤气、乙炔、液化石油气生产等，危险和有害因素严重又难以治理的工程项目，宜组织专业化协作或适当集中。

2.4.4电子工业生产中，不宜使用氟氯氢作为溶剂、制冷剂、和灭火剂。

2.4.5对于危害严重的生产过程和设备，应根据具体情况提高机械化、自动化程度或采取隔离措施、密闭式生产。

2.4.6对于劳动强度较重的装卸运输以及生产过程中的半成品、成品宜机械化、半机械化。

2.4.7设备的选择应符合先进适用、安全可靠和经济节能的原则。

凡危险度比较大或事故率高的生产设备，均应选用带有安全设施并具有生产许可证的产家的产品。

2.4.8非标准设备设计,必须符合国家有关生产设备、电气设备、压力容器设备安全设计标准的规定。

2.4.9常有各种机械传动装置的非标准设备及联动生产线的设计，其机械传动装置必须同时设有防护罩。

凡人员必须跨越或从下通过的联动生产线、有危及人员安全的部位，应设置防护罩或固定安全桥。

安全桥应设防护栏。

2.4.10机械设备防护罩，应符合国家现行《机械防护罩安全要求》的规定。

2.4.11输送有毒、有害、易燃、易爆、高温、高压及有腐蚀性气体或液体的管道、管件、阀门，其材质、连接方法等，必须分别有密封、耐压、防腐蚀、防静电等相应措施。

2.5厂房布置

2.5.1厂房布置应按工艺要求做到：

安全卫生，工序衔接紧密，物料传输距离短，操作检修方便。

2.5.2电镀、酸洗、热处理、配料及外延、扩散等腐蚀性、毒气、粉尘危害比较严重的工序，应与其他的生产工序隔开布置。

不同有害生产之间应互相隔离。

2.5.3危害相同的生产，宜集中或相邻布置。

2.5.4对于热加工、散热设备的布置，当厂房设置天窗的时候，应布置在天窗的下面。

2.5.5厂房内应设有原料、废料及成品的存放场地。

2.5.6厂房内高噪音生产与低噪音生产分开布置，并宜布置在单独的隔间内。

2.5.7对于多厂房，放散热和有害气体的生产应布置在建筑物的上层。

必须布置在下层时应采取措施防止污染上层的空气。

2.5.8厂房内各种管线及风道、管沟等的布置，宜集中平行排列。

地下管沟应避免平面交叉。

难以避免时，必须做好防水处理。

2.6建筑设计

2.6.1工程建（构）筑物设计应符合国家现行有关建筑物结构及防火设计规范的规定。

2.6.2一般厂房建筑应具有良好的通风和自然采光。

2.6.3位于炎热地区的工业辅助建筑，宜采用通风屋顶；如条件限制，可采取其他隔热措施。

2.6.4建（构）筑物设计，应在高温和低温部位设置隔热措施；易腐蚀的部位应采取防腐蚀措施；易受油浸蚀处应采取相应的防油措施。

2.6.5对于生产有毒和有害物质的产房，厂房内部应采取便于清扫、刷洗以及防止毒物附着和积蓄的措施。

2.6.6对拟利用的旧有建筑物、构筑物，应加以安全复核。

必要时应采取相应的措施方能利用。

2.6.7厂房内架空平台、走道、钢梯的设计，应方便生产操作和检修，应符合国家现行《固定式工业平台》、《固定式工业防护栏杆》、《固定式钢直梯》、《固定式钢斜梯》等标准的规定。

2.6.8凡使用直梯的场所应采取相应的防护措施。

相邻两层的直梯宜错开设置。

2.6.9厂房（建筑）管道夹层的设计，应考虑安装、检修方便和安全，并采取必要的通风、采光和防火措施。

2.6.10厂房内的各种明沟道，应加设盖板。

2.6.11动力机器基础宜设计为整体结构，应符合国家现行《动力机器基础设计规范》的有关规定。

2.6.12地震及湿陷性黄土地区的建（构）筑物安全设计，应符合国家现行《工业与民用建筑抗震设计规范》与《湿陷性黄土地区建筑设计规范》的有关规定。

2.7辅助卫生设施

2.7.1电子工业企业应按其生产性质、人员编制以及实际需要和使用方便的原则，根据国家现行《工业企业设计卫生标准》设置浴室、更衣室、洗衣房、开水间、休息室、厕所以及妇女卫生间等。

2.7.2生产过程中工作服污染严重、沾染易经皮肤吸收的剧毒物质、洁净度要求严格的厂房或车间，应设置洗衣房。

2.7.3最大班女工在100人以上的工厂,厂房,车间,应设置妇女卫生间,且不得与其他用室合并设置.

2.7.4全厂女职工人数在100人以上的工厂,应设置乳儿托儿所.

乳儿托儿所的位置,应在女工比较多的厂房附近,但不得设在有危险和放散有害物质厂房最大频率风向的下风侧.建筑应保证有充足的日照和良好的通风,并应有户外活动场所.

2.7.5          辅助卫生用室的位置，应避免有害物质、高温等有害因素的影响。

3.3化学工艺安全

3.3.1凡使用酸、碱或有机溶剂进行化学清洗的设备，必须装设局部排风系统。

使用三氯乙烯等有毒溶剂进行清洗的设备，尚应采取密闭措施。

凡使用电气的化学清洗设备，必须有良好的接地。

3.3.2彩色显象管用荧光粉生产中的硫化氢储罐室，应设置硫化氢气体报警装置，并与事故排风机联锁。

硫化氢控制室应保持正压。

硫化氢植被反应釜的加料与放料操作，应与反应釜搅拌机联锁。

加料后启动，放料前关闭。

3.3.3荫罩生产中的液氯罐储存间，应设置氯气报警装置，并与事故排风机、废气处理装置联锁。

排风吸口应靠近地面。

储存间内应设起重设备及稀碱液池，池的深度应能浸没液氯罐。

3.3.4使用酸液量大的生产，宜采用管道输送酸液。

管道应采取防腐蚀防泄露措施。

3.3.5凡使用氰化物的生产工艺，其排风排水系统必须与酸性排风排水系统严格分开。

3.3.6因生产事故可能发生化学性灼伤的工作间，应设置紧急冲淋装置及洗眼器，并保证不间断供水。

3.4机械加工安全

3.4.1机械加工宜采用自动化、或自动或半自动机床、数控机床、加工中心、重件机械化翻转吊运装置和切屑清理机械化装置。

3.4.2机床布置应利于采光，操作人员不应受日光直射。

为防止零件或切屑等甩出伤人、冷却液飞溅影响其他设备工作，必要时应设置挡板。

3.4.3木工机械必须设置安全防护装置，应有送料夹具或推板。

3.4.4各种碾压机械的施压部分，应安装可靠的安全装置。

3.4.5压力机宜采用进出料机构代替手工操作。

当只能手工操作时，应采取安全措施。

3.5热加工安全

3.5.1玻璃池炉、隧道窑、退火炉、烧结炉等使用的液体或气体管路，应根据不同情况设置减压阀、安全阀、自动调节系统、锤峰口、取样口、报警显示和自动切断装置。

窑炉工作区应设置防火、防毒、防爆等设施。

3.5.2窑炉等加热设备应进行隔热。

人可能触及的设备表面温度不得超过50度。

否则应加隔热保护装置。

3.5.3电焊作业点宜隔离。

小件焊接宜设置固定作业点。

无条件时也宜设置屏障，其高度不得小于2m,并距离地面有50~100mm的间隙。

3.5.4气焊、气割宜采用瓶装溶解乙炔；无条件时可采用乙炔发生器，但必须带回火防止器和防爆装置。

乙炔发生器宜安装在室外或通风良好的场所，禁止安装在明火的车间内。

3.5.5铸造车间设备的安全，可按照《机械工业职业安全卫生设计规定》的有关条文执行。

3.5.6玻璃池炉应设置放料溜槽，在槽边设置冷却水供应点，并应在附近设置消火栓。

3.5.7注塑机按钮台上应设置紧急停止开关；加热装置应绝缘可靠，裸露的电阻丝必须设置防护措施。

3.8化学危险品的储存与输送

3.8.1化学危险品的储存与输送，应符合国家现行《化学危险品安全管理条例》的规定。

3.8.2化学危险品必须存放在专用仓库、专用场地或专用储存室（柜）内，并由专人管理。

3.8.3化学危险品应按其类别、性质、分类、分堆、分间储存。

性质相抵触的化学危险品严禁混放在一起。

3.8.4化学危险品库建筑设计，应符合安全、防火规定。

应采取隔热、通风、防止阳光直射措施，保证库内空气流通、干燥凉爽。

应避免可燃气体积聚，并根据物品的种类、性质，采取相应的防爆、泄压、防火、灭火、防雷、报警、调温、防潮、消除静电、防护围堤等安全措施。

3.8.5化学危险品库建筑耐火等级不应低于二级，防火间距不应少于30m。

消防通道必须保证畅通。

3.8.6易燃易爆品库房不宜安装电器设备，必须装设时，应采用相应等级的防爆电器及照明设备。

3.8.7储存或输送化学危险品的设备、管理及附属仪表、器材等，应根据危险介质的特性，采取必要的防泄漏、防腐蚀的措施。

输送腐蚀性较强液体的管道，不应敷设在其他管道的上方，并不宜直接埋地敷设。

3.8.8储存具有较强腐蚀性液体的设备应设置必要的防溢出、防渗漏紧急处理设施。

其基础及周围地面，应设置防腐蚀处理。

3.8.9对于输送具有较强腐蚀性的液体的化学药剂泵，在其填料函或机械密封圈、法兰、阀等易喷射泄露处，应设置适当的安全防护罩。

3.8.10储存腐蚀性或有毒介质的设备、管道放空时，应加以收集或处理，不得任意排放。

3.8.11储存氧化剂、易燃易爆物质的库房，应采用易于清洗、撞击或摩擦时不会产生火花的地面。

4.2水处理站

4.2.1纯水站、软化水战和废水处理站的酸碱储存设备，应有防腐蚀、事故排放等安全措施，并应有检修和清洗措施。

装卸和储存设备附近应设防围堤，并应设置紧急喷淋和洗眼设施。

4.2.2酸碱贮存槽，计量筒等顶部应设置酸雾吸收器或通气管。

4.2.3装卸或输送浓酸碱液体时，宜采用负压抽吸、泵输送或自流方式。

当采用压缩空气输送时，应有减压和稳压装置，酸碱罐的耐压强度应经过测试。

4.2.4需加氯消毒处理时，加氯间应与其它工作间隔开，应设有下列安全措施：

4.2.4.1应设直接通向外部的门，门应向外开；

4.2.4.2应备有带氧气瓶的防毒面具；

4.2.4.3加氯机、动力盘等不宜与氯瓶布置在同一房间内；

4.2.4.4加氯间内应采用防腐灯具。

4.2.5加氯间和氯库应设置机械通风，换气次数每小时不应小于8次，通风和照明的开关应设在加氯间外。

加氯间应与经常有人工作的车间和居住房间保持一定的距离。

加氯间和氯库内宜设置测定空气中氯气浓度的仪表和报警措施，并与排风机联锁。

4.2.6经常有人通行的地方，酸碱液管道不应架空敷设。

如架空敷设时，必须采取防护措施了。

4.2.7在地面上不便操作检修的水处理设备和阀门处，应设置扶梯、平台。

设备、阀门较重时，应设置起吊装置。

4.2.8水泵、压缩空气机、鼓风机等高噪声设备，宜布置在单独隔间内，并采取消声、隔振措施。

5防暑降温

5.1一般规定

5.1.1电子工业生产中，电子元器件、电子材料、电子玻璃、电子陶瓷、磁性材料，以及铸造、锻造、热处理、动力站等生产高温区，应采取防暑降温措施。

该类车间或生产工段必须从工艺、总图、建筑和通风等方面采取综合性预防和治理措施。

5.1.2热源布置应符合下列原则：

5.1.2.1热工件宜放在车间外面；

5.1.2.2热源宜布置在天窗的下方；

5.1.2.3厂房通风以穿堂风为主时，热源宜布置在夏季主导风向的下风侧；

5.1.2.4便于对热源采取隔热措施；

5.1.2.5便于对热作业点降温；

5.1.2.6发热设备，在不影响工艺及流水线生产时宜集中布置。

5.1.3采用自然通风为主的车间，宜按夏季有利方位布置，主要进风侧不得加建进风的辅助建筑物。

5.1.4高温车间宜采用避风天窗，端部应予封闭。

天窗与侧窗宜设开闭机构。

5.1.5夏季自然通风的进风窗，其下沿距室内地面的高度应在0.3～1.2m。

自然通风窗应有足够的开启面积。

5.1.6高温车间的屋架下弦高度：

有桥式起重机情况下，应不低于8m；无桥式起重机情况下，应不低于6m。

5.1.7车间内工作点和工作区的夏季空气温度，应符合国家现行《工业企业设计卫生标准》的规定。

5.2防暑降温措施

5.2.1长时间内直接受辐射影响的工作区，当辐射照度在350w/m2以上时，应采取隔热措施；受辐射热影响较大的工作室，也应采取隔热措施。

5.2.2封口机、排气机、老练机、熔接机、烤管机、烧氢装置、高压釜、热处理炉、退火炉、烧结炉等设备和钨钼生产热加工区，应采用通风排热措施。

5.2.3玻璃池炉、熔铅装置、敷铜箔板厂层压机、大型烘箱、耐火材料预热炉等工作区，宜采用天窗或高侧窗排热。

工作区应有良好的自然通风。

热源区与非热源区，宜采用隔热墙隔开。

5.2.4中心实验室的热工间，宜采用全面通风，工作点宜采用风扇，散发热量的设备可采用排风罩。

5.2.5热处理高频间除局部排风外，尚应有全面通风。

5.2.6玻璃压机、大型炉窑等高温工作区，宜设置工人休息室，并采取降温措施。

5.2.7电子工业生产的封口、排风、老练、熔接、烤管、退火、烧结、扩散、被炭、黑化以及电子玻璃生产中的热加工区等固定工作点，应采取送冷风降温。

5.2.8炎热地区，冷加工车间人员固定或密集的工作点宜设置风扇。

5.2.9局部送风应符合下列规定：

5.2.9.1工作点的空气温度和平均风速，应按国家现行《工业企业设计卫生标准》执行；

5.2.9.2不得将车间的有害物质吹向人体；

5.2.9.3室内送风的气流方向，宜从人体的前侧一方倾斜吹到头、颈和胸部。

送到人体的气流宽度宜采用1m；车间散热量小于23W/m2的轻作业，可采用0.6m。

6防尘防毒

6.1一般规定

6.1.1电子工业生产中，半导体材料制备、晶片腐蚀、晶片掺杂、外延、化学气相淀积、离子刻蚀，真空器件零件清洗、阴极热丝制备、涂屏、充贡，塑料、陶瓷料、玻璃料、磁性材料等的破碎、配制、加工、铸造、热处理、电火花加工、磨削加工、化学处理、电镀、喷砂、油漆，以及铅蓄电池生产中的铅尘作业等工作区，应采取综合措施防止尘、毒危害。

6.1.2应采用不产生或少产生尘、毒的工艺和设备。

凡生产过程中，散发有毒有害气体、液体、粉尘、酸雾、恶臭、气溶胶等物质的工序，宜采用密闭生产工艺和设备。

6.1.3有下列情况之一时，排风不得合为一个系统：

6.1.3.1混合后能形成毒害更大的混合物或化合物时；

6.1.3.2混合后易使粉尘积聚时;

6.1.3.3散发粉尘及有害物质工作间与一般工作间。

6.1.4产生严重尘、毒工作区的布置，应使其他工作区少受污染，并应与其他工作区隔开。

6.1.5玻璃、陶瓷、磁性材料配料间的设计，可按《玻璃生产配料车间防尘技术规程》执行。

6.2尘毒控制

6.2.1散发粉尘的作业，在不影响产品质量前提下宜采用湿法配料或以颗粒料代替粉料。

6.2.2产生尘、毒的设备，应采取整体密闭、局部密闭或小室密闭措施。

不能密闭时，应设置排风罩。

6.2.3粉粒料输送应采用气力输送、斗式提升机、螺旋输送机、溜槽等密闭性较好的设备。

当采用带式输送机时，宜密闭合排风，并应设粘料清除装置。

6.2.4应减少散装粉粒料转运点的落差高度。

落料点除应密闭外，还应采取消除或降低正压的措施。

6.2.5在符合工艺要求前提下，应减少粉粒的中转环节，缩短运输距离。

6.2.6车间内装卸散装的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、粘土等粉粒料，不宜使用抓斗、翻斗车及卡车。

6.2.7干式除尘器应配备密封良好的卸灰阀和卸灰容器。

6.2.8磷烷、砷烷、硅烷、硼烷、三氯氢硅等有毒、易燃、易爆气体的钢瓶，必须放置在设有排风防护装置的金属柜内。

不工作时，应有自动定时排风系统。

6.2.9使用砷烷、硼烷、硅烷、三氯氢硅、氨、磷烷等有毒工作间，宜设报警装置及事故排风。

报警装置宜与生产设备、操作阀联锁。

不工作时，亦应定时进行排风。

6.2.10存放粉粒状及有毒材料的容器，应具有良好的密封性和耐腐蚀性。

6.2.11储存和使用氰化物、砷化物等剧毒物品的工作间，其墙壁、顶棚和地面，应采用不吸附毒物的材料，并应便于清洗或收集。

室内管线宜暗敷。

分发毒物处应设置洗涤池和通风柜。

6.3尘毒排除

6.3.1凡有烟、尘、挥发性溶剂逸出的烘箱、窑炉炉口宜设排风罩。

6.3.2破碎设备应按其类型和进、卸料情况设排风罩。

6.3.2.1颚式破碎机上部进料口应设密闭排风罩；当物料落差小于1m时，可只设密闭罩，不排风。

下部卸料口，当落差小于1m且上部有排风时，可只设密闭罩，不排风；否则应排风。

6.3.2.2双辊破碎机的进、卸料口均应密闭并排风。

进料落差小于1m、密闭较好的小型设备，可只在下部排风。

6.3.2.3大型球磨机的旋转滚洞应设在全密闭罩内并排风。

用带式输送机向球磨机给料时，进料口及球磨机本体密闭罩均应排风。

6.3.2.4轮辗机应设密闭围罩并排风。

6.3.3筛选设备的卸料点和筛上物落料处，应根据具体情况设排风罩。

其本体部分应按设备类型设置并排风。

6.3.3.1振动筛宜在筛子上设密闭排风罩。

6.3.3.2滚筒筛应设整体密闭罩并排风。

6.3.3.3多段筛宜在筛箱侧面设窄缝侧吸罩。

罩口风速控制在5m/s以内。

筛箱顶部应设可开启盖板。

6.3.4混料机应采用密闭围罩并排风，或在进、出料口分别设置排风罩。

6.3.5石英砂干燥设备卸料口应设全密闭罩并排风。

6.3.6落砂机、混砂机、喷丸、喷丸室（机），喷砂室（机）、清理滚筒等设备均应采取排风措施。

6.3.7斗式提升机输送物料时，当提升高度小于10m，可只在下部排风。

提升高度大于10m时，则上下部均需排风。

6.3.8压送系统储存粉料的密闭料仓，应在顶部设泄压除尘滤袋，或将袋式除尘机组直接座落在料仓顶盖上。

6.3.9袋装粉料的拆包、倒包应在有负压专门装置中进行。

6.3.10热处理盐浴炉和淬火油槽应设围罩或侧吸罩。

6.3.11印制板生产中，锯床、数控钻（铣）床、开槽机、倒角机、贴膜机、蚀刻机、去膜机、显影机、凹蚀设备、电镀设备、曝光机、紫外光固化机等散发粉尘、酸碱蒸汽或臭氧等的设备，均应采取排风措施。

6.3.12电镀槽、酸洗槽、除油槽、腐蚀槽及其他化学槽等应设槽边侧吸罩或吹吸式罩。

蓄电池极板化成槽应设上部排风罩或侧吸罩。

6.3.14批量生产的喷漆作业应在排风的喷漆室或喷漆柜内进行。

大件生产的地喷漆工作区应有良好通风。

烘干箱（室）应单独设置排风系统。

6.3.15产生大量油雾的螺纹磨床、齿轮磨床、硅片及陶瓷切片机、油真空泵排出口等应设排油雾装置。

6.3.16毒气瓶柜、化学气相淀积设备、外延设备、离子刻蚀设备、有害元素掺杂扩散炉和离子注入机等使用有害气体的作业点，应设排风装置。

6.3.17半导体圆片粘片机、硅片处理系统、熔蜡锅，荧光粉的配制和涂复，在流焊、波峰焊、浸锡焊锅、气相清洗、红外热熔机、热风整平机等产生有机溶剂蒸气的工作点，应设排风装置。

6.3.18电焊、气焊、等离子切割、熔铅锅等产生金属蒸气的工作点，应设排风装置。

6.3.19彩色显象管管颈玻璃热加工、芯柱压制、高铅玻璃电真空器件的热加工、熔制铅玻璃池炉观察孔等处，应设置强排风。

6.3.20使用滴汞电极的极谱仪时，应采用专用的极谱工作台，工作间地坪须作成深色，工作台附近地面应设一个收集汞的凹坑，地坪要有坡向凹坑的坡度。

6.3.21荧光灯、闸流管等的充汞设备必须设置排风。

其工作间应设全室通风；工作间内应设汞清洗收集槽；地坪、顶棚、墙面材料应便于冲洗；地坪应有3％坡度，坡向汞清洗收集槽。

6.3.22微波功率器件的氧化铍的工作间，室内管线应暗敷，室内装修材料应便于水冲洗，工作间附近应设淋浴间。

6.3.23可能突然产生大量有毒气体的工作区，应设事故排风装置。

6.3.24