半导体二极管激光器光学剖析.docx

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半导体二极管激光器光学剖析

第!

"卷!

第#期

&’()!

*+,’)$

$%%!

年$月

!

"#"$%&’(

-./)$%%!

不产生粒子数反转5$!

26"在我们的情

况下!

脉冲间的振动能级激发有效

地支持自持放电"

因此!

在自持放电上叠加纳秒

电短脉冲是提高横向自持放电34#

激光器抽运效率有前途的方法!

无需改变它的结构"这可以提高激

光效率!

并在使用高含量氮的无氦

混合气体中用简单电极7非分段电

图!

不同成份的"#$%&$%’(混合气体的复合放电抽运时的效率的相对增量与纳秒

极8工作时没有放电收缩"在这种

源功率!

)*与自持放电功率!

比值的关系

情况下!

改善了激光器的工作特

效率增大!

增量达到001"由图#

生电离!

在非自持放电中不会发

性#增大了电流调节范围$简化了

和图2可以看出!

在脉冲电离情况

生"如果复合非自持放电中电脉冲

放电点燃!

并在大电流时提高了放

下!

使用氮含量大的混合气体是有

重复率较低!

在某时间间隔内电子

电的稳定性和均匀性"

利的"在自持放电中!

脉冲间也发

密度会降低到这种程度!

以致34$

参考文献

"!

"#$%&’()+*&#+,"-./+)012$3/.)456!

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白光编译"

)*+,-.!

"/"&

 

提要@’/.AB,)CD((!

"9"9年诞生在美国康涅狄格州的纽黑文!

从加州理工学院毕业后进入通用电器研究发展中心工作""9?

$年!

CD((在半导体结中实现了粒子数反转!

创建了第一台半导体结激光器"这种器件!

根据特殊设计的EFG结!

电流将电子直接注入结中运行!

因此允许从紧凑的发射源以高效率产生相干光"当今!

以CD((原始思想工作的二极管激光器!

广泛地应用于如3H$H&H显示器$激光打印机和光纤通讯系统等领域"

关键词半导体二极管激光器EFG结应用

 

+引言

本文将描述二极管激光器发射光束的基本特性!

讨论分析和调整这种光束的方法"用一对柱面透

镜将光束准直和成形是一种简单灵活的方法!

不仅可以用于二极管激光器!

而且也可用于光纤发射的光束"

$二极管激光器特性

半导体二极管激光器结构如

图"所示!

它由增益层7仅几十个纳向侧面变弱"在增益导向激光器

米厚8和包围它的导向层组成!

导向中!

这种增益渐变对侧向光束限定

层起限定激光模式作用"导向层折是很重要的"为比较起见!

在折射

射率略大于周围区域7基质和盖板8率导向激光器中!

将导波带相邻区

折射率!

通过内全反射限定激光模域选择性地刻蚀掉!

然后以低折射

式"通过几个微米宽的金属条状正率覆盖材料代替"一般地说!

增益

电极注入电流!

由结对面的基板7接层有高吸收的区域!

不直接在电极

地电极8收集"在正电极底下的粒底下!

因此经受的抽运弱!

或完全

子数反转和增益最强!

沿*轴随着无抽运"除了杂质和界面上的散射

距电极中心线距离增加!

增益逐渐损失外!

导向层基本是透明的!

 

收稿日期0$%%2F"%F!

"

 

+1

第!

"卷!

第#期

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$%%!

年$月

!

"#"$%&’(

-./)$%%!

束性质是它的偏振态!

典型的是线

偏振!

其电场平行于结平面*这个

性质反映这样的事实!

对于平行于

结的偏振光7即#!

8!

其增益多少要

比垂直偏振光7下文的#"8高*与

#"相关的导向模在$方向要比与

#!

相关的模略为加宽*因为加宽模

比紧凑模与增益介质层交叠得少!

所以当紧凑模超过阈值并开始产

图"为限定激光模!

用导向层包围激活层组成半导体二极管激光器"通过正电极注入

生激光时!

加宽模还未达到*而且!

电流!

由在结对面的接地电极收集电流

限制电子和空穴在薄激活层7量子

质和覆盖层也是高透明的"

步在水平方向加宽7比无像散时8!

阱8!

对#!

7相对于#"8更易使激发

图$表示在单横模二极管激

相位分布显示峰?

谷变化@*2%!

"

电子和空穴释放出光子并返回基

光器0!

%123%456前方的强度和相

在激光器向前方发射的光束!

态*实际上#偏振超过#

!

是两种

!

"

位分布图"在结平面光束发散角

呈椭圆截面是合理的7由于衍射8!

效应组合的结果*

7半高全宽8是"!

19!

!

与结垂直方

对于"

远小于"的情况"在激光

!

"

!

二极管激光像散的起源

向是""1:

;!

"在图$上方一行的图

激活区内产生像散是由于非均匀

0<#$%/8中!

显示光束没有像散!

增益剖面7沿"轴8的原故"由于靠

沿"轴增益剖面的非均匀性!

激光器前方的相位分布均匀"在中

近腔的光轴增益最高!

光辐射在腔

对波导模具有聚焦作用!

迫使沿腔

间一行的图0=&$%>8!

像散距离7定

中沿!

轴传输时!

光束向光腔轴产

!

轴传输的光束自动形成发散的相

义在自由空间中水平束腰和垂直

生(增益聚焦)效应!

结果是沿腔轴

位波前*用光束传输方向7DEF6B#C

束腰之间的等价距离8是#!

1

比两侧有更强的放大B*C*因而!

对应

研究通过增益介质的光束传输很

*%!

5!

沿"轴轻微展宽光束!

相位

光束向中心塌陷的趋势!

发散相位

容易证明这一点*图:

7<6表示典型

波前发散!

其峰?

谷变化7即束的边

剖面自动形成*关于这个性质!

二极管激光横截面的增益和损耗

缘到中心8是@*$%!

’在底行图7.&$

面会详述*

分布*在增益层中间部分的增益最

%A8!

像散距离#!

1$;!

5"光束进一

另一个感兴趣的二极管激光

高!

沿"轴以高斯型下降!

在远离

中心轴!

的区域变为损耗区*在沿

腔!

轴传输期间!

光束截面的相位

剖面类似于图:

7/6所示*其中高折

射率导向层使相位相对于低折射

率基质和盖板超前*具有较高折射

率的增益介质7红色6使相位更超前

于导向层7橙色6!

但增益层薄!

对于

限制模沿$轴的贡献显然很小*

同时!

图:

7<&+%/6表示的截面

强度分布和相位分布确定了以光束

传输方法模拟二极管激光使用的振

幅?

相位掩模剖面"这种特殊掩模以

图#$%&’$()二极管激光器!

!

%*!

+"%!

!

!

在前方的强度-左.和相位-右.的对数平

#!

1%)*!

的间隔放置在折射率%%1

:

):

的介质中"波长!

在这个环境中

面图"在极大和极小之间强度变化范围是!

1!

%"$3"在图-/&$%4.中!

光束没有

是!

%G%%!

其中!

%是激光束的自由空

)/0

)2(

像散"在图-5&$%6.中!

在水平的和垂直的束腰之间像散距离-在自由空间."%

7$)!

沿0轴有较宽的光束!

和发散的相位花样!

从中心到边缘位相变化是

间波长"对于入射到掩模上的均匀

7#$!

"在图-8&$%9.图中!

像散距离

"%#,)!

光束进一步加宽!

并且相位分布表

光束!

其透射强度和相位分布分别

明峰:

谷变化;7&$!

如图:

7<&$%/6所示"假设增益介质

7<

第!

"卷!

第#期

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年$月

!

"#"$%&’(

-./)$%%!

 

图!

以光束传输方法"#$%&模拟二极管激光束所用的两个振幅’相位掩模的剖面""(&$%)&表示掩模*的振幅和相位剖面*"(&+%+&相应于掩模,的振幅和相位剖面"增益介质是在两个-./

厚波导层之间的-.,/

厚的夹层式膜层""(&均匀入射光束的透射强度分布"在中心的振幅增益是*.-,/!

沿!

轴逐渐变到-.0/"损

耗&值"在激活层外!

-.00/振幅透过率表示有弱背景损耗"")&掩模*的相位

1.*,!

"在激活层内&!

在波导层中是/.2!

3在基质和盖板中是-!

""+&掩模,4振幅剖面与"(&相同5的相位!

在激活层中心是2./!

!

在远离轴的激活层内是1.*,!

*在

导向层中是/.2!

!

在基质和盖板中是-!

像散"然后给出用图67>&$%;5所示的振幅?

相位掩模$得到的模拟结果!

揭示折射率’反向导向(的增益介质7由粒子数反转引起5可能进一步增加感应像散)

图!

上方一行的图表示用掩

模"在光束传输方法8%%步后的

7>5强度!

7/5强度的对数和7;5相位

图形"每步对应在折射率#%96)6的

介质内传输%)"!

的距离!

在本模拟

中总传输距离是@"A!

B"看到的限

制在导向层中的光!

仅以微小的分

数值泄漏7即逐渐消失5到基底和盖

板中"逸出导向层的光最终以散射

或衍射损失到系统外"在图!

7;5

 

是在构成导向板的两个%)0!

1厚低折射率层之间%)#0!

厚的夹层式膜层"在激活层中心的振幅增益是

*)#02每传输%)*!

""以高斯型沿!

逐渐变小!

同时在"方向保持均匀"

激活层外的介质背景损耗很小2掩

模振幅透射率%)3304!

但是在增益

层内和远离中心轴区域!

光振幅以

%)30因子衰减2每传输%)*!

5"在图6

7/5中!

掩模的相位在激活层内是

8)*$!

+在两相邻导向层是0)!

!

!

而在

基底和盖板区是%!

"这意味着!

如!

如果基底和盖板材料的折射率

是#%96)6!

则导向层的折射率#*96)!

0!

激活层介质的折射率#$96)!

:

"

实际上!

抽运增益介质使其局

部折射率下降!

所以比较实际的相

位掩模应类似于图62;5所示的!

在激活区中心的相位下降到!

)0!

2相

应于##96)!

#05"相位从这个极小值起沿!

轴以高斯型增加!

在激活层

的高吸收区达到8)*#!

"这导致沿!

轴反向导向2由于在激活层内折射

率不均匀5"在激活层内的高斯相位

剖面迫使激光束沿!

轴发散!

超过仅由增益剖面产生的发散<6!

!

="其余的掩模与图62/5中的情况一样"下

面首先给出用图62>#$%/5所示的振幅?

相位掩模"用传输方法的模拟结果!

确认仅由增益剖面引起的

中!

沿!

轴的峰?

谷相位变化为

*8%!

!

相应于几个微米的像散发散

光束"图!

下方一行的图与上方一

行的类似!

不同的是用掩模$得到的"与增益介质无折射率反向导向情况下比!

光束沿!

轴略有加宽"图!

7C5中峰?

谷相位变化是*:

0!

7沿!

轴5+对应着比图!

7;5情况有更大像散的发散束"

图!

7D5表示在上述模拟中得

到的光束功率与传输距离$的关

系"开始光功率下降!

因为初始光束对波导结构进行自身调整!

挡掉了与波导模剖面不匹配的光"然后增益介质起作用!

光功率指数上

 

图2在1--步光束传输方法后的"(&强度!

")&强度的对数!

"+&相位图形"在这些模拟中所用振幅’相位掩模*如图!

"(&$%)&所示"看到的限制在导向层中的光!

以弱的逐渐消失的尾部泄漏到基质和盖板中"在"+&中!

沿6轴峰’谷相位变化为*1-!

"下面一行4"7&8%9&5与上面一行4"(&8%+&5类似!

不同的是用掩模,得到的!

掩模,如图!

"(&$%+&所描述"在图"9&中!

峰’谷相位沿!

轴变化是*:

/!

"图";&表示在光束传输方法模拟中!

光束功率与传输距离的关系

 

*:

第!

"卷!

第#期

&’()!

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$%%!

年$月

!

"#"$%&’(

-./)$%%!

 

图"用无像差透镜捕获和准直从二极管激光器发出的单横模光束!

然后用剪切干涉仪分析"光束截面中任何相位改变都在剪切干涉图上以条纹形式表现

升!

因为限定模沿光轴传输"

!

剪切干涉仪

用无像差透镜捕获和准直单横模二极管激光束!

然后用剪切干涉仪分析!

如图0所示"剪切板产生两个全同的准直光束的复制束!

沿!

轴或"轴彼此有相移"同一光束的两个复制束在观察平面上叠加产生干涉图!

显示准直光束的相位结构"在准直镜出射光瞳上的任何相位不均匀性都在干涉图上以强度变化1即条纹2表现"

对!

%345%67二极管激光器发射的8!

"90!

光束!

图:

;左面<给出在

位于%):

#$准直透镜出射光瞳后面

*%77平面上的强度1上图<和相位"该透镜位于距激光束两光腰之间的中点%3!

)477处!

显示的相位花样分别对应于像散"&3*%!

7!

$%!

7!

9%!

7"对固定剪切量"!

3

图#左图$位于图"的准直镜出射光瞳

%)8771水平方向<和""3$)%771垂

外$%&&平面处的强度’上图(和

直方向

图:

右方给出在剪切板观

相位"%)#!

"的透镜位于激光束

’%*+,%-&.!

*/!

."*0"!

1两光腰

察窗观测到的强度花样#从上到下!

之间中点有一个焦距’#*!

)+&&1"

激光器的像散分别为"&3%!

*%!

7!

右图$在剪切板’$*%)/&&.%*

$%!

7和9%!

7"

2)%&&1观察窗上的强度花样"从

"用柱面透镜准直光束

上到下!

激光器的像散分别为

%&!

$%&!

2%&和0%&

 

图/用一对柱面透镜准直二极管激光束"

第一个透镜将光束沿快轴准直!

而第二个透镜将光束沿慢轴展开

*)04=*>%)%!

!

00;’?

’%<$@的梯度折射率材料制成"透镜的净孔径"!

3

0)%77!

""3")$77"激光器前表面

与该透镜第一表面之间的距离是

%)9!

577"用折射率(3"):

0均匀玻

璃制成的平面>柱面第二个透镜与

第一透镜相距%)94877"其厚度;沿

光轴方向<是9)$77!

长077!

曲率半径977!

净孔径")077"透镜表

面皆涂消反射膜"

图5表示在图8平面>柱面透镜后%)977处的观察平面上计算的强度和相位图形"透镜对捕获的光功率约5%A!

在观察平面上的均方根波前像差为B%)"4!

"同样的透镜对1轻微调整两镜间的距离

目前激光束像散情况!

可用于准直而不引起波前质量任何退化"

在光束准直前通过沿光束的慢轴传播!

则柱透镜对能够调节束截面的椭圆度"当然!

第二透镜需要的物理参量与希望的准直束的短轴和长轴比有关!

但是!

原则上任何椭圆度都能达到"这样!

柱面透镜对不仅能将二极管激光器的发散光束准直!

而且还能使光束截面整形1特别是成圆形<"

用柱面透镜准直二极管激光

束!

如图8所示"其中第一个透镜负

责沿快发散轴准直光束!

第二个透

镜负责沿慢轴扩束"当发散角度大

时!

具有梯度折射率的柱面透镜提

供更好的准直能力!

以及对剩余像

差的更好修正"

#渐变放大和光束压缩

考虑一具体的例子"波长!

%3

图4表示经渐变棱镜沿!

轴扩

45%67!

#!

38!

!

#"390!

+像散"&3%的

展光束后!

用无像差透镜使二极管

单横模光束"第一个透镜是半径’%3

激光束准直"这种准直的渐变放大

*)077!

长077柱形棒!

它由(1’<3

光束接着用无像差透镜聚焦!

其效

 

$,

第!

"卷!

第#期

&’()!

*+,’)$

$%%!

年$月

!

"#"$%&’(

-./)$%%!

果与最初对准直光束进行聚焦一

样"由于激光束发散角在平行和垂

直于结面有很大不同0即!

!

"!

#1!

沿!

轴的准直光束直径一般比沿"

轴的小很多"沿!

轴扩展光束!

直至

充满聚焦透镜的入射光瞳!

则能得

到本质上比在激光器前表面出现的

亮斑还小的光斑"

图*%表示在图2系统几个截

图!

从图"所示的透镜对射出的激光束#$%&!

’()*!

%"!

*#%+,!

!

像散!

%’-的强

面上的强度和相位计算图"激光参

度#.-和相位/01图形"对本模拟中选择的特殊透镜!

光功率透射率2!

’3!

均方根

量取"%324%56!

!

!

37!

!

!

#389!

!

波前像差’45&!

孔径截面上的峰6谷相位差为27!

’!

散##3%"准直镜和聚焦透镜数值孔

径$%3%):

!

&3!

)266!

棱镜对的放

大因子’39)9;沿!

轴<足够使光束

截面圆形化"图*%的顶行表示在

激光器前面的光束!

第二行表示进

入棱镜之前光束的椭圆截面!

其纵

横比=9)9"从棱镜对出射的光束呈

圆形0见第三行<"最后一行表示聚焦

平面上的聚焦斑点#把激光器前表

图&

二极管激光束准直后!

用棱镜对整形!

沿8轴将光束扩束"接着用与准直所用相

面亮椭圆斑点压缩而成的像有圆对

同的无像差透镜将准直$渐变放大的光束聚焦

称性!

沿!

轴显著减小了直径"

图**与图*%情况相似!

但将

二极管激光器沿!

轴位置移动到

!

3>$%!

6"光束的准直和渐变放大

工作如前述!

但是从准直镜出射的

光束与#轴倾斜约$8!

"棱镜对沿

!

轴将光束放大=9)9倍!

同时也将

光束的倾斜减小相同倍数"净结果

是把激光器前表面的亮椭圆斑点

像!

除了尺寸被压缩之外!

还使它

更靠近光轴;!

3?

8):

!

6<"这是一个

很重要的结果"例如!

可用于非相

干激光束的压缩"典型的高功率多

横模二极管激光可能有如上述;即

7!

"89!

<相同的发散角!

但是!

在前

表面上的亮斑很大!

比如!

=""

9%!

6$"这样!

激光的辐射剖面可认

图5’在图&系统几个截面上的强度/左1

图55与图5’情况相同!

但所用二极管

为是由大量互相不相干的光丝构

和相位/右1的对数值分布"透镜的数值孔

激光器沿8轴向左位移7’)!

成!

每个都类似于二极管激光器的

径"#%’49!

$%:

4&"棱镜由%%54"7玻璃制

/<-与/>-相比较!

看到通过棱镜对

相干光束;即单横模<"因此!

如果非

成!

其顶角为9&!

"/.%$&0-是在激光器前表

之后!

准直光束的倾角有显著减

相干激光中心的光丝与图"%描述

面!

/;%$&<-在准直镜出射光瞳的!

刚好进

小"激光束的像!

除被圆形化之外!

入棱镜对之前!

/=%$&>-从第二个棱镜进入!

更靠近在&%’的光轴!

如图/?

%$

的相干光束全同!

则图""就代表

/?

%$&@-聚焦透镜的焦平面

&@-所示

边缘的光丝"用图2的系统能这样

5&

出师表

两汉:

诸葛亮

  先帝创业未半而中道崩殂,今天下三分,益州疲弊,此诚危急存亡之秋也。

然侍卫之臣不懈于内,忠志之士忘身于外者,盖追先帝之殊遇,欲报之于陛下也。

诚宜开张圣听,以光先帝遗德,恢弘志士之气,不宜妄自菲薄,引喻失义,以塞忠谏之路也。

  宫中府中,俱为一体;陟罚臧否,不宜异同。

若有作奸犯科及为忠善者,宜付有司论其刑赏,以昭陛下平明之理;不宜偏私,使内外异法也。

  侍中、侍郎郭攸之、费祎、董允等,此皆良实,志虑忠纯,是以先帝简拔以遗陛下:

愚以为宫中之事,事无大小,悉以咨之,然后施行,必能裨补阙漏,有所广益。

  将军向宠,性行淑均,晓畅军事,试用于昔日,先帝称之曰“能”,是以众议举宠为督:

愚以为营中之事,悉以咨之,必能使行阵和睦,优劣得所。

  亲贤臣,远小人,此先汉所以兴隆也;亲小人,远贤臣,此后汉所以倾颓也。

先帝在时,每与臣论此事,未尝不叹息痛恨于桓、灵也。

侍中、尚书、长史、参军,此悉贞良死节之臣,愿陛下亲之、信之,则汉室之隆,可计日而待也

  臣本布衣,躬耕于南阳,苟全性命于乱世,不求闻达于诸侯。

先帝不以臣卑鄙,猥自枉屈,三顾臣于草庐之中,咨臣以当世之事,由是感激,遂许先帝以驱驰。

后值倾覆,受任于败军之际,奉命

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