ESD作业规范标准详.docx

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ESD作业规范标准详

ESD防静电控制技术规划

1.目的

本文件旨在规定ESD防静电控制技术规，为产品在元器件进料、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。

注：

ESD是英文“ElectroStaticDischarge〞的缩写，意思指静电放电〔静电瞬间泄放〕。

2.适用围

本规适用于公司科技部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。

3.职责：

3.1公司ESD组织结构和职责

公司公司ESD控制组织结构框图：

公司ESD控制的组织结构分为主委、ESD小组和执行部门。

主委负责整体规划公司/工厂ESD工作。

ESD小组负责人为公司ESD协调者，负责公司ESD标准的制定、修改和组织结构、管理制度的建立，监视标准的实施。

ESD小组负责公司各执行部门ESD日常执行状况的监视，生产现场规划防静电设计、新

架设的生产线防静电设施验收，公司纳入防静电材料、物品、设备、仪器等防静电品的验收。

ESD的点检测试有ESD各部门执行人员完成。

3.1.3执行各部门负责标准的实施、检查、纠正和反应职能。

稽查工作由ESD小组和执行层共同完成。

防静电物流周转工具由执行层各使用部门负责保管、实施和维护。

3.1.4工程部负责公司各部门ESD设备异常的对应、维修、保养与新开产线静电接地线架设。

3.1.5测试仪器的维护校准工作由仪器计量室负责。

公司公用ESD测试仪器由ESD小组统一保管。

4.器件敏感分类解释

4.1静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM、MM、CDM三种模式来进展分类。

一般来说，器件的

静电敏感电压的上下在三种模式之间没有必然的对应关系。

没有特殊说明时，本指引主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。

静电敏感组件的敏感等级按照其上所安装的最敏感器件的敏感等级来确定。

最初器件的ESD损伤主要采用HBM进展分析，随着电子技术和生产工艺的不断开展，MM和CDM类型的ESD对器件的危害也越来越普遍，，因此采用MM和CDM模式对静电敏感器件进展分析的方法逐渐开展普与起来。

人体放电模式（Human-BodyModel,HBM）的静电敏感等级分类

静电敏感器件等级普遍采用人体模式静电放电进展划分〔人体带电和器件接触放电〕，所有的静电敏感器件或组件按照人体模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：

HUMANBODYMODEL

CLASSVOLTAGERANGE

Class00voltsto≤249volts

Class1A250voltsto≤499volts

Class1B500voltsto≤999volts

Class1C1000voltsto≤1999volts

Class22000voltsto≤3999volts

Class3A4000voltsto≤7999volts

Class3B8000voltsto≤15999volts

非静电敏感器件≥16000volts

机器放电模式（MachineModel,MM）的静电敏感等级分类

器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析〔带电金属和器

件接触放电〕，静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为

以下几个等级：

MACHINEMODEL

CLASSVOLTAGERANGE

M1＜100volts

M2100voltsto＜200volts

M3200voltsto＜400volts

M4≥400volts

器件充电模式（Charged-DeviceModel,CDM）的静电敏感等级分类

器件静电敏感等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析，静电敏感器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：

CHARGEDDEVICEMODEL

CLASSVOLTAGERANGE

C1＜125volts

C2125voltsto≤250volts

C3250voltsto≤500volts

C4500voltsto≤1000volts

C51000voltsto≤1500volts

C61500voltsto≤2000vol

5.静电防护区域〔EPA〕的界定和标识

5.1ElectroProtectedArea,EPA〔静电防护区域〕的划分

EPA必须具有如下的根本环境要求

5.1.1明确的区域界限和防静电警示标志；

5.1.2对区域的所有导体包括人员可靠接地；

5.1.3消除一切不必要的静电产生源；

5.1.4严重静电源〔拉伸膜、白色塑胶等〕至少100cm，非不可防止的静电源必须远离30cm.

5.1.5进入本区域应作好人员防静电要求，包括有防静电功能的工衣、工帽、工鞋〔鞋套〕、腕带或静电手套、静电指套并作人体综合电阻测试合格后才能进入。

5.1.6未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入；

5.2根据公司产品器件的静电敏感度等级，本公司EPA静电敏感度等级防要求为特级〔HBM50

-100V）EPA区域和二级（HBM500-1000V）EPA区域防护要求为：

5.2.1特级EPA为静电放电严格控制区域，生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以与静电高敏感级别的产品的制造区应划分为特级EPA。

生产区域射频与光器件产品的PCBA与模块的加工环节，如：

预配与拣料区域、单板加工、单板测试、单板模块组装、单

板模块维修、无尘室〔如EDFA、光电模块〕或带PCB板的半成品等;如有其它产品的静电敏感度小于HBM100V，也应放在特级EPA生产。

5.2.2二级EPA为根本的静电放电控制区域，涉与静电敏感物料的各个生产操作区域至少要定义为二级EPA区域，必须实施最根本的静电放电控制措施。

生产区域单板模块库房、整机组装、调测、包装、逆向库房、单板模块老化、环境实验室；

器件在库房不进展拆包，那么可设置为二级EPA。

5.3静电防护区域根本控制措施

静电防护区域根本控制措施要求按照下表实施：

EPA等级

ESD控制措施

特级EPA

二级EPA

静电电压控制标准

50-100V

500--1000V

防静电标识

√

√

静电地板或地垫

√

√

温/湿度仪器

√

√

防静电桌垫

√

√

防静电工作椅

√

√

防静电腕带

√

○

防静电工作手套、指套

√

○

防静电工作鞋

√

√

腕带测试仪和人体电阻测试仪

√

√

ESD数据采集系统

√

○

ESD门禁系统

√

○

静电消除器〔如：

离子风机〕

√

○

接地系统监控仪

√

○

防静电烙铁

√

√

防静电吸锡器

√

√

其它用于产品的常用装配、调试与辅助工具防静电处理

√

○

静电电压测试仪

√

√

外表电阻测试仪

√

√

离子风机测试仪

√

○

防静电周转工具

√

√

防静电包装材料

√

√

防静电作业指导书袋

√

○

防静电文件夹

√

○

防静电液

○

○

必要的静电产生材料禁止带入EPA

√

○

区域外或独立区域对非防静电包装进展拆包

√

√

说明：

“√〞—表示全部要求；“○〞---表示可选或局部要求

5.4防静电标识要求

为提高人员的防静电意识，防止因标识不清发生不符合静电平安的操作与静电危害，要求防静电区域〔EPA〕、防静电设施、器材等防静电物品，以与静电敏感器件与组件等有关包装上应标注有醒目的ESD标识，以便提醒员工采取适宜的ESD防护措施，减少静电风险，提高产品质量。

〔防静电标识严格按照标识管理规定执行〕

5.5静电敏感区域的工程环境防静电规

防静电工程环境的要求：

SMT车间温度要求保证在22℃~28℃，相对湿度（RH）：

30%~60%；

其它区域温度：

10℃~30℃，相对湿度（RH）：

30%~75%；

当产品物料与生产环境对环境温湿度有特殊要求时，应根据产品物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。

EPA应配备温度计和湿度计，如果是不具备数据采集功能的普通温湿度计，那么要求在每班次作二次记录〔超标数值用红色笔标出〕。

当相对湿度超出规定的围时，应暂时停线并与时通知相关联部门人员协调动力维护、环卫等采取适当的加湿或抽湿措施。

每月的温湿度记录应归类保存，保存期至少1年。

5.6地面的技术要求

地板的防静电要求:

为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到，除操作人员穿防静电服、防静电鞋外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。

这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电，也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人

体静电。

普通地板材料的电阻率都较高，难以泄放人体、工装、设备上的静电。

下面的图表为各种地板的泄漏电阻:

（单位:

Ω）

各种地板材料的电阻特性参照下表：

地坪材料名称

泄漏电阻

地坪材料名称

泄漏电阻

石

104~109

沥青

1011~1013

混凝土

105~1010

聚氯乙烯（贴面）

1012~1015

一般涂刷地面

109~1012

导电性水磨石

105~107

橡胶

109~1013

导电性橡胶

104~108

木、木胶合板

1010~1013

导电性聚氯乙烯

107~1011

防静电地板的静电特性定期检查与维护保养

.1检查频率：

EPA区域每季度点检一次；

.2检查指标：

外表电阻；

.3检查标准：

电阻率为1×104Ω＜RS＜1×109Ω；

.4检查仪器：

绝缘电阻表。

.5相对湿度低于30%时，应增加测量接地电阻的次数，当电阻比拟大时可适量撒少量的水〔符合平安要求标准情况下〕。

.6当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，应根据情况定期去除。

.7假设采用抛光防静电地板蜡的地面，3个月检查测量一次地面的外表电阻，并记录测量结果。

.8清扫清洁防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。

静电敏感区域的防静电保护接地技术要求

防静电接地必须有一个平安可靠的防静电接地母线〔防静电地线〕，所有人体、工作

台垫、等以并联的方式接入防静电接地母线。

.1接地线：

也称为地线母线。

接地主干线的截面积应不小于100mm2，支干线的截面积应为4~6mm2的多芯线材，人体静电线为黄色，设备接地线为黄绿色；设备的接地线采用截面积应不小于1.0mm2的导线；

.2设备接地线端口必须使用接地端子进展接地，保证平安牢靠，易拆装。

.3接地电阻：

指接地母线与之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4Ω；

.4静电极的埋设：

埋设地线的原那么是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧；

埋设地线的考前须知：

a.接地线与接地线接头必须焊接结实，要有足够的机械强度，引线不要过长采用耐腐蚀的接地体金属；

b.要保持接地体附近土质的密度质量，并不断采取措施防止接地电阻变大；

防静电地线必须是永久性的；|

接地线的定期检查

.1检查对象：

所有的设备接地线与接地端口；

.2检查仪器：

万用表和接地电阻测试仪；

.3检查参数：

接地电阻

接地线的定期维护

.1对于检查不过关的接地线必须采取措施与时解决，并实施跟踪确认；

.2确保接地线有效接地；

.3对于生锈的或接触不好的接地线要与时更换；

.4对于松动的接地线要重新连接；

.5按接地线相关规定进展维护。

5.7静电敏感区域的人员防静电规定

各类人员的防静电知识培训要求与职责

有可能进入静电敏感区域的员工