特气系统安全操作规范方案.docx
《特气系统安全操作规范方案.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《特气系统安全操作规范方案.docx（14页珍藏版）》请在冰豆网上搜索。
特气系统安全操作规范方案
1.目的Purpose
1.1本操作作业规范目的在建立一套完整的特气系统操作流程，以避免人员操作错误及维护系统稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。
2.管制范围Scope
2.1本操作规范适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。
3.管理职责Responsibility
3.1厂务单位最高主管
3.1.1协调并提供各单位因产品生产所需之厂务服务内容。
3.1.2综理厂务系统运转所需资源管理,含人员/物料/预算等。
3.1.3引进创新之厂务系统或管理知识。
3.2厂务单位主管
3.2.1执行厂务系统维护保养制度及系统教育训练。
3.2.2维持稳定的厂务供应系统所需之人员出勤管理。
3.2.3厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。
3.2.4厂务系统异常事故追踪查核处理结果
3.3厂务系统工程师:
3.3.1负责特气供应系统之正常运转及改良维护。
3.3.2负责厂务与机台设备间Hookup（二次配管）工程之施工与协调事宜。
3.3.3厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。
3.3.4担任所负责系统之教育训练讲师。
3.4厂务轮班工程师:
3.4.1负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。
3.4.2执行各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。
3.4.3更换厂务系统所提供或所需之原物料及产生之废弃物。
3.4.4厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。
4.定义Definition
4.1SG:
SpecialGas（特殊气体）。
5.作业内容Procedure
5.1日常记录与报告要求
5.1.1定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。
5.1.2统计气体，每日/周/月用量。
5.1.3统计气瓶、库存量，原则上现场要有足够15天运行库存量。
5.1.4整理特气系统仪器仪表（Gasdetector、PT等）的校正记录。
5.1.5提供日常巡检报告、维护报告及事故报告。
5.2日常运转事项
5.2.1气体钢瓶的更换（含硅烷、氢气站，特气房内）。
5.2.2N2Yard（大宗气体气站：
N2）灌充作业前、后系统及压力，液位确认检查
5.2.3特气系统仪器仪表（Gasdetector、PT等）的定期校正。
5.2.4紧急应变：
包括Trouble-shooting，报警故障处理，紧急事故反映及处理。
6.表单Form
特气系统点检表
序号
项目
情况记录
REMARK
YES
NO
其它
1
检查设备、房间排风是否正常？
2
检查门锁、窗锁是否正常？
3
检查设备外观是否正常？
4
危险标识是否剥落？
5
阀件编号是否有误？
6
巡视管道状况、标签是否脱落
7
确认N2吹扫盘是否正常？
8
确认CDA、GN2供应压力是否正常？
9
检查PIGTAIL是否被损坏或污染？
10
检查加热系统是否正常
LocalScrubber检查保养计划表
检查、保养项目
检查、保养频率
每天
每周
双周
每月
每季
每年
检查主电源（Mainpower）电压
○
检查加热器#1,#2的温度
○
检查氮气、流量
○
检查注入、排气压力
△
确认错误（Error）状态
△
检查传感器High，Low状态
○
检查指示灯工作状态
○
检查各导管有无粉尘堆积
△
压力计是否需更换
☆
检查是否需更换传感器、控制器
☆
检查是否需更换继电器、风扇
☆
备注：
“○”：
值班技术人员可以单独进行维护操作
“△”：
值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护
“☆”：
值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护
Sensor检查保养表
检查、保养项目
检查、保养频率
每天
每周
双周
每月
每半年
每年
通过监视屏幕观察Sensor的状态
○
更换Sensor
△
检查吸气泵是否故障
☆
检查热裂解模块是否故障
☆
检查模/数转换模块是否故障
☆
备注：
“○”：
值班技术人员可以单独进行维护操作
“△”：
值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护
“☆”：
值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护
气瓶柜/架检查保养计划
检查、保养项目
检查、保养频率
每天
每周
双周
每月
每半年
每年
检查气瓶的压力、重量
○
检查设备、房间排风是否正常
○
检查门锁、窗锁是否正常
○
检查外观是否正常
○
危险标识是否剥落
○
设备标识是否剥落
○
阀件编号是否有误
○
巡视管道状况、标签是否脱落
○
确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常
☆
确认CDA、GN2供应压力是否正常
☆
确认N2吹扫盘是否正常
☆
压力传感器和真空传感器校正
☆
察看PIGTAIL是否被损坏或污染
☆
核检故障报警装置是否正常
☆
核检关机报警装置是否正常
☆
检查加热系统是否正常
☆
核检左右供气自动切换装置是否正常
☆
仪表校正
☆
备注：
“○”：
值班技术人员可以单独进行维护操作
“△”：
值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护
“☆”：
值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护
VMB/VMP维修保养计划表
检查、保养项目
检查、保养频率
每天
每周
双周
每月
每半年
每年
检查设备排风是否正常
○
检查门锁、窗锁是否正常
○
检查外观是否正常
○
危险标识是否剥落
○
设备标识是否剥落
○
阀件编号是否有误
○
巡视管道状况、标签是否脱落
○
确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常
☆
确认CDA、GN2供应压力是否正常
☆
确认N2吹扫盘是否正常
☆
核检故障报警装置是否正常
☆
核检关机报警装置是否正常
☆
备注：
“○”：
值班技术人员可以单独进行维护操作
“△”：
值班技术人员在系统工程师指导下进行检查和维护
“☆”：
值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护
7.参考文件ReferenceDocument
7.1无
8.作业流程FlowChart
8.1Ar供气流程
ArRack供气流程
Step.
Content.
1
先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。
2
慢慢打开HPV1或2，将剩余Ar排出去，然后关闭HPV1或2。
3
分离旧钢瓶，并安装新钢瓶。
4
然后打开新钢瓶阀门，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次吹扫。
结束后关闭HPV1或2。
5
关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进行2小时保压测试。
6
保压测试通过后，打开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择standby.
注意：
1.在供应气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门打开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成都打开，不要关闭。
2.Emergencystop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。
8.2PN2供气流程
N2Rack供气流程
Step.
Content.
1
先将全部阀门关闭，并确认钢瓶阀门关闭。
2
慢慢打开Vent阀门，将剩余N2排出去，然后关闭Vent阀门
3
用扳手将旧钢瓶拆下，安装新的钢瓶。
4
打开钢瓶阀门，然后打开关闭Vent阀门15次进行吹扫，打开时只要一点点点，最后关闭Vent阀门.
5
然后打开HPI1，再关闭钢瓶阀门，并关闭调压阀，进行保压测试1小时。
6
保压测试通过后，打开钢瓶阀门，调节调压阀到100psi.
7
打开LPI可供应P-N2,打开HPI2可供应高压P-N2.
8.3H2供气流程
H2Rack供气流程
Step.
Content.
1
先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。
2
慢慢打开HPV1或2，将剩余H2排出去，然后关闭HPV1或2。
3
打开PNBV,PGI1或2，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次进行吹扫。
结束后全部关闭。
4
分离旧钢瓶，并安装新钢瓶。
5
然后打开PNBV,PGI1或2，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次吹扫。
结束后全部关闭。
6
打开钢瓶阀门，然后一点点打开HPV1或2,将残留N2排空，然后关闭HPV1或2，
7
关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进行2小时保压测试。
8
保压测试通过后，打开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择standby.
注意：
1.在供应气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门打开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成都打开，不要关闭。
2.Emergencystop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。
8.4全自动气柜和BSGS供气流程
全自动气柜和BSGS供气流程
Step.
Content.
1
A瓶停止供气后，确认A瓶阀门关闭（有Valveshutter者，拆下Valveshutter，然后确认），并关闭PMV1.
2
“Aselect”进入A操作界面，并确认G-N2,CDA,P-N2供应正常。
3
选择“Pre-purge”，输入密码，“Confirm”（可能要点两次），进入1P（第一次吹扫），-L（负压测试），2P（第二次吹扫）
4
2P结束后，进入钢瓶更换阶段。
确认PIV,PGI打开，确认新瓶日期。
5
分离旧瓶，并用绑带和锁链固定好新钢瓶，然后与CGA连接。
6
连接好之后，“Confirm”进入“3P”，“+L”,“4P”阶段。
7
4P结束后，按“cancel”进入下阶段。
按“processGasflow”，输入密码，
8
检查HPT，LPT数值，按“Process”，气柜会自动排空内部气体。
9
如有Valveshutter,然后安装Valveshutter，（把Valveshutter先套在钢瓶上，拧紧，然后插入气管，然后调整高度，使valveshutter完全套在钢瓶阀门上）
10
"confirm"后，关闭调压阀门。
11
然后打开钢瓶主阀门。
12
然后打开调压阀门到适当的位置。
（BSGS将要打开两个调节阀门。
）
13
PMV1打开。
14
“confirm”之后进入“process”或“standby”。
9.特气系统异常泄露，紧急处理程序
10.附件Attachment
无
1.
2.
升级会员 