14 FACILICY 1.docx

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14FACILICY1

动力部

气体化学品课

新员工培训材料

第一章

一般安全知识和守则。

一、员工和作业人员的安全卫生职责

二、一般安全卫生注意事项

1．安全卫生信念

2．服装注意事项

3．工作注意事项

4．通行注意事项

5．其它注意事项

三、储运作业注意事项

1、搬运作业注意事项

2、化学品搬运注意事项

3、手推车作业注意事项

4、钢瓶储运注意事项

四、电气作业注意事项

五、焊接作业注意事项

六、高架作业注意事项

七、消防安全注意事项

八、防护具的使用

九、急救和抢救

一十、事故通报和报告

第二章

6寸气体传输系统的介绍

一、SDC6寸气体传输系统

1．SDC6寸气体传输系统机构示意图和整体功能介绍

2．有毒气体气柜

3．有毒气体的VMB（Automation）

4．无毒气体的传输

5．毒气泄漏的检测

二、ALS气柜的介绍

三、6寸气体传输系统需要的材质介绍

四、主要元件的介绍

第三章

6寸化学品传输系统的介绍

一、CDM化学品传输系统

1．CDM化学品传输系统机构示意图和整体功能介绍

2．酸液传输柜的介绍

3．有机溶剂传输归的介绍

4．CVMB的介绍

二、CDM化学品传输系统的材质要求

三、主要元件的介绍

第四章

尾气的处理

一、水溶性气体的处理

二、可燃性气体的处理

三、目前流行的尾气处理方方式

第一章

一般安全知识和守则（1课时）

一、员工和作业人员的安全卫生职责

1、作业中严格按照标准作业程序。

（SOP）。

2、确实使用安全安全卫生防护用品，并能督导其他人员使用。

3、了解各种化学物质可能造成的危害及抢救办法。

4、对火源随时保持高度警惕。

5、确实遵守主管的指挥动作。

6、若发生意外事故立即报告主管及安全课，不可隐匿不报。

二、一般安全卫生注意事项

1、安全卫生信念

I.爱惜自己、关心别人、保护设备为每位员工应有的基本态度和责任。

II.相信零灾害是可以实现的。

III.保持愉快的心理状态，可以有效地防止灾害发生。

2、服装注意事项

I.进行各项作业活动，应穿规定的工作服。

II.工作场所，必须穿戴防护衣具。

III.衣服下端应放入裤内，袖口用纽扣扣入。

3、工作注意事项

I.传送工具材料要注意安全，不可随便乱放。

II.工作完毕，要把材料、工具放好，不可乱放。

III.工作时不要开玩笑、打闹。

4、其它注意事项

I.凡发现不安全的环境，应报告主管。

II.凡主管的不符合安全规定的指定，均可以拒绝。

III.严禁违反规定，冒险一试！

三、储运作业注意事项

1、搬运作业注意事项

I.不可以抛掷方式传递物料。

II.注意物品的锐边、尖角伤人。

2、化学品搬运、作业注意事项

I.以小心谨慎的态度进行化学品的搬运。

II.搬运前应注意化学品的性质，穿合适的防护用品。

III.化学品在搬运时严禁剧烈摇晃、滚动。

IV.搬运过程中注意化学品是否有外漏的现象，必要时做紧急处理。

V.搬运场所应注意是否有物质安全照料表，随时查阅。

VI.化学品作业必须有两人以上共同作业，以达互助之效果。

VII.了解化学品的种类、特性是作业人员必须具备的知识。

VIII.如果沾染了化学品必须用大量水冲洗并做进一步的处理。

3、手推车作业及钢瓶储运注意事项

I.禁止推手推车急行、奔跑。

II.手推车的零件如轮胎、轮轴、把手等损坏时，停止使用。

III.在拐角和叉路口应注意缓行。

IV.进入净化间时应用胶布包覆轮胎，以免污染。

V.钢瓶应标示气体的品名。

VI.钢瓶在使用、移动、储藏时必须保持直立。

VII.气瓶在使用时必须固定。

VIII.气体钢瓶不能放置在高温、热源处，并保持在40度以下。

IX.气瓶周围应有警示标签。

四、电气作业注意事项

I.不具备电气技术人员资格，不得担任电气作业。

II.电气设备因维修而关闭开关后应挂告示排并签字，恢复时取下安全标签后复电。

III.不得将电线裸接于插座上。

IV.非职权范围，不得操作各设备。

V.停电时必须关闭相关的开关，以防复电时损坏设备。

VI.电线破损时必须通知相关人员更换，以免发生火灾。

VII.设备地线应保持完好，不得中断。

五、焊接作业注意事项

I.严禁将焊接设备的地线接于楼梯、栏杆、使用中的油管、H2气管及其它易燃物品的管道、设备上，以免发生危险。

II.在潮湿的场所焊接必须穿绝缘鞋。

III.严禁在易燃易爆物品附近作业。

IV.移动焊接设备时必须断电。

V.作业人员应穿戴合适的防护用品。

六、高架作业注意事项

I.高架作业时不可嬉闹、玩耍。

II.金属梯子不可靠近电气装置。

III.高处作业后应清点工具、物体、并收拾完毕，严禁在高处遗留工具、物体，以免掉落造成伤害。

IV.应放置好梯子，防止打滑。

七、消防安全注意事项

I.火灾分类及灭火器的选择。

1）甲类火灾，由可燃固体或气体引起的火灾，可以使用水、干粉、泡沫灭火。

2）乙类火灾，可燃性气体、液体引起的火灾。

可以用CO2、干粉、泡沫灭火。

3）丙类火灾，通电设备引起的火灾。

可以使用CO2、干粉灭火。

II.熟悉灭火器的使用方法。

III.易燃的垃圾应投入加盖的金属容器内。

IV.在易燃物品的周围进行动火作业，应采取去除危险物的措施，并在周围放置灭火器材。

V.在可燃性气体存在场所从事动火作业，若气体浓度达到爆炸浓度下限的30%以上时必须停止作业，实施通风、换气作业。

VI.可燃性气体、化学品管道应该接地。

VII.灭火后应再三确认，以防复燃。

八、有害物质对人体的作用机序

1．危害物的原则

I.有害物质的质量观念：

任何一种物质均是有毒的，只要有足够量时，所以毒性强度应为——浓度*暴露时间=毒性等级。

2．危害物进入身体的途径

A.吞咽，由口腔到食道，由肠胃等消化器官吸收。

B.呼吸，有鼻到气管进入肺部，交换后进入血液而到达全身。

C.皮肤接触，皮肤本身需要呼吸，或有害物经皮肤破损处进入体内。

3．对身体的主要危害（见附页）。

九、安全标示（见附页）

一十、熟悉防护具的使用

一十一、急救和抢救

I.急救是指在医护人员到达前，对收伤害的员工，因做适当、有效的处理，避免导致更严重的后果。

II.员工应接受主管的命令，实施人员的疏散、紧急避难的义务。

III.要预防受伤害的人失温休克，可用棉被、衣服等盖在受伤的人身体上。

IV.对神志不清的、或疑有内伤者，均不可给食物和饮料。

V.简单急救方法见附页。

VI.

一十二、事故通报和报告

I.事故发生时，所有人员除对灾害现场进行紧急处理外，均应向外通报寻求支援。

II.具体过程见附页。

有害物质对人体的作用及机序附表一

No.

化学式

生态作用

备考、注

允许浓度

ppm

刺激性,腐蚀性

窒息性

对内脏的毒性

齿

皮眼气肺

肤上管水

呼炎肿

吸

道

酸Hb溶

性柔血

稀和

释性

肝脑心肾胃骨

障神脏肠

害经

系

酸蚀性

NH3

○○○○

CL2

○○○○

○

0.5

HCL

○○○○

○

HBR

○○○○

○

○○○○

○○○○○○

○

骨硬化症长期班状齿

H2O2

○○○○

CF4

○○

1000

PH3

○○○

○○○○

自燃发火性

0.3

B2H6

○○○

○○

100ppb

BCL3

○○○

加水分解成HCL

HCL5

SIH4

○○

自燃发火性

SICL4

○○○○

○

加水分解成HCL

HCL5

SIH2CL2

○○○

○

加水分解成HCL

SIF4

○○○○

○

骨硬化症加水分解成HF

安全标示

3M吸液棉使用方法

防毒面具使用事例

防毒面具的使用

防毒面具的保养

特气基本知识

序号

名称

特性

消防和泄漏处理

SIH4

易燃气体。

有恶臭，液体相对密度0.68

（-185℃），熔点-185℃，沸点-112℃，气体相对密度1.1；遇水缓慢分解；爆炸极限1%至100%；在高温时回自燃，遇热源和明火有着火爆炸危险，与卤素和氧化剂接触剧烈反应；有强刺激性。

消防：

切断气源。

若不能切断气源，则不允许

熄灭正在燃烧的气体。

喷水冷却容器，

可能的话将容器送至空旷地方。

灭火剂：

1.可用CO2扑救。

2.可用雾状水救。

3.可用大量水扑救。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限制

进入。

2.切断火源。

3.穿戴防毒面具、防护服、眼镜、手套等

将泄漏气体送至空旷地方。

PH3

气体。

有芥子气味；熔点-133℃，沸点-87.7℃，气体相对密度1.15；水溶性；在空气中易自燃，与氧接触会爆炸，与卤素接触激烈反应，遇热源，明火会着火爆炸；爆炸极限1.3%至98%；有强刺激性。

消防：

切断气源。

若不能切断气源，则不允许

熄灭正在燃烧的气体。

喷水冷却容器，

可能的话将容器送至空旷地方。

灭火剂：

1.可用CO2扑救。

2.可用雾状水扑救。

3.可用大量水扑救。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限制

进入。

2.切断火源。

3.穿戴防毒面具、防护服、眼镜、手套等

将泄漏气体送至空旷地方。

HCL

不燃液体。

有强烈刺激性气味；液体相对密度1.639（0℃），熔点-114.3℃，沸点-84.8℃，水溶性；遇水时有强腐蚀性，刺激性强，能严重刺激眼睛和呼吸道粘膜。

消防：

与其他物质接触引起火灾时，消防人员

须穿戴防护服，关闭气瓶阀门，减弱火

势，喷水冷却容器，可能的话将容器送

至空旷地方。

灭火剂1.可用CO2扑救。

2.可用雾状水扑救。

3.可用大量水扑救。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限制

进入。

2.处理人员穿戴防毒面具、防护服、

眼镜、手套等从上风处进入现场。

3.尽可能切断泄漏的气源

4.将泄漏气体用排风机送至水洗涤塔。

B2H6

易燃气体。

有恶心的烟火味，液体相对密度0.447（-112℃），沸点-92.5℃，气体相对密度0.95；遇水分解；在潮湿空气中能自燃，-18℃以上可分解；自燃点37.8-51.5℃，爆炸极限0.9%至98%；遇氧化剂和明火有着火爆炸危险，与氯、铝、锂、氧化物接触剧烈反应，并能遇水、氟氯烷灭火剂猛烈反应，还会腐蚀橡胶和某些塑料；蒸气能刺激皮肤、粘膜，甚至引起局部组织坏死。

消防：

切断气源。

若不能切断气源，则不允许

熄灭正在燃烧的气体。

喷水冷却容器，

可能的话将容器送至空旷地方。

灭火剂：

1.可用CO2扑救。

2.可用干粉扑救。

3.可用水泥、沙土、干粉、石墨等覆

盖。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限制

进入。

2.切断火源。

3.穿戴防毒面具、防护服、眼镜、手套等

将泄漏气体用排风机送至水洗涤塔。

NH3

剧毒易燃液体。

易液化；有刺激性臭味；液体相对密度0.77，熔点-77.7℃，沸点-33.35℃，气体相对密度0.197；水溶性；溶液呈强碱性；自燃点651℃，爆炸极限16%至25%；有油脂或其他可燃物存在时增加燃烧危险，与氧、氯发生剧烈反应并发生爆炸；对人体粘膜和皮肤有强烈刺激和腐蚀性。

消防：

切断气源。

若不能切断气源，则不允许

熄灭正在燃烧的气体。

喷水冷却容器，

可能的话将容器送至空旷地方。

灭火剂：

1.可用CO2扑救。

2.可用雾状水扑救。

3.可用大量水扑救。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限制

进入。

2.切断火源。

3.穿戴防毒面具、防护服、眼镜、手套等

将泄漏气体用排风机送至水洗涤塔。

SIH2CL2

无色气体。

易燃，液体相对密度1.26，熔点-122℃，沸点8.3℃，气体相对密度3.59；引燃点58℃，爆炸极限4.1%至99%；其蒸气能与空气形成范围广阔的爆炸性混合物。

遇热源和明火有着火爆炸危险，与卤素和氧化剂接触剧烈反应；遇水或水蒸气剧烈反应，生成盐酸烟雾。

消防：

切断气源。

若不能切断气源，则不允许

熄灭正在燃烧的气体。

喷水冷却容器，

可能的话将容器送至空旷地方。

灭火剂：

1.可用CO2扑救。

2.可用雾状水扑救。

3.可用干粉扑救。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限制

进入。

2.切断火源。

3.穿戴防毒面具、防护服、眼镜、手套等

尽可能切断泄漏源。

将泄漏气体用排风

机送至水洗涤塔。

化学品基本知识

序号

名称

特性

消防和泄漏处理

H2SO4

硫酸

酸性腐蚀品。

无色粘稠油状液体；相对密度1.834，熔点10.49℃，98%硫酸3℃，93%硫酸-32℃；水溶性；溶于水同时发生大量高热，会飞溅伤人或引起爆炸；强腐蚀性；与许多物质如木屑、纸张等接触猛烈反应，放出高热，并可起燃烧，遇电石、金属粉末及其他可燃性物质等能猛烈反应，发生爆炸或燃烧，遇金属即反应放出氢气；能严重灼伤眼睛和皮肤，对呼吸道有强刺激作用。

消防：

消防人员必须穿戴全身防酸碱服及空

气呼吸器。

灭火剂：

1.可用干粉扑救。

2.可用CO2扑救。

3.可用水泥、沙土、干粉、石墨等覆

盖。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限

制进入。

2.尽可能切断泄漏源。

3.穿戴防毒面具、胶鞋、防护服、眼

镜、手套等将地面撒上纯碱或小

苏打中和并用化学吸液棉吸收。

HCL

盐酸

酸性腐蚀品。

无色至微黄液体；相对密度1.12-1.19，凝固点-17---62℃；水溶性；对大多数金属有强腐蚀性，能与金属反应放出氢气与空气形成爆炸性混合物，与H发孔剂接触立即燃烧，与氰化物接触产生剧毒气体；有强刺激性和腐蚀性。

消防：

消防人员必须穿戴全身防酸碱服及空

气呼吸器。

灭火剂：

1.可用雾状水。

2.可用水泥、沙土、干粉、石墨等覆

盖。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限

制进入。

2.尽可能切断泄漏源。

3.穿戴防毒面具、胶鞋、防护服、眼

镜、手套等将地面撒上纯碱或小

苏打中和并用化学吸液棉吸收。

HNO3

硝酸

强氧化剂。

能与多种物质如金属粉末、电石硫化氢等猛烈反应，甚至发生爆炸。

与还原剂、可燃物如纤维素、木屑、棉花、纱头等接触引起燃烧并发出剧毒的棕色烟雾，具有强腐性。

消防：

消防人员必须穿戴全身防酸碱服及空

气呼吸器。

灭火剂：

1.可用CO2扑救。

2.可用雾状水。

3.可用水泥、沙土、干粉、石墨等覆

盖。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限

制进入。

2.尽可能切断泄漏源。

3.穿戴防毒面具、胶鞋、防护服、眼

镜、手套等将地面撒上纯碱或小

苏打中和并用化学吸液棉吸收。

氢氟酸

酸性腐蚀品。

无色发烟液体，一般试剂含氢氟酸40%，有刺激性气味，极易挥发；不燃，能与金属反应放出氢气与空气形成爆炸性混合物，对大多数金属以及硅和硅化合物（如玻璃、陶瓷器等）发生腐蚀作用；对人体有强刺激性和腐蚀性。

消防：

消防人员必须穿戴全身防酸碱服及空

气呼吸器。

灭火剂：

1.可用雾状水。

2.可用蛋白泡沫

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限

制进入。

2.尽可能切断泄漏源。

3.穿戴防毒面具、胶鞋、防护服、眼

镜、手套等将地面撒上纯碱或小

苏打中和并用化学吸液棉吸收。

H3PO4

磷酸

酸性腐蚀品。

无色粘稠液体，吸湿性强；相对密度1.834（18℃），熔点41.5℃，85%磷酸相对密度1.685（25℃），凝固点21.1℃，沸点158℃，水溶性；不燃，能与金属反应放出氢气与空气形成爆炸性混合物，有强腐蚀性。

消防：

用雾状水喷水冷却容器，用大量水灭

火。

灭火剂：

1.可用CO2扑救。

2.可用干粉扑救。

3.可用雾状水。

4.可用水泥、沙土、干粉、石墨等覆

盖。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限

制进入。

2.尽可能切断泄漏源。

3.穿戴防毒面具、胶鞋、防护服、眼

镜、手套等将地面撒上纯碱或小

苏打中和并用化学吸液棉吸收。

CH3COOH

醋酸

酸性腐蚀品。

无色液体或结晶；有强刺激性酸味；相对密度1.0492，熔点16.63℃，沸点118℃，蒸气相对密度2.07；水溶性；易燃，闪点40℃，自燃点427℃，爆炸极限4%至17%；与硝酸或其他氧化剂接触有爆炸危险，对人体有强刺激性和腐蚀性。

消防：

用雾状水喷水冷却容器，用水喷射逸

出的液体使其稀释成不燃的混合物，

并用雾状水保护消防人员。

灭火剂：

1.可用CO2扑救。

2.可用干粉扑救。

3.可用雾状水。

泄漏：

1.人员至上风处，并立即隔离严格限

制进入。

2.切断火源。

3.尽可能切断泄漏源。

4.穿戴防毒面具、胶鞋、防护服、眼

镜、手套等将地面撒上纯碱或小

苏打中和并用化学吸液棉吸收。

MOS超净厂房立面示意图

上夹层

隔栅地板

第二章

6寸气体传输系统的介绍（2课时）

一、SDC6寸气体传输系统

1、SDC6寸气体/化学品传输系统监控机构示意图和整体功能介绍（见附页）

SDC6寸气体/化学品传输系统监控系统用于监控气体化学品传输系统和尾气处理装置的运行情况，主要监控气柜的运行状态、CDM系统的运行状态、气柜和CDM的报警状态和阀门的开启状态、尾气处理装置包括SCRUBBER和BURN-BOX的报警情况等。

SDC-气体输送系统的正常的供气流程是：

VMB首先发出要求用气的信号，然后气柜自动检查状态是否正常，并发出气体有效信号（gasavailability）给VMB，然后VMB发出准备好信号（readysignal）给VMB，同时打开气动阀供气。

在化学品自动供液系统中，当设备需要用化学品时，发出需要使用的信号给CVMB，CVMB打开气动阀向工艺设备供液。

每个有毒气体气柜和VMB均有COSMOS毒气报警装置，气柜和VMB在得到报警信号后立即关闭相应的气动阀，同时监控电脑发出报警信号。

每个CDM柜和CVMB内均有化学品泄漏传感器，一旦探测到漏液均会导致设备停机。

BURNBOX用于对工艺设备排出的尾气中SIH4成分的处理，任何BURN-BOX的报警信号均将导致SIH4气柜和VMB的关闭。

BURN-BOX的CDA流量和N2压力、BURN-BOX内部的气体反应温度和电源关闭均会导致报警。

2、有毒气体气柜（见附页）

3、有毒气体的VMB（Automation）（见附页）

4、无毒气体的传输（见附页）

SDC-CGDS是专门为多种无毒气体在多个使用点使用设计的，该系统主要包括3个部分，cylinderstation和controlpanel，气体系统控制中心（Gassystemcontrolcenter）,和遥控系统状态面板（remotesystemstatuspanel.），controlpanel包含气体的分配、隔离、和压力调节部件，气体系统控制中心（Gassystemcontrolcenter）主要是提供一个PC机的操作界面，通过PC机上的操作提供信号来控制打开和关闭CGDS的阀门，同时可以监控CGDS的状态如压力、重量、切换点、报警记录的等信号。

气体系统控制中心（Gassystemcontrolcenter）包括PC机、PLC电源、信号转换器、和功率分配电路。

remotesystemstatuspanel.主要用于换钢瓶操作。

5、毒气泄漏的检测（见附业页）

二、ALS气柜的介绍（见附页）。

要求阅读AIRLIQUIDE的培训材料，并进行操作考核。

三、6寸气体传输系统（气柜、VMB）需要的材质及UHP要求规范介绍

材质：

316LEP不锈钢,表面光洁度至少10Ra。

UHPSpecifications:

Maximuminboardleakrate=3*10-9atmcc/sec.He.

Maximumcross-seatleakrate=4*10-8atmcc/sec.He.

Maximumimpurities=≤20ppbvforH20,O2&THC≤10.

particles,≥0.01u/ft3.

24小时保压无压力泄漏，保压压力为1.5倍工作压力。

四、主要元件的介绍

1.调压阀：

Aptech、Veriflo、TESCOM的调压阀均为品质优良的调压阀，在选用调压阀是要注意以下几点：

Ø调压阀的输出压力范围。

Ø调压阀的输入压力，也就是耐压，这很重要，否则可能发生安全事故。

ØLowinternalvolumeandzero“deadleg”这是调压阀的品质优良的一个方面。

ØCV值。

CV值决定阀的流量，在选用调压阀时必须根据要求的流量来查找CV值合适的调压阀。

Ø根据要求的压力稳定度和其他要求来决定选用是否选用一级或二级调压阀。

Ø根据介质的特性来决定调压阀的材质，如腐蚀性气体一般选用耐腐蚀性比较好的调压阀，一般可以选用镍合金或哈氏合金的材料。

具体调压阀的选用可以参考附录。

2.过滤器：

密理博的颇尔的过滤器均为品质优良的过滤器，用于过滤气体介质中的颗粒成分，在选用调压阀时要注意以下几点：

Ø过滤器的材质要求，不同的气体介质需要使用不同的过滤器材质，一般惰性气体和腐蚀性不强的气体均推荐使用PTFE材质或不锈钢材质，一般PTFE材质的过滤器过滤的颗粒较不锈钢的小，效果较好，如果在超高纯气体中使用，一般推荐使用NICKEL合金材质，如果需要进一步提高气体纯度，去除水、氧等杂质，可以使用PURIFIEF。

具体选用可以参考附录。

Ø必须考虑过滤器的通气量，根据气体的流量需要来选择。

Ø必须考虑过滤器本身造成的气体流通时的压力降。

Ø考虑对气体颗粒度的要来选择过滤器，达到良好的性价比，一般在高纯气体管道中，要求过滤器能够过滤0.003u的颗粒。

Ø选用过滤器时必须注意尺寸和接口形

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