特气及安全.ppt

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特殊气体及安全事项前言在半导体集成电路制造过程中使用种类繁多的特种气体,这些气体大都具有易燃,易爆,有毒等危险特性,所以我们必须要充分了解这些特性,根据它们的安全特性制定不同操作方法,才能安全地使用它们。

即使发生安全事故,我们也必须知道怎么样去正确处置。

1半导体制造用特殊气体在搬送上的注意事项1）气瓶的使用必须在指定的场所进行,其它场所严禁2）与气瓶配套使用的阀门,压力计,流量计等部品必须专用,严禁各气体间3）气瓶使用前需确认气瓶是否固定好,H2气瓶最好有接地装置4）处置发生气体泄漏后气瓶时,为了避免残存有害气体的伤害,首先进行有效的通风,处置人员必须穿着空气呼吸器,并且把可燃物品清除出去5）其它方面的注意事项同有毒,可燃性气体的处置注意事项相同体的保管,使用,运输保管1）气体存放地方需取得相关部门的认证2）气瓶的存放处周围2米内火源,易燃物严禁放置3）为了避免气瓶上方重物坠落损伤气瓶及阀门,所以气瓶放置处上方严禁悬挂重物,另外气瓶需用金属绳给予固定4）气瓶的保管温度应在40以下5）在特气放置处附近为了防止火源接近,必须悬挂”禁烟”“严禁烟火”“危险”等安全警示标示6）特气放置处必须配备有效的消防设施（碳酸灭火器,消火栓等）7）特气放置处还需配备毒气吸收剂,中和剂及防毒面具,空气呼吸器等装置气体使用过程中的注意事项

（1）特气使用场所应保证室温在40以下

（2）为了防止气瓶翻倒,需对气瓶进行固定,如固定用链条,固定架等（3）气瓶的阀门在开启和关闭时动作要轻,使用后的气瓶在关闭阀门后需盖上保护罩（4）在气瓶使用前,必须对阀门,配管,压力计等拆装部分用检漏液进行检漏（5）易燃气体使用在减压设备时,气瓶与设备之间必须要有逆止法（6）特气相关的作业过程中必须两人同时进行气体的移动

（1）在搬送易燃性和有毒性气体时,需严格遵守国家的相关法律及法规

（2）特气运输车在运输气体时,必须配备消防设备,防毒器具,吸收剂,保护眼镜（3）在气瓶使用现场搬送气瓶时应使用专用搬送小车,避免碰伤气瓶特气分类1）可燃性气体2）有毒性气体3）卤素类气体4）非金属类化合物5）碱性气体6）酸性气体7）无机酸气体惰性气体异常事故处置火灾一般注意事项

（1）火灾发生时重点处置对策内容（a）气体爆炸（b）有毒气体中等（c）气瓶阀门损坏，气瓶破裂

（2）与火灾发生相关对策（a）火灾发生时要及时通知周围的人及安全管理主任者（b）较大的火灾应及时通知消防部门（C）当发生严重的毒气泄漏时，消防部门，医疗救护部门等相关部门要进行联合调查处置（3）参加灭火人员应具备危险气体的消防知识火灾周边的处置

（1）可移动的气瓶迅速转移到安全场所

（2）如果气瓶不可移动，要对气瓶进行冷却处理防止气瓶发生爆裂（3）危险的易燃和有毒气体应优先转移到安全场所（4）相关人员迅速实施避难着火气瓶的处置

（1）为了防止二次火灾发生，将着火气瓶移动到其他场所进行灭火

（2）在处置着火气瓶时，一定要注意易燃，有毒气瓶的爆裂和泄漏（3）一定要佩带保护用具，并且在灭火时一定要在上风方向（4）用水冷却是最为有效的救火方法，但也可根据情况使用灭火器和灭火沙受伤人员的处置一般注意事项

（1）被害者迅速转移到安全场所

（2）对被害者进行紧急救护（3）与紧急救护医院进行联络紧急处置对策

（1）当吸入有毒性气体后，首先将被害人转移到空气新鲜的场所休息，松开衣扣，并且盖上保暖物，如有必要可进行吸氧。

告知医生被害人吸入的有毒气体名，由医生进行进一步的处置。

（2）当有毒气体进入到眼睛里时，用洗眼器冲洗眼睛15分钟以上，然后到医疗诊所进行治疗。

（3）当皮肤受到有毒气体侵害时，脱去衣服用大量的水进行冲洗，。

SGNEC使用特气安全性质一览表气体名称分子式性质气体区分容许浓度自燃可燃助燃毒腐蚀PUREHE47L/150KG/CM2HeCL2/10L10KGCl2OOD1ppmHBR/10L10KGHBrOOB3ppmCF4/47L32KGCF4CCHF3/47L20KGCHF3CBCL3/47L50KGBCL3OOB气体名称分子式性质气体区分容许浓度自燃可燃助燃毒腐蚀SIH4（20%）/AR/47L100KG/CM2SiH4/ArOOASIH4（20%）/N2/47L100KG/CM2SiH4/N2OOASIH4（100%）/47L/10KGSiH4OOASIH2CL2/40L/20KGSiH2Cl2OOOBNH3/40L20KGNH3OOOB25ppm02（1%）/AR/47L150KG/CM2O2/ARO气体名称分子式性质气体区分容许浓度自燃可燃助燃毒腐蚀PH3（1%）/N2/47L100KG/CM2PH3/N2OD,A0.3ppmB2H6（1%）/N2/47L100KG/CM2B2H6/N2OD,A0.1ppmCH4（10%）/AR/47L120KG/CM2CH4/AROCC2F6/47L30KGC2F6CN2O/40L30KGN2OOC5ppmN2/47L150KG/CM2N2气体名称分子式性质气体区分容许浓度自燃可燃助燃毒腐蚀.BF3/1L20KGBF3OD0.3ppmAR/1L/150KG/CM2ARAR/47L/150KG/CM2ARCO2/40L/30KGCO2B2H6（5%）/N2/20KG/CM2B2H6/N2OD,A0.1ppmPH3（5%）/N2/100KG/CM2PH3/N2OD,A0.3ppmB2H6（10PPM）/H2/100KG/CM2B2H6/H2OD,A0.1ppm气体名称分子式性质气体区分容许浓度自燃可燃助燃毒腐蚀PH3（50PPM）/H2/100KG/CM2PH3/H2OD,A0.3ppmSIHCL3（100%）（上海购买）SiHCl3OOOBHCL（100%）HClOOD*气体的分类及定义见公司文书BM-H203*公司与特气作业相关的文书:

BM-H202BM-H203BSQ-Y-0001BSQ-Y-0009BBM-H-0019