IA888邦定机评估报告.docx
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IA888邦定机评估报告
标题
IA888-05009、IA888-05010自动邦定机
日期
2006-3-3
序号
06003
摘要
对二台新机器IA888邦定机从ACF的对位精度、ACF贴付良率、IC的对位精度、IC邦定良率、机器故障、机器产能、可靠性、主邦定压头温度八个方面做评估,评估结果OK,可通过验收。
改善目标
评估原因:
COG产量扩大,现IC邦定机月产量已经不能满足生产要求,而增加的机器。
评估方法:
L
X
⑴ACF贴付精度的评估:
贴付长度L误差±0.5mm,X方向上贴付误差±0.40mm,Y方向上贴付误差±0.25mm,三者的Pp>1.33,AC-8922Y的ACF的贴付测量,测量示意图如下:
Y
ACF
LCD
⑵机器的ACF贴付良率:
按照正常工艺二台自动邦定机用AC-8922Y各贴付450PCS(参数设置邦定气压0.14Mpa,温度90℃,邦定时间为2S),检查贴付效果。
⑶IC的对位精度:
每压头各抽30PCS测量X、Y偏移,USL=5μm,LSL=-5μm,PPK>1.33;测量方法如附二。
⑷机器的邦定良率(只考虑机器本身造成的):
二台邦定机投入433-01进行生产,用邦定参数设置如下(实测温度210±5℃,邦定时间7S,ACF为AC8922Y),邦定后功能测试,挑出不良品进行分析,该邦定机邦定时是否会导致设备本身邦定不良。
⑸机器故障:
要求机器不能存在影响我公司生产和产品质量的问题存在。
⑹机器产能:
正常生产状态下,不考虑机器发生故障和其他外在因素所消耗的时间,按照现有的工艺邦定(时间设置为7S)MSGP9065-02,测量机器的UPH,要求UPH﹚800PCS/H。
⑺所生产的产品可靠性测试(只考虑机器本身造成的):
二台自动邦定机用AC-8922Y来邦定433-01,功能测试结果OK后,点好硅胶和贴好偏光片,做高温测试(70℃/72hrs)、高温高湿(40℃/90%RH/96hrs)、低温测试(-20℃/72hrs)、高低温循环测试(-20℃/30分--70℃/30分,共10个循环);实验后做功能测试和IDD检测。
⑻主邦定压头温度实际测量:
将测温治具上的热电偶接上测温仪器,再将测温治具放在主邦定压头下面;按MainbondT设定温度,主压头下压在测温治具上,测温仪器读出邦定实际温度。
要求2秒内达到90%的设定高温)。
主邦定压头
热电偶
热电偶外接测温仪器
测温治具
评估结果:
⑴ACF贴付精度:
下表为ACF贴付精度的总结,详细数据参考附一。
机器型号
ACFP/N
Lengthset
(mm)
Pp
Cuttinglength
X-axis(mm)
Y-axis(mm)
05009-L
AC8922Y*2.5
14.5
9.82
2.54
1.35
05009-R
AC8922Y*2.5
14.5
9.20
4.29
2.30
05010-L
AC8922Y*2.5
14.5
1.72
1.41
1.52
05010-R
AC8922Y*2.5
14.5
1.77
1.41
1.50
注:
Pp>1.33。
⑵机器的ACF贴付良率
机器型号
ACF型号
产品型号
投入
良品
良率
不良
重叠
卷曲
气泡
破孔
05009-L
AC8922Y*2.5
433-01
450
449
99.7%
1
05009-R
AC8922Y*2.5
433-01
450
447
99.3%
2
1
05010-L
AC8922Y*2.5
433-01
450
450
100%
05010-R
AC8922Y*2.5
433-01
450
448
99.5%
1
1
⑶IC的对位精度PPK>1.33,下表为测试数据分析结果,具体测试数据参考附三。
Item
SK-COGIA-05009
SK-COGIA-05010
1#
2#
3#
4#
1#
2#
3#
4#
Ppk(X-Axis)
2.354
2.804
1.927
2.776
1.873
1.953
1.970
1.902
Ppk(y-Axis)
2.690
2.686
2.010
2.137
2.436
1.647
1.733
1.850
⑷机器的邦定良率
机器型号
作业型号
作业数量
不良数
良率
不良项目
缺划
短路
异常
异物
IA-05009
433-01
300PCS
4PCS
98.7%
2
1
0
1
IA-05010
433-01
300PCS
4PCS
98.7%
1
0
2
1
注:
阴影部分为非功能性不良。
⑸机器供应商维修后主要问题都已经解决,可以接受,曾经发生的故障参照附四。
⑹机器产能:
M/CS/N
SK-COGIA-5009
SK-COGIA-5009
Trial
n
Time(Sec)
n
Time(Sec)
1
20
85
20
87
2
20
86
20
85
3
20
87
20
86
4
20
85
20
84
5
20
88
20
86
Tacttime
4.31S/PCS
4.28S/PCS
UPH
835PCS/H
841PCS/H
注:
测量样品d2,要求值UPH﹚800PCS/H
⑺可靠性测试结果合格,请参照附五
⑻主邦定压头温度测试,温度曲线参照附六。
结果分析:
⑴ACF的对位精度合格
⑵机器的ACF贴附不良原因分析:
3PCSACF卷曲由于ACF沾附压头表面赃物引起,3PCS气泡由于LCD上有个异物导致。
没有因机器而导致的贴付不良发生,试产结果OK。
⑶IC的对位精度合格
⑷机器的邦定不良原因分析:
IA888-05009不良分析结果
a.2PCS缺划是因为ITO划伤;
b.1PCS短路是因为夹缝异物引起;
c.1PCS异物为邦定异物。
IA888-05010不良分析结果
a.1PCS缺划为内部ITO短路;
b.2PCS异常为邦定异物引起;
c.1PCS异物为邦定异物。
非功能性不良是由于制程中发生的不良问题,与IC邦定机器本身没有关系。
从以上分析结果来看,该邦定机的邦定结果OK。
⑸机器供应商维修后主要问题都已经解决。
⑹机器产能符合我公司要求
⑺可靠性结果合格。
⑻主邦定压头温度曲线合格。
结论:
从以上ACF的对位精度、ACF贴付良率、IC的对位精度、IC邦定良率、机器故障、机器产能、可靠性、主邦定压头温度结果来看,符合我公司要求,合格,可以接受
实施计划:
附件:
附一:
ACF贴付精度报告附二:
IC对位精度X、Y方向测量方法
附三:
IC对位精度CPK测量数据附四:
机器故障
附五:
可靠性报告附六:
IC邦定压头温度测试记录
名字
签名
日期
报告人
批准人
附一
05009L
IAT:
ACFMachineCutting&AttachmentAccuracy
Date:
07Mar2005
MachineSN:
SK-COG-IA888-05009
Temperature(oC)=
100
ModelNo:
STN
Bondingpressure(MPa)=
0.14
ACFP/N:
AC-8922Y
Bondingtime(sec)=
2
ACFWidth:
2.5
Lengthset(mm)=
14.5
No
CUTTING
ATTACHMENT
Length(mm)
X-axis(mm)
Y-axis(mm)
1
6.471
14.489
3.483
2
6.530
14.344
3.507
3
6.478
14.456
3.580
4
6.499
14.364
3.542
5
6.484
14.336
3.539
6
6.485
14.438
3.583
7
6.457
14.464
3.558
8
6.469
14.421
3.552
9
6.458
14.443
3.543
10
6.497
14.399
3.583
11
6.508
14.437
3.518
12
6.473
14.407
3.534
13
6.494
14.356
3.507
14
6.488
14.422
3.531
15
6.467
14.421
3.478
16
6.486
14.431
3.532
17
6.484
14.407
3.484
18
6.475
14.412
3.507
19
6.478
14.356
3.533
20
6.514
14.371
3.547
21
6.476
14.432
3.479
22
6.497
14.343
3.508
23
6.489
14.344
3.509
24
6.489
14.403
3.455
25
6.509
14.403
3.458
26
6.484
14.409
3.494
27
6.510
14.404
3.448
28
6.480
14.393
3.531
29
6.469
14.429
3.479
30
6.500
14.367
3.537
Min
6.457
14.336
3.448
Max
6.530
14.489
3.583
Range
0.073
0.153
0.135
Mean
6.487
14.403
3.518
Stdev
0.017
0.039
0.037
Tolerance(±mm)
0.5
0.3
0.15
USL
7
-
-
LSL
6
-
-
Pp
9.82
2.54
1.35
PpKU
10.09
-
-
PpkL
9.56
-
-
Ppk
9.56
-
-
05009R
No
CUTTING
ATTACHMENT
Length(mm)
X-axis(mm)
Y-axis(mm)
1
6.48
14.688
3.566
2
6.480
14.698
3.518
3
6.480
14.655
3.545
4
6.449
14.730
3.581
5
6.443
14.706
3.565
6
6.457
14.710
3.573
7
6.463
14.712
3.534
8
6.500
14.672
3.538
9
6.470
14.705
3.588
10
6.465
14.713
3.570
11
6.482
14.682
3.555
12
6.474
14.700
3.546
13
6.500
14.696
3.582
14
6.490
14.690
3.546
15
6.447
14.706
3.540
16
6.473
14.687
3.541
17
6.465
14.748
3.517
18
6.488
14.698
3.535
19
6.478
14.705
3.522
20
6.481
14.758
3.575
21
6.489
14.700
3.546
22
6.487
14.678
3.540
23
6.499
14.685
3.581
24
6.480
14.697
3.534
25
6.467
14.702
3.543
26
6.492
14.691
3.558
27
6.496
14.658
3.528
28
6.457
14.725
3.529
29
6.466
14.691
3.542
30
6.426
14.743
3.504
Min
6.426
14.655
3.504
Max
6.500
14.758
3.588
Range
0.074
0.103
0.084
Mean
6.474
14.701
3.548
Stdev
0.018
0.023
0.022
Tolerance(±mm)
0.5
0.3
0.15
USL
7
-
-
LSL
6
-
-
Pp
9.20
4.29
2.30
PpKU
9.68
-
-
PpkL
8.73
-
-
Ppk
8.73
-
-
05010L
No
CUTTING
ATTACHMENT
Length(mm)
X-axis(mm)
Y-axis(mm)
1
6.455
14.393
3.386
2
6.380
14.446
3.387
3
6.525
14.561
3.359
4
6.587
14.465
3.408
5
6.638
14.340
3.414
6
6.572
14.411
3.416
7
6.358
14.548
3.399
8
6.577
14.410
3.341
9
6.383
14.555
3.408
10
6.512
14.393
3.401
11
6.443
14.439
3.403
12
6.442
14.407
3.337
13
6.306
14.463
3.405
14
6.437
14.427
3.349
15
6.471
14.337
3.400
16
6.495
14.488
3.366
17
6.454
14.555
3.427
18
6.541
14.456
3.407
19
6.493
14.491
3.432
20
6.287
14.513
3.412
21
6.558
14.340
3.397
22
6.508
14.325
3.387
23
6.630
14.394
3.429
24
6.302
14.467
3.358
25
6.486
14.383
3.386
26
6.342
14.490
3.329
27
6.592
14.425
3.324
28
6.581
14.449
3.357
29
6.452
14.490
3.337
30
6.475
14.301
3.438
Min
6.287
14.301
3.324
Max
6.638
14.561
3.438
Range
0.351
0.260
0.114
Mean
6.476
14.439
3.387
Stdev
0.097
0.071
0.033
Tolerance(±mm)
0.5
0.3
0.15
USL
7
-
-
LSL
6
-
-
Pp
1.72
1.41
1.52
PpKU
1.80
-
-
PpkL
1.64
-
-
Ppk
1.64
-
-
05010R
No
CUTTING
ATTACHMENT
Length(mm)
X-axis(mm)
Y-axis(mm)
1
6.554
14.653
3.205
2
6.308
14.769
3.163
3
6.609
14.658
3.257
4
6.421
14.708
3.175
5
6.524
14.613
3.185
6
6.401
14.695
3.243
7
6.479
14.607
3.243
8
6.431
14.639
3.177
9
6.565
14.681
3.211
10
6.275
14.683
3.239
11
6.598
14.551
3.273
12
6.535
14.520
3.235
13
6.416
14.600
3.232
14
6.598
14.653
3.176
15
6.313
14.754
3.231
16
6.586
14.601
3.236
17
6.449
14.591
3.150
18
6.528
14.695
3.202
19
6.397
14.730
3.187
20
6.513
14.735
3.201
21
6.483
14.763
3.244
22
6.319
14.770
3.206
23
6.436
14.748
3.216
24
6.461
14.722
3.192
25
6.450
14.634
3.150
26
6.561
14.739
3.252
27
6.488
14.638
3.187
28
6.562
14.604
3.233
29
6.599
14.563
3.197
30
6.461
14.584
3.166
Min
6.275
14.520
3.150
Max
6.609
14.770
3.273
Range
0.334
0.250
0.123
Mean
6.477
14.663
3.209
Stdev
0.094
0.071
0.033
Tolerance(±mm)
0.5
0.3
0.15
USL
7
-
-
LSL
6
-
-
Pp
1.77
1.41
1.50
PpKU
1.85
-
-
PpkL
1.69
-
-
Ppk
1.69
-
-
附二:
IC对位精度X、Y方向测量方法
附三:
IC对位精度测量数据
AUTOCOGBONDINGALIGNMENT
Date:
11-08-05
ModelNo:
STN
AUTOCOGMachineS/N:
SK-COGIA888-05009-1#
LotNo:
Objlens:
40x
No
X-AxisAlignment
Y-AxisAlignment
ICbumpwidth,A
ITOlinewidth,B
Z
X
X-axisshift,SX
ICbumpwidth,A
ITOlinewidth,B
Z
Y
X-axisshift,SY
L1
37.970
34.900
1.535
-3.610
-2.075
37.370
34.080
1.645
-2.030
-0.385
L2
38.160
34.380
1.890
-2.840
-0.950
38.020
32.250
2.885
-4.350
-1.465
L3
39.140
29.970
4.585
-4.650
-0.065
38.790
29.870
4.460
-3.260
1.200
L4
38.900
31.200
3.850
-5.720
-1.870
39.990
30.240
4.875
-4.600
0.275
L5
38.590
36.130
1.230
-2.030
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-1.2