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IA888邦定机评估报告

标题

IA888-05009、IA888-05010自动邦定机

日期

2006-3-3

序号

06003

摘要

对二台新机器IA888邦定机从ACF的对位精度、ACF贴付良率、IC的对位精度、IC邦定良率、机器故障、机器产能、可靠性、主邦定压头温度八个方面做评估,评估结果OK,可通过验收。

改善目标

评估原因:

COG产量扩大,现IC邦定机月产量已经不能满足生产要求,而增加的机器。

评估方法:

L

X

⑴ACF贴付精度的评估:

贴付长度L误差±0.5mm,X方向上贴付误差±0.40mm,Y方向上贴付误差±0.25mm,三者的Pp>1.33,AC-8922Y的ACF的贴付测量,测量示意图如下:

Y

 

ACF

LCD

 

⑵机器的ACF贴付良率:

按照正常工艺二台自动邦定机用AC-8922Y各贴付450PCS(参数设置邦定气压0.14Mpa,温度90℃,邦定时间为2S),检查贴付效果。

⑶IC的对位精度:

每压头各抽30PCS测量X、Y偏移,USL=5μm,LSL=-5μm,PPK>1.33;测量方法如附二。

⑷机器的邦定良率(只考虑机器本身造成的):

二台邦定机投入433-01进行生产,用邦定参数设置如下(实测温度210±5℃,邦定时间7S,ACF为AC8922Y),邦定后功能测试,挑出不良品进行分析,该邦定机邦定时是否会导致设备本身邦定不良。

 

⑸机器故障:

要求机器不能存在影响我公司生产和产品质量的问题存在。

⑹机器产能:

正常生产状态下,不考虑机器发生故障和其他外在因素所消耗的时间,按照现有的工艺邦定(时间设置为7S)MSGP9065-02,测量机器的UPH,要求UPH﹚800PCS/H。

⑺所生产的产品可靠性测试(只考虑机器本身造成的):

二台自动邦定机用AC-8922Y来邦定433-01,功能测试结果OK后,点好硅胶和贴好偏光片,做高温测试(70℃/72hrs)、高温高湿(40℃/90%RH/96hrs)、低温测试(-20℃/72hrs)、高低温循环测试(-20℃/30分--70℃/30分,共10个循环);实验后做功能测试和IDD检测。

⑻主邦定压头温度实际测量:

将测温治具上的热电偶接上测温仪器,再将测温治具放在主邦定压头下面;按MainbondT设定温度,主压头下压在测温治具上,测温仪器读出邦定实际温度。

要求2秒内达到90%的设定高温)。

 

主邦定压头

 

热电偶

热电偶外接测温仪器

测温治具

 

评估结果:

⑴ACF贴付精度:

下表为ACF贴付精度的总结,详细数据参考附一。

机器型号

ACFP/N

Lengthset

(mm)

Pp

Cuttinglength

X-axis(mm)

Y-axis(mm)

05009-L

AC8922Y*2.5

14.5

9.82

2.54

1.35

05009-R

AC8922Y*2.5

14.5

9.20

4.29

2.30

05010-L

AC8922Y*2.5

14.5

1.72

1.41

1.52

05010-R

AC8922Y*2.5

14.5

1.77

1.41

1.50

注:

Pp>1.33。

⑵机器的ACF贴付良率

机器型号

ACF型号

产品型号

投入

良品

良率

不良

重叠

卷曲

气泡

破孔

05009-L

AC8922Y*2.5

433-01

450

449

99.7%

 

 

1

 

05009-R

AC8922Y*2.5

433-01

450

447

99.3%

 

2

1

 

05010-L

AC8922Y*2.5

433-01

450

450

100%

 

 

 

 

05010-R

AC8922Y*2.5

433-01

450

448

99.5%

 

1

1

 

⑶IC的对位精度PPK>1.33,下表为测试数据分析结果,具体测试数据参考附三。

Item

SK-COGIA-05009

SK-COGIA-05010

1#

2#

3#

4#

1#

2#

3#

4#

Ppk(X-Axis)

2.354

2.804

1.927

2.776

1.873

1.953

1.970

1.902

Ppk(y-Axis)

2.690

2.686

2.010

2.137

2.436

1.647

1.733

1.850

⑷机器的邦定良率

机器型号

作业型号

作业数量

不良数

良率

不良项目

缺划

短路

异常

异物

IA-05009

433-01

300PCS

4PCS

98.7%

2

1

0

1

IA-05010

433-01

300PCS

4PCS

98.7%

1

0

2

1

注:

阴影部分为非功能性不良。

⑸机器供应商维修后主要问题都已经解决,可以接受,曾经发生的故障参照附四。

⑹机器产能:

M/CS/N

SK-COGIA-5009

SK-COGIA-5009

Trial

n

Time(Sec)

n

Time(Sec)

1

20

85

20

87

2

20

86

20

85

3

20

87

20

86

4

20

85

20

84

5

20

88

20

86

Tacttime

4.31S/PCS

4.28S/PCS

UPH

835PCS/H

841PCS/H

注:

测量样品d2,要求值UPH﹚800PCS/H

⑺可靠性测试结果合格,请参照附五

⑻主邦定压头温度测试,温度曲线参照附六。

结果分析:

⑴ACF的对位精度合格

⑵机器的ACF贴附不良原因分析:

3PCSACF卷曲由于ACF沾附压头表面赃物引起,3PCS气泡由于LCD上有个异物导致。

没有因机器而导致的贴付不良发生,试产结果OK。

⑶IC的对位精度合格

⑷机器的邦定不良原因分析:

IA888-05009不良分析结果

a.2PCS缺划是因为ITO划伤;

b.1PCS短路是因为夹缝异物引起;

c.1PCS异物为邦定异物。

IA888-05010不良分析结果

a.1PCS缺划为内部ITO短路;

b.2PCS异常为邦定异物引起;

c.1PCS异物为邦定异物。

非功能性不良是由于制程中发生的不良问题,与IC邦定机器本身没有关系。

从以上分析结果来看,该邦定机的邦定结果OK。

⑸机器供应商维修后主要问题都已经解决。

⑹机器产能符合我公司要求

⑺可靠性结果合格。

⑻主邦定压头温度曲线合格。

结论:

从以上ACF的对位精度、ACF贴付良率、IC的对位精度、IC邦定良率、机器故障、机器产能、可靠性、主邦定压头温度结果来看,符合我公司要求,合格,可以接受

实施计划:

附件:

附一:

ACF贴付精度报告附二:

IC对位精度X、Y方向测量方法

附三:

IC对位精度CPK测量数据附四:

机器故障

附五:

可靠性报告附六:

IC邦定压头温度测试记录

名字

签名

日期

报告人

批准人

 

附一

05009L

IAT:

ACFMachineCutting&AttachmentAccuracy

Date:

07Mar2005

MachineSN:

SK-COG-IA888-05009

Temperature(oC)=

100

ModelNo:

STN

Bondingpressure(MPa)=

0.14

ACFP/N:

AC-8922Y

Bondingtime(sec)=

2

ACFWidth:

2.5

Lengthset(mm)=

14.5

No

CUTTING

ATTACHMENT

Length(mm)

X-axis(mm)

Y-axis(mm)

1

6.471

14.489

3.483

2

6.530

14.344

3.507

3

6.478

14.456

3.580

4

6.499

14.364

3.542

5

6.484

14.336

3.539

6

6.485

14.438

3.583

7

6.457

14.464

3.558

8

6.469

14.421

3.552

9

6.458

14.443

3.543

10

6.497

14.399

3.583

11

6.508

14.437

3.518

12

6.473

14.407

3.534

13

6.494

14.356

3.507

14

6.488

14.422

3.531

15

6.467

14.421

3.478

16

6.486

14.431

3.532

17

6.484

14.407

3.484

18

6.475

14.412

3.507

19

6.478

14.356

3.533

20

6.514

14.371

3.547

21

6.476

14.432

3.479

22

6.497

14.343

3.508

23

6.489

14.344

3.509

24

6.489

14.403

3.455

25

6.509

14.403

3.458

26

6.484

14.409

3.494

27

6.510

14.404

3.448

28

6.480

14.393

3.531

29

6.469

14.429

3.479

30

6.500

14.367

3.537

Min

6.457

14.336

3.448

Max

6.530

14.489

3.583

Range

0.073

0.153

0.135

Mean

6.487

14.403

3.518

Stdev

0.017

0.039

0.037

Tolerance(±mm)

0.5

0.3

0.15

USL

7

-

-

LSL

6

-

-

Pp

9.82

2.54

1.35

PpKU

10.09

-

-

PpkL

9.56

-

-

Ppk

9.56

-

-

05009R

No

CUTTING

ATTACHMENT

Length(mm)

X-axis(mm)

Y-axis(mm)

1

6.48

14.688

3.566

2

6.480

14.698

3.518

3

6.480

14.655

3.545

4

6.449

14.730

3.581

5

6.443

14.706

3.565

6

6.457

14.710

3.573

7

6.463

14.712

3.534

8

6.500

14.672

3.538

9

6.470

14.705

3.588

10

6.465

14.713

3.570

11

6.482

14.682

3.555

12

6.474

14.700

3.546

13

6.500

14.696

3.582

14

6.490

14.690

3.546

15

6.447

14.706

3.540

16

6.473

14.687

3.541

17

6.465

14.748

3.517

18

6.488

14.698

3.535

19

6.478

14.705

3.522

20

6.481

14.758

3.575

21

6.489

14.700

3.546

22

6.487

14.678

3.540

23

6.499

14.685

3.581

24

6.480

14.697

3.534

25

6.467

14.702

3.543

26

6.492

14.691

3.558

27

6.496

14.658

3.528

28

6.457

14.725

3.529

29

6.466

14.691

3.542

30

6.426

14.743

3.504

Min

6.426

14.655

3.504

Max

6.500

14.758

3.588

Range

0.074

0.103

0.084

Mean

6.474

14.701

3.548

Stdev

0.018

0.023

0.022

Tolerance(±mm)

0.5

0.3

0.15

USL

7

-

-

LSL

6

-

-

Pp

9.20

4.29

2.30

PpKU

9.68

-

-

PpkL

8.73

-

-

Ppk

8.73

-

-

05010L

No

CUTTING

ATTACHMENT

Length(mm)

X-axis(mm)

Y-axis(mm)

1

6.455

14.393

3.386

2

6.380

14.446

3.387

3

6.525

14.561

3.359

4

6.587

14.465

3.408

5

6.638

14.340

3.414

6

6.572

14.411

3.416

7

6.358

14.548

3.399

8

6.577

14.410

3.341

9

6.383

14.555

3.408

10

6.512

14.393

3.401

11

6.443

14.439

3.403

12

6.442

14.407

3.337

13

6.306

14.463

3.405

14

6.437

14.427

3.349

15

6.471

14.337

3.400

16

6.495

14.488

3.366

17

6.454

14.555

3.427

18

6.541

14.456

3.407

19

6.493

14.491

3.432

20

6.287

14.513

3.412

21

6.558

14.340

3.397

22

6.508

14.325

3.387

23

6.630

14.394

3.429

24

6.302

14.467

3.358

25

6.486

14.383

3.386

26

6.342

14.490

3.329

27

6.592

14.425

3.324

28

6.581

14.449

3.357

29

6.452

14.490

3.337

30

6.475

14.301

3.438

Min

6.287

14.301

3.324

Max

6.638

14.561

3.438

Range

0.351

0.260

0.114

Mean

6.476

14.439

3.387

Stdev

0.097

0.071

0.033

Tolerance(±mm)

0.5

0.3

0.15

USL

7

-

-

LSL

6

-

-

Pp

1.72

1.41

1.52

PpKU

1.80

-

-

PpkL

1.64

-

-

Ppk

1.64

-

-

05010R

No

CUTTING

ATTACHMENT

Length(mm)

X-axis(mm)

Y-axis(mm)

1

6.554

14.653

3.205

2

6.308

14.769

3.163

3

6.609

14.658

3.257

4

6.421

14.708

3.175

5

6.524

14.613

3.185

6

6.401

14.695

3.243

7

6.479

14.607

3.243

8

6.431

14.639

3.177

9

6.565

14.681

3.211

10

6.275

14.683

3.239

11

6.598

14.551

3.273

12

6.535

14.520

3.235

13

6.416

14.600

3.232

14

6.598

14.653

3.176

15

6.313

14.754

3.231

16

6.586

14.601

3.236

17

6.449

14.591

3.150

18

6.528

14.695

3.202

19

6.397

14.730

3.187

20

6.513

14.735

3.201

21

6.483

14.763

3.244

22

6.319

14.770

3.206

23

6.436

14.748

3.216

24

6.461

14.722

3.192

25

6.450

14.634

3.150

26

6.561

14.739

3.252

27

6.488

14.638

3.187

28

6.562

14.604

3.233

29

6.599

14.563

3.197

30

6.461

14.584

3.166

Min

6.275

14.520

3.150

Max

6.609

14.770

3.273

Range

0.334

0.250

0.123

Mean

6.477

14.663

3.209

Stdev

0.094

0.071

0.033

Tolerance(±mm)

0.5

0.3

0.15

USL

7

-

-

LSL

6

-

-

Pp

1.77

1.41

1.50

PpKU

1.85

-

-

PpkL

1.69

-

-

Ppk

1.69

-

-

附二:

IC对位精度X、Y方向测量方法

 

附三:

IC对位精度测量数据

AUTOCOGBONDINGALIGNMENT

 

Date:

 

11-08-05

 

ModelNo:

STN

 

AUTOCOGMachineS/N:

SK-COGIA888-05009-1#

LotNo:

 

 

Objlens:

40x

No

X-AxisAlignment

Y-AxisAlignment

ICbumpwidth,A

ITOlinewidth,B

Z

X

X-axisshift,SX

ICbumpwidth,A

ITOlinewidth,B

Z

Y

X-axisshift,SY

L1

37.970

34.900

1.535

-3.610

-2.075

37.370

34.080

1.645

-2.030

-0.385

L2

38.160

34.380

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