电子级氢氟酸市场调研报告.docx
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电子级氢氟酸市场调研报告
电子级氢氟酸生产技术及市场行情研究报告
报告目录
一、电子级氢氟酸产品概述
（一）、理化性质
（二）、产品相关信息
二、电子级氢氟酸生产工艺介绍
（一）、概述
（二）、生产工艺
（三）、生产方法的难点
1、分析控制与产品检测要求
2、水质要求
3、对主要生产设备及制造技术、包装技术的要求
（四）、生产工艺技术特征
1、杂质砷的控制
2、生产设备与工艺
3、高纯水制备
4、设置报警系统
5、尾气吸收
（五）、质量指标
三、电子级氢氟酸的包装、运输和贮存的相关规定
（一）、包装
（二）、运输
（三）、贮存
（四）、包装样图
1、500毫升塑料瓶
2、5升加仑桶
3、25升
4、200升
5、1000升IBC集装桶
6、20吨TANK灌
7、其他规格
四、电子级氢氟酸的用途
（一）、集成电路行业
（二）、液晶显示器行业
（三）、太阳能光伏行业
（四）、半导体行业
（五）、其他行业
五、产品分类
（一）、UP-S级
（二）、UP级
（三）、EL级
六、国内外知名生产企业
（一）、国内外生产企业介绍表
（二）、国内生产企业具体介绍
1、XX凯恒电子材料XX（附有图）
2、邵武市永飞化工XX（附有图）
3、XX蓝苏氟化XX（附有图）
4、XX晶瑞化学XX（附有图）
5、江阴江化微电子材料股份XX（附有图）
6、邵武市华新化工XX
7、富宝集团
8、鹰鹏集团
七、应用电子级氢氟酸的客户行业分析
（一）、客户群体分析
（二）、太阳能光伏行业
（三）、LED行业
1、XX地区半导体行业
2、大陆地区半导体行业
（四）、液晶面板行业
1、国家产业政策扶持
2、液晶面板产业发展现况
（五）、光伏电池片行业
1、氢氟酸在光伏电池中的应用
2、光伏产业发展背景
3、光伏电池片行业发展现况
4、BIPV----太阳能光伏建筑一体化
八、主要用户分析
（一）、用户需求特点
（二）、细分市场容量
（三）、未来细分市场预测
九、全球电子级氢氟酸市场分析
（一）、电子级氢氟酸全球主要区域市场分析
（二）、电子级氢氟酸主要消费市场分析
（三）、电子级氢氟酸主要供给地区分析
（四）、电子级氢氟酸全球市场发展特点及趋势预测
十、总结和看法
图表
（1）客户群体所占比例
图表
（2）2004-2009年XX半导体产值统计及预测
图表（3）1999-2008年中国半导体产业产值统计
图表（4）LCD产业链
图表（5）国内TFT-LCD生产线统计
图表（6）国内新建TFT-LCD生产线
图表（7）光伏产业链介绍
图表（8）2004-2008年中国太阳能电池产量
图表（9）全球太阳能电池主要产地份额情况
图表（10）2008年全球主要太阳能电池厂商产量
图表（11）电子级氢氟酸用户需求特点
图表（12）2008年电子级氢氟酸应用行业市场容量分析
图表（13）2012年电子级氢氟酸应用行业市场容量预测
图表（14）2009年国外主要地区电子氢氟酸消费份额图
图表（15）2005-2009年国外电子级氢氟酸消费量变化图
图表（16）2009年全球主要电子级氢氟酸消费国消费状况
图表（17）2005-2009年国外电子级氢氟酸产量
图表（18）2005-2009年国外电子级氢氟酸需求满足率
图表（19）2010-2012年国外电子级氢氟酸产量预测图
图表（20）2009-2012年国外电子级氢氟酸消费量
图表（21）2010-2012年国外电子级氢氟酸满足率
一、电子级氢氟酸产品概述
（一）、理化性质
英文名hydrofluoricacid,分子式HF,分子量20.01。
为无色透明液体,相对密度1.15～1.18，沸点112.2℃,在空气中发烟,有刺激性气味，剧毒。
能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，生成各种盐类。
腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。
易溶于水、醇，难溶于其他有机溶剂。
高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用。
（二）、产品相关信息
截止到2011年年底，全国电子级氢氟酸的产能在8万吨左右，可是产量只有不到5万吨。
国内的主要生产厂家有XX凯恒、XX蓝苏、XX晶瑞、江阴江化、邵武永飞、邵武华新、鹰鹏集团等一些企业，产能都在5000吨以上。
电子级氢氟酸有4个级别（PPT级、UP-S级、UP级、EL级），包装方式用的是高密度聚乙烯材料的瓶子、吨桶和槽车。
产品主要用于集成电路、太阳能光伏、液晶显示器、LED半导体等行业中。
二、电子级氢氟酸生产工艺介绍
（一）、概述
目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。
如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，气体吸收技术可以用于大规模的生产。
另外，由于氢氟酸的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重，因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。
电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关，垂直流向布置，原料（无水氢氟酸和高纯水）与中间产物可以依靠重力自上而下流动，高纯氢氟酸的制备在中部，产品过滤、灌装及贮存在底层。
此布置可减少泵输送，节省能耗，降低生产成本，同时可避免泵对产品的二次污染。
（二）、生产工艺
将工业无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下（百级以下）进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。
（三）、生产方法的难点
1、
分析控制与产品检测要求高。
制备电子级氢氟酸所应用的测试仪器如下:
（1）电感耦合等离子高频质谱分析仪（ICP-MS）；
（2）电感耦合等离子原子发射分析仪（ICP-AES）；（3）原子吸收分光光度计；（4）氧原子发生无焰原子吸收分析仪；（5）离子色谱分析仪；（6）激光散射液体微粒计数器；（7）水表面杂质分析系统；（8）原子间力显微镜；（9）光学显微镜微粒计数器；（10）扫描电子显微镜；（11）光学膜厚测定和表面仿形仪；（12）表面X力测定仪；（13）空气中尘埃微粒测定仪；（14）水电阻率测定仪。
2、
对水质要求高，要求水的电阻率≥18.0MΩ·cm。
高纯水是生产电子氢氟酸中不可缺少的原料,也是包装容器的清洗剂,其纯度将直接影响到电子级氢氟酸的产品质量。
高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒,其他辅助指标有可氧化的总碳量（TOC）、细菌、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。
目前,高纯水的生产工艺较为成熟,较常见是先通过离子交换柱和微过滤器,得到普通纯水,然后再采用反渗透、电渗析等各类膜技术进一步处理,最后配合杀菌和超微过滤便可得到高纯水。
3、
对主要生产设备材料及设备制造技术、包装技术的要求较为严格。
厂房、分析室、仓库等环境洁净度要求较高，与成品接触部分要达到100级。
整个生产过程中对产品质量管理要求极高。
（四）、生产工艺技术特征
1、
杂质砷是电子级氢氟酸中需要控制的一种重要杂质指标，在氢氟酸原料中砷一般以三价态形式存在，而且AsF3与氢氟酸的沸点相差不大，所以仅靠精馏对其分离的效果不会十分理想。
为去除杂质砷，可在精馏前，加入适量的强氧化剂（如高锰酸钾等）将三价态的砷进行氧化，使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。
2、
生产设备与工艺：
生产设备全采用碳钢衬聚四氟乙烯材料，生产工艺采用常压、全封闭、连续化，采用热水低温（小于100度）精馏.蒸馏工艺,工艺参数采用DCS集散控制系统生产。
3、
高纯水制备：
通过离子交换与过滤器先制得普通纯水，再经过反渗透、电渗析后进入杀菌、超微过滤制得高纯水。
4、
在无水氢氟酸预处理槽边、精馏塔及蒸馏塔边、成品包装区设置HF有毒气体浓度探测、集中报警系统。
5、
设置尾气吸收塔、碱吸收塔，尾气可达标排放。
（五）、质量指标
目前，因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：
①低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；③中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④高档产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μmIC工艺技术的制作。
产品包装方法：
采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）专用密封工艺制造塑料桶25公斤桶装。
国际SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational）标准化组织根据高纯试剂在世界X围内的实际发展情况，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级，具体见下表。
SEMI国际标准等级
SEMI标准
C1（Grade1）
C7（Grade2）
C8（Grade3）
C12（Grade4）
（Grade5）
C11
（VLSIGrade）
金属杂质
≤1ppm
≤10ppb
≤1ppb
≤0.1ppb
≤0.01ppb
≤50ppb
控制粒径μm
≥1.0
≥0.5
≥0.5
≤0.2
/
≥0.5
颗粒，个/mL
≤25
≤25
≤5
/
/
≤250
适应X围
适用于
＞1.2μm
IC技术的制作
适用于
0.8-1.2μm
IC技术的制作
适用于
0.2-0.6μm
IC技术的制作
适用于
0.09-0.2μm
IC技术的制作
适用于
＜0.09μm
IC技术的制作
适用于
0.8-1.2μm
IC技术的制作
三、电子级氢氟酸的包装、运输、贮存相关规定
（一）、包装：
一般采用25KG聚乙烯塑料桶包装，属于一级无机酸性腐蚀物品。
（二）、运输中严禁受损、受热和雨淋，装卸中应该轻装、轻卸，防止撞击。
（三）、电子级氢氟酸应该贮存于通风良好的仓库中。
（四）、包装样图
1、
500ml塑料瓶高180mm直径75mm灌装口直径29mm自重量0.06kg灌装量0.5kg
2、
5L加仑桶高320mm直径150mm灌装口直径34mm自重量0.25kg灌装量4.5kg
3、
25L桶长280mm宽280mm高380mm灌装口直径65mm
自重量：
1.2kg-1.4kg灌装量：
25kg
4、
200L桶高900mm直径590mm灌装口直径750mm
自重量10.5kg灌装量：
200kg-240kg
5、
1000LIBC集装桶长1200mm宽1000mm高1160mm灌装口直径150mm自重量60kg灌装量：
1000kg
6、
20TTANK灌装槽车
7、其他规格
4LHDPEBottle20LHDPEPail
回收式1M3ISOBulkContainer200LHDPEDrum
简称IBC，又称TOTE
四、电子级氢氟酸的用途
（一）、产品主要用于在集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）制造中，电子级高纯氢氟酸是关键辅助材料之一，主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序。
（二）、在太阳能光伏行业中，用于硅片表面清洗、蚀剂等领域。
硅锭到硅片，再到电池片的第一道工艺程序：
清洗制绒环节会用到产品。
（三）、在液晶显示器行业，用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅
蚀剂等。
（四）、在TFT-LCD、半导体产业中也被广泛使用。
（五）、还可用作分析试剂、原子能工业化学试剂和制备高纯度的含氟化学品。
目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。
五、产品分类
（一）、UP-S级:
适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMIC8标准。
（二）、UP级:
适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMIC7标准。
（三）、EL级:
金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMIC1C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺。
六、国内外知名生产企业
（一）、国内外生产企业介绍表
地区
厂家
最好等级
（金属离子）
产能（吨）
价格区间
大陆
凯恒（凯圣）
PPT级0.1~100ppb
25,000
6000~9000元/吨
XX晶瑞
EL级10~30ppb
5,000
江阴江化
EL级30~100ppb
5,000
邵武永飞
EL级10~30ppb
5,000
鹰鹏集团
EL级30~100ppb
10,000
顺昌富宝
EL级50~100ppb
5,000
邵武华新
EL级10~50ppb
5,000
XX
台塑大金
PPT级0.1~50ppt
16,000
12000~20000元/吨
侨力化工
PPT级1~50ppt
6,000
日本
STELLA
PPT级0.1~50ppt
40,000
18000~20000元/吨
MORITA
PPT级1~50ppt
8,000
欧、美
SOVAY
UP-S级0.1~1ppb
10,000
14000~17000元/吨
HONEYWELL
UP-S级0.1~1ppb
10,000
（二）、国内生产厂家具体介绍
1、XX凯恒电子材料XX
XX凯恒电子材料XX（.kaihn.）是一家专业生产氟系列超高纯微电子化学品由XX凯圣氟化学XX控股的企业。
凯圣公司是由XX巨化股份XX控股的公司。
公司主要产品：
高纯电子级氢氟酸（UP-S级、UP级、EL级）、电子级氟化铵、BOE混配蚀刻液、化学试剂级氢氟酸、工业级无水氟化氢、工业级有水氢氟酸等产品。
产品性能及各项指标均处于国内领先地位。
公司在生产装置上实现DCS集散控制系统，能准确实时有效控制装置安全稳定运行和产品品质的稳定。
配有当今世界上最先进的质检分析仪器电感耦合等离子体质谱仪ICP-MS7500型和861型单柱双柱切换功能离子色谱仪完全达到半导体行业分析实验室的标准技术要求，保证了产品质量出厂合格率达100%。
产品技术指标已达到单个金属离子含量≤1ppb。
具有自主研发的知识产权优势。
公司早在2006年就完成高纯电子级氢氟酸小试工作，2008年中试装置产品在国内、东南亚、欧洲等市场获得客户广泛认可，纷纷要求扩大供货。
2009年年产6000吨电子级高纯氢氟酸建成投产。
公司拥有目前国内唯一一套年产25000吨电子级高纯氢氟酸生产装置，其工艺技术、产品质量和产量均处于国内领先地位，氢氟酸系列产品已取得ISO9001质量认证。
公司追求创新与发展，公司目标是成为全国最大的电子化学品生产基地。
目前公司电子级氢氟酸产能为25000吨/年。
2、邵武市永飞化工XX
XX省邵武市永飞化工XX（.shaowufluoride.）及其控股的邵武市永祥化工XX、邵武市永晶化工XX、XX省德安县永飞矿业XX是XX省大型的氟化氢、氟化盐、硫酸及氟气下游系列产品的生产企业，位于中国XX省邵武市新氨路18号。
其中化工类生产企业地处邵武市晒口新氨路18号，占地面积300余亩，目前综合生产能力无水氟化氢36000吨/年、高纯超净氢氟酸15000吨、硫酸120000吨、氟化盐10000吨/年、六氟化硫600吨、五氟化碘60吨，其中电子级氢氟酸产能为5000吨/年。
属于国内最早量产电子级氢氟酸企业之一。
目前，公司综合生产能力无水氟化氢56000吨、高纯超净氢氟酸30000吨、硫酸120000吨、氟化盐10000吨、六氟化硫600吨、五氟化碘60吨，五氟化锑10吨，企业生产规模在全国氟行业内名列前茅。
公司生产的“永飞牌”无水氟化氢、工业氢氟酸、试剂级氢氟酸、电子级氢氟酸、六氟化硫、五氟化碘、98%硫酸、104.5%发烟酸及氟化铵、氟化氢铵、氟化氢钾等氟化盐系列产品，品质优良，“永飞”商标是“XX省著名商标”，“永飞”牌无水氟化氢、高超纯净氢氟酸等系列产品被评为“XX省名牌产品”。
公司具有自营进出口权，产品远销国内各省市、自治区及欧洲、美洲和东南亚、日本、XX等30多个国家和地区。
3、XX蓝苏氟化XX
XX蓝天环保高科技股份XX（.lansol..）与德国苏威氟XX通过强强联合，组建中外合资企业。
于2006年10月16日注册成立,注册资金5443万元，公司位于XX省XX高新技术产业园区内。
专门从事氟化学品的生产和销售，主要产品为氟化氢。
公司现有2万吨/年无水氢氟酸生产线和国内最高规格的5000吨/年电子级氢氟酸生产线，其中电子级氢氟酸引进苏威公司技术，填补国内空白。
可满足国内相关行业对更高纯度氢氟酸的需求，减少对进口产品的依赖。
中化集团成员企业中化蓝天下属企业XX蓝天环保高科技股份XX成立于2000年11月6日，是由XX化工科技集团XX、国家消防工程技术研究中心等六家社会法人和四位自然人共同发起设立的国有控股股份XX。
公司专业从事哈龙及其替代品、氯氟烃替代品以及含氟涂料和树脂及氟精细化学品的技术开发和生产经营,是目前国内技术开发实力最强、产品品种最全、生产规模最大的消耗臭氧层物质（ODS）替代品生产企业。
公司完成国家科技攻关项目、火炬计划项目和创新基金项目等省部级以上项目12项，成功开发了16个ODS替代品品种及其生产技术，已取得30多项研究成果，申请国家发明专利33项，PCT专利3项。
目前公司已有5个产品被列入国家重点新产品项目，获得国家科技进步奖、XX省科技进步奖等各级科技成果奖励8项。
被认定为"XX省高新技术企业"，"XX省环保产业骨干企业"，并入选中德政府合作项目清洁生产试点企业，通过ISO9001质量体系认证和XX市清洁生产审核。
2007年获联合国环境规划署、国家环保总局、世界银行颁发的＂履行联合国保护臭氧层公约淘汰全氯氟烃/哈龙贡献奖"。
德国苏威公司成立于1863年，经过140年的发展，已成为当今世界著名化工及医药集团公司。
德国苏威公司氟XX是苏威集团旗下的氟化学品生产和销售的专业公司，该公司从事氟化学品生产和销售超过七十多年，目前，其无机氟化学品产销量位居世界第一，有机氟化学品产销量位居世界第二位。
4、XX晶瑞化学XX
XX晶瑞化学XX（.jingrui-chem..）2001.11.29注册成立，位于XX市吴中经济开发区吴中大道1368号综合楼9楼，是一家生产销售微电子业用超纯化学材料和其他精细化工产品的外资企业。
品种包括氢氟酸、过氧化氢、氨水、盐酸、硫酸、硝酸、异丙醇、冰醋酸、混合酸（硅腐蚀液、铝腐蚀液、铬腐蚀液）等。
目前主要产品的纯度为49%±0.2，单项金属杂质含量小于10ppb。
电子级氢氟酸产能5000吨/年。
5、江阴江化微电子材料股份XX
江阴江化微电子材料股份XX（.jianghuamem.），位于XX省江阴市周庄镇三房巷开发区山泉路70号，是一家生产适用于半导体分立器件、中小规模集成电路、大规模集成电路以及LCD、LED等工艺制造过程中的专用微电子化学品——紫外负性光刻胶及其紫外正、负性光刻胶配套试剂、超净高纯试剂、通用化学试剂系列及其他专用电子化学品的专业工厂，是目前国内生产品种最齐全、配套性最强的湿法电子化学品生产企业，全国化学试剂许可证获证单位。
公司座落于滨江城市——江阴市城东15公里，占地1.5万平方米，建筑面积8000平方米，其中万级净化1500平方米，局部达百级。
公司具有完善的生产设备和测试仪器，具有年生产微电子化学品——紫外负性光刻胶及其紫外正、负性光刻胶配套试剂、超净高纯试剂、通用化学试剂系列以及其它专用电子化学品5000吨能力。
2002年通过英国BSIISO9001：
2000国际质量体系认证。
2004年通过了ISO14001环境管理体系认证和OHSAS18001职业安全健康管理体系认证。
公司秉持“追求完美，做顾客信赖的合作伙伴”的经营理念和“以优质的产品，优良的服务来赢得顾客的信赖；以持续有效地改进质量管理体系来满足顾客要求”的质量方针，不断开发先进的工艺技术和生产高性能的微电子化学品为己任，全心致力于微电子化学品制造业的发展，不断满足微电子工业日新月异发展的需求。
电子级氢氟酸产能5000吨/年。
6、邵武市华新化工XX
邵武华新化工XX（.haixinfluoride.）成立于2002年，公司总占地面积约230亩，拥有员工近220人，其中技术人员24%，公司生产基地地处XX北部，有丰富而优质的萤石资源，目前总规模有：
无水氟化氢3万吨、干法氟化铝3万吨、氟碳表面活性剂系列50吨、试剂级优级纯氢氟酸6000吨的生产线。
产品品质优良。
公司2010年工业产值3.33亿，实现利税5051.4万元。
公司成立以来致力于氟化工系列产品的研发和生产销售，有一批从事二十多年氟化工生产经营的中、高级工程技术管理人员和经验丰富的现场生产人员，有一支技术、业务成熟、敢啃硬骨头、以铁的精神为支撑的职工队伍，是企业科研活动、生产管理、团队运行和工程建设的核心力量。
同时，公司聘请国内外同行业一些知名专家作为企业研发的顾问，推进完善公司的设施，逐步建立研发机构，具备技术开发并形成产业化的综合能力。
随着新能源的快速发展，公司着眼于未来电子化学品的发展趋势，2010年公司投资建设自主研发年产10000吨的电子级氢氟酸项目，项目于2011年年底完成建设并试生产。
产品品质将达到金属离子杂质含量小于1ppb级别。
公司今后在新材料新能源应用的新项目；新兴的氟农药，氟医药及新兴氟表面活性剂；替代制冷的新型产品。
7、富宝集团
富宝集团（.fubaochem.），位于XX省XX市顺昌县埔上镇，前身为顺昌县合成氨厂，创建于1970年10月，距离县城21公里，紧靠鹰厦铁路线及316国道。
1995年3月改制成立XX，2006年1月引进国外资金由国有企业改制为中外合资企业。
经过37年的艰苦创业，现已发展成为集化工原料开采、生产、销售及下游产品开发为一体的化工产业链型化工集团。
公司现有员工1400多人，其中各类专业技术人员有200余人。
企业占地近千亩，总资产4.5亿元。
公司生产技术先进，设备精良，具有国内先进水平。
集团公司现由XX省顺昌富宝实业XX、XX省顺昌富宝腾达化工XX、XX省福清富港化工XX等四个子公司、分公司组成。
集团主要产品有：
尿素、甲醇、二甲醚、商品液氨、氢氟酸及氟化氢铵等系列产品。
现有生产装置能力为年产合成氨17万吨、尿素13万吨、工业甲醇8万吨、二甲醚10万吨、氢氟酸2.5万吨、氟化氢铵8000吨。
电子级氢氟酸产能5000吨/年。
8、鹰鹏集团
鹰鹏集团（.yingpengchemical.）位于XX省永康市永化路69号，主要从事氟化工产品无水氟化氢、氟致冷剂、ODS替代品，以及农药等生产销售，是集萤石开采、氟化工深加工、物流为一体的大型企业。
集团下辖14家实体公司，其
升级会员 