LCD工艺知识讲座.ppt

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前工程工艺知识讲座前工程工艺知识讲座液晶显示器显示原理图液晶显示器显示原理图工艺流程工艺流程ITO玻璃投入清洗涂胶前烘曝光显影后烘刻蚀脱膜清洗TOPUV固化OVEN清洗PI预烘主烘摩擦密封胶导电胶喷洒对盒热压固化固化光刻光刻主要工序n投入n清洗n涂胶n曝光n显影n刻蚀n脱膜玻璃投入玻璃投入工序作用:

位于整条生产线的最前端，负责整片ITO玻璃基板的投入。

管控项目:

玻璃尺寸倒角方向判断标准:

玻璃基板大倒角方向置于传送方向的右上角。

清洗清洗工序作用:

将投入生产的玻璃上下表面清洗洁净，为接下来的涂胶作准备管控项目:

玻璃表面脏点判断标准:

脏点数量10个/片原因分析：

1玻璃表面很脏造成清洗困难，达不到清洗效果。

2设备本身长时间未打扫，造成清洗玻璃不干净。

涂胶涂胶工序作用:

在整片玻璃表面涂布一层厚度均匀的光刻胶膜。

管控项目:

光刻胶厚度判断标准:

t=1.5um0.5um原因分析：

1玻璃基板厚度不一致2涂胶辊不平行曝光曝光工序作用:

曝光时，玻璃表面未被掩膜版上图形遮挡住部分的光刻胶发生化学反应分解。

管控项目:

套刻精度（CF）对位精度（ITO）判断标准:

3umX1、X2=5mm50umY=10mm50um原因分析：

1CF玻璃或铬版有异常，造成套刻偏差大。

2调整系统参数可以改善对位偏差。

显影显影工序作用:

将发生化学反应的光刻胶清除干净，使玻璃上产生想要得到的胶膜图形。

管控项目:

图凸图凹短路断路判断标准:

参照制程检验标准原因分析：

1涂胶时有异物，造成涂胶不良形成图凹或断路。

2曝光版或曝光机内部有异物，造成曝光不良形成图凸或短路。

刻蚀刻蚀工序作用:

将未被光刻胶覆盖住的ITO层腐蚀掉。

管控项目:

短路断路原因分析：

刻蚀液浓度异常或喷淋槽的选择不正确，会造成大面积短路或过刻蚀的现象或者断路。

脱膜脱膜工序作用:

将刻蚀后玻璃表面的光刻胶膜去除，同时将玻璃清洗干净。

管控项目:

短路断路线间距脱膜后清洗效果判断标准:

断路3个3um脱膜后清洗无脏点原因分析：

1线间距异常会引起显示不良2脱膜后清洗不干净会引起TOP/PI涂布不良形成形成ITO图案过程图案过程图形检测图形检测（PATTERNCHECK）工序作用:

对玻璃表面形成的ITO图形用电学原理进行短路测试，同时得到激光修复所需要的数据。

管控项目:

玻璃基板划伤判断标准:

雾灯下检查无明显划伤原因分析：

检测时如果探针压力过大，会引起玻璃基板划伤，电测时出现黑线现象。

激光修复激光修复（LASERREPAIR）工序作用:

对所查找到的短路缺陷进行修复。

管控项目:

激光量判断标准:

尽量减少灼烧ITO时产生的粉末修补半反半透产品时不灼伤铝层原因分析：

激光量过大，会打坏CF玻璃基板的其它部分，导致电测时出现亮点。

成盒段主要工序vPIPI、TOPTOP印刷印刷v摩擦摩擦vSEALSEAL、TRTR印刷印刷v喷洒喷洒v对盒对盒v热压热压PIPI、TOPTOP印刷工艺印刷工艺TOP/PI印刷原理图：

在在LCD制造工序中，这是一道最关键的工序之一制造工序中，这是一道最关键的工序之一TOP工序：

把刻蚀区与非刻蚀区之间的沟槽填平并把电极覆盖住，这即可以有效地消除非显示状态下的电极底影，还有助于防止静电及改善视角特性。

PI工序：

在基板的表面上涂覆一层取向层，再通过高温固化处理使取向层固化，为以后在取向层上摩出沟槽做好准备。

工序的作用工序的作用管控项目印刷位置黑白点膜厚及固含量针孔扩散判断标准0.1mmTOP膜厚450100PI膜厚由PI液固含量决定原因分析1通过调整系统参数可以改善印刷位置2生产环境会引起黑白点3印刷不良会引起针孔4因原材料的不同或异常会引起膜厚不一致或扩散现象管控项目、判断标准摩擦工艺摩擦工艺RUBBING的工作原理流品方向工序的作用工序的作用TOP/PICOATING后PITOPITOGLASSRUBBING后PI层被取向管控项目摩擦角度摩擦痕静电击伤判断标准摩擦角度与制造规格单相符无摩擦痕无静电伤原因分析1摩擦布的使用时间过长2生产环境有变化管控项目、判断标准SEALSEAL、TRTR印刷工艺印刷工艺工序的作用工序的作用SEAL作用：

贴合上下两张基板,防止液晶外漏或被污染。

TR作用：

上下电极导通管控项目胶高胶宽边框印刷位置SEAL和TR网清洗状态金粉、玻璃纤维结团框线均匀性SEAL和TR胶的搅拌时间和方法判断标准粗细不均呈莲藕状不合格胶高h=30um5um手动对位标记80umSEAL和TR相连接宽度大于2/3正常边框胶金粉、玻璃纤维无结团原因分析1调整参数设置可以改善印刷及对接位置2重新绞胶或换胶可以改善胶高及胶宽和金粉、玻璃纤维结团的现象。

管控项目、判断标准喷洒工艺喷洒工艺烧杯喷洒设备示意图工序的作用工序的作用支撑上下基板,保持液晶盒厚均匀管控项目喷洒密度喷洒结团判断标准喷洒密度与制造规格单相符喷洒无结团原因分析1衬垫料没有充分搅拌好2氮气压力不足3喷头或管路恻壁有沉淀管控项目、判断标准对盒工艺对盒工艺工序的作用工序的作用将两张Glass基板对位之后加压形成液晶Cell.管控项目对盒是否旋转对盒歪判断标准对盒是否旋转与制造规格单相符内外组合记号重叠合格（3um）原因分析1调整对盒对位登录系统2光源的亮度3玻璃本身的透过率管控项目、判断标准热压工艺热压工艺工序的作用工序的作用利用加热和加压的方法固化Seal,并保持一定的CellGap管控项目热压三点压力平衡差异盒厚一致性判断标准三点压力中任意两点的压力值差应75kgf盒厚一致性与制造规格单相符原因分析三点压力不平衡导致盒厚不一致管控项目、判断标准工艺环境对工艺环境对LCDLCD生产的重要性生产的重要性良好的工艺环境是严格执行工艺规程的必要条件影响工艺环境的重要因素：

尘埃温度湿度尘埃对工艺环境的影响尘埃对工艺环境的影响尘埃在清洗时如果玻璃粘上灰尘会形成断路，涂胶及曝光版粘上灰尘会形成短路，在涂PI时如果在涂层上粘附了灰尘会影响产品的取向效果，对盒时被污染会形成内污。

总之，尘埃是影响产品品质的重要因素。

温度对工艺环境的影响温度对工艺环境的影响温度直接影响工艺参数不适当的温度可能造成化学试剂的分解、变质，而使其失效。

净化间温度通常保持在222湿度对工艺环境的影响湿度对工艺环境的影响湿度的影响实际上是空气中水气的影响吸潮：

玻璃表面、边框胶、银点胶、定向剂等影响：

材料性能、盒的密封性、液晶盒功耗、使用寿命大部分LCD生产工序必须保持低的湿度环境：

555%LCD后工程工艺讲座后工程工艺讲座划条断条退火注入终封研磨条洗视测划粒断粒盒洗彩标再排列电测贴片喷码模块或包装流程图流程图划条划条轮刀刀线ABC划条分为单刀划条和四刀划条管控项目：

破损、尺寸不符、台阶现象原因分析：

1设备本身因素，操作手法2辅助动力突然不稳定3操作手法及参数确认工作台标盒划条切割标记断条断条断棒管控项目：

破损原因分析：

断棒压力过大或者刀线不良AB退火退火在真空状态下对空盒进行高温加热，将空盒中水分及残留有机溶剂蒸发掉，以免污染液晶，影响产品品质。

00.5h2.0h160注入注入电极注入口平板管控项目：

1注入后真空气泡，长时间待制，影响生产进度。

2SPACER在注入口处聚集。

3未注满原因分析：

1真空度不够，或者充气时间短，以及材料因素2注入的速度有影响3工装摆放位置有误，或者液晶不足。

终封终封挡板屏垫片压力管控项目：

1色斑、盒厚偏大或者偏小。

2渗胶不良，封口白环。

原因分析：

1终封压力不稳定，时间不足或者过长。

2渗胶压力差过大或者过小，注入口处有台阶现象，封口胶被污染。

IMPORTANTPOSITION研磨研磨（彩色产品是封口后整条研磨，单色产品是划粒后单粒进行研磨）（彩色产品是封口后整条研磨，单色产品是划粒后单粒进行研磨）（彩色产品是封口后整条研磨，单色产品是划粒后单粒进行研磨）（彩色产品是封口后整条研磨，单色产品是划粒后单粒进行研磨）研磨前研磨后倒角处电极管控项目：

1研磨量不符2薄崩现象，邦定时破损。

原因分析：

1砂轮或挡销位置移动2砂轮有微小破损或凸起。

条洗条洗条洗是在一定温度的清洗剂和纯水中，利用超声震荡的方式将屏表面残留的液晶及污物清洗干净。

管控项目：

色斑原因分析：

超声功率过大、清洗时间过长条视测条视测条视测是前、后工程不良现象的汇总处，是发现、分析视测是前、后工程不良现象的汇总处，是发现、分析各种不良的最佳工位。

各种不良的最佳工位。

前工程主要不良：

前工程主要不良：

11、内污、内污22、边框不良、边框不良33、网、网痕痕44、PIPI伤伤55、TRTR不良不良后工程主要不良：

后工程主要不良：

11、破损、破损22、台阶、台阶33、尺寸不符、尺寸不符44、色班、色班55、气泡、气泡66、渗胶、渗胶划粒、断粒划粒、断粒管控项目：

1划反、台阶、切割不良2断粒产生色斑原因分析：

1操作失误，数据有偏差。

2断棒压力较大划粒切割标记盒洗盒洗盒洗的目的主要是将玻璃夹缝中的残留液晶和屏电极表面清洗干净。

管控项目：

1清洗效果2色斑不良3封口胶脱落原因分析：

1对清洗剂的浓度、使用时间和超声功率、时间进行确认。

2盒较厚，SPACER移动3长时间或者多次进行清洗产生胶脱落的现象彩标彩标彩标的目的是利用不同颜色的组合方式对各种尺寸的产品进行标识。

每一种型号的产品都有固定的颜色组合。

管控项目：

电极破损原因分析：

彩标胶皮辊在印彩标时压力过大，使电极难以承受，导致破损产生。

再排列再排列为使液晶分子沿着摩擦沟槽的方向规则排列，需要对屏进行加热，以使液晶达到清亮点温度，并保持一定的时间。

管控项目：

1向错2电压原因分析：

1长时间的高温2实际温度超过规定的温度电测电测对LCD加上电压信号，观察实际显示状态下，产品是否合格正常的过程，即为电测。

管控项目：

1各种不良形式的区分2限度样本的制作3不良品的报废程序原因分析：

1针对不良逐步进行分析，找出不良根源2通过实验，分轻、中、重三种对不良进行论证3对不良品进行多层抽检，尽量减少报废数量贴片、外观检验贴片、外观检验将偏光片按照图纸标示的尺寸正确贴在屏表面的过程，即是贴片。

对贴片后的产品进行光台下检查，将各种不良进行区分的过程即为外观检验。

管控项目：

1偏光片气泡2内污3贴歪原因分析：

1粘贴辊压力不足、刮板边缘不齐或用力不均2净化度不够，擦拭用料掉毛3操作失误喷码喷码喷码的目的是将产品打上公司的标记。

喷码的目的是将产品打上公司的标记。

管控项目：

管控项目：

11字号字号22喷码位置喷码位置原因分析：

原因分析：

11通过调整设置，将字号调节至与产通过调整设置，将字号调节至与产品厚度相符品厚度相符22根据试喷效果，逐步调整旋转定位螺杆。

根据试喷效果，逐步调整旋转定位螺杆。

谢谢！

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