第8章压电式传感器及应用.ppt

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第第88章压电式传感器及应用章压电式传感器及应用11/5/20221引言引言n压电式传感器的工作原理是基于某些介压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应，是典型的有源传感质材料的压电效应，是典型的有源传感器。

当材料受力作用而变形时，其表面器。

当材料受力作用而变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。

会有电荷产生，从而实现非电量测量。

压电式传感器具有体积小，重量轻，工压电式传感器具有体积小，重量轻，工作频带宽等特点，因此在各种动态力、作频带宽等特点，因此在各种动态力、机械冲击与振动的测量，以及声学、医机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。

泛的应用。

11/5/20222主要章节主要章节n8.1压电效应及压电材料压电效应及压电材料n8.2压电式传感器测量电路压电式传感器测量电路n8.3压电式传感器的应用压电式传感器的应用11/5/202238.1压电效应及压电材料压电效应及压电材料n1压电效应的概念压电效应的概念n某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，其内部就产生极化现象，同时在它的变形时，其内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，其又重新恢复到不带电状态，这种现象掉后，其又重新恢复到不带电状态，这种现象称压电效应。

相反，当在电介质极化方向施加称压电效应。

相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生变形，这种现象称电场，这些电介质也会产生变形，这种现象称为为“逆压电效应逆压电效应”（电致伸缩效应）。

（电致伸缩效应）。

8.1.1压电效应压电效应11/5/20224压电效应可逆性压电效应可逆性11/5/202252.压电效应原理压电效应原理n具有压电效应的物质很多，如石英晶体、压电具有压电效应的物质很多，如石英晶体、压电陶瓷、高分子压电材料等陶瓷、高分子压电材料等n石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。

它是二石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。

它是二氧化硅单晶体，属于六角晶系。

它为规则的六氧化硅单晶体，属于六角晶系。

它为规则的六角棱柱体。

石英晶体有角棱柱体。

石英晶体有3个晶轴：

个晶轴：

x轴、轴、y轴和轴和z轴。

轴。

nz轴又称光轴，它与晶体的纵轴线方向一致：

轴又称光轴，它与晶体的纵轴线方向一致：

x轴又称电轴，它通过六面体相对的两个棱线并轴又称电轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴：

垂直于光轴：

y轴又称为机械轴，它垂直于两轴又称为机械轴，它垂直于两个相对的晶柱棱面。

个相对的晶柱棱面。

11/5/20226石英晶体及切片石英晶体及切片11/5/20227n石英晶体的压电效应与其内部结构有关，石英晶体的压电效应与其内部结构有关，产生极化现象的机理可说明。

产生极化现象的机理可说明。

n石英晶体的化学式为石英晶体的化学式为SiO2，它的每个晶，它的每个晶胞中有胞中有3个硅离子和个硅离子和6个氧离子，一个硅个氧离子，一个硅离子和两个氧离子交替排列（氧离子是离子和两个氧离子交替排列（氧离子是成队出现的）。

成队出现的）。

n沿光轴看去，可以等效地认为正六边形沿光轴看去，可以等效地认为正六边形排列结构。

排列结构。

11/5/20228石英晶体的压电效应机理石英晶体的压电效应机理1正电荷等效中心2负电荷等效中心11/5/20229分析说明分析说明n

（1）在无外力作用时）在无外力作用时n

（2）当晶体沿电轴（）当晶体沿电轴（x轴）方向受到压轴）方向受到压力时，晶格产生变形力时，晶格产生变形n（3）同样，当晶体的机械轴（）同样，当晶体的机械轴（y轴）方轴）方向受到压力时，也会产生晶格变形向受到压力时，也会产生晶格变形n（4）当晶体的光轴（）当晶体的光轴（z轴）方向受到受轴）方向受到受力时，由于晶格的变形不会引起正负电力时，由于晶格的变形不会引起正负电荷中心的分离，所以不会产生压电效应。

荷中心的分离，所以不会产生压电效应。

11/5/202210结论结论n沿机械轴方向的力作用在晶体上时，产沿机械轴方向的力作用在晶体上时，产生的电荷与晶体切面的几何尺寸有关，生的电荷与晶体切面的几何尺寸有关，式中的负号说明沿机械轴的压力引起的式中的负号说明沿机械轴的压力引起的电荷极性与沿电轴的压力引起的电荷极电荷极性与沿电轴的压力引起的电荷极性恰好相反。

性恰好相反。

11/5/2022118.1.2压电材料压电材料n

（1）压电常数）压电常数n

（2）弹性常数）弹性常数n（3）介电常数）介电常数n（4）机械耦合系数）机械耦合系数n（5）绝缘电阻）绝缘电阻n（6）居里点）居里点1压电材料的主要特性参数压电材料的主要特性参数11/5/2022122.常用压电材料常用压电材料n石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。

性能优良的压电材料。

n应用于压电式传感器中的压电元件材料应用于压电式传感器中的压电元件材料一般有一般有3类：

压电晶体、经过极化处理的类：

压电晶体、经过极化处理的压电陶瓷、高分子压电材料。

压电陶瓷、高分子压电材料。

11/5/202213石英晶体天然形成的石英晶体外形天然形成的石英晶体外形11/5/202214天然形成的石英晶体外形（续）11/5/202215石英晶体切片及封装石英晶体薄片双面镀银并封装双面镀银并封装11/5/202216石英晶体振荡器（晶振）石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率。

晶振晶振11/5/202217压电陶瓷外形11/5/202218高分子压电薄膜及拉制11/5/202219高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆11/5/202220可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板11/5/202221压电式脚踏报警器11/5/2022228.2压电式传感器测量电路压电式传感器测量电路n将压电晶片产生电荷的两个晶面封装上将压电晶片产生电荷的两个晶面封装上金属电极后，就构成了压电元件。

当压金属电极后，就构成了压电元件。

当压电元件受力时，就会在两个电极上产生电元件受力时，就会在两个电极上产生电荷，因此，压电元件相当于一个电荷电荷，因此，压电元件相当于一个电荷源；两个电极之间是绝缘的压电介质，源；两个电极之间是绝缘的压电介质，因此它又相当于一个以压电材料为介质因此它又相当于一个以压电材料为介质的电容器，其电容值为的电容器，其电容值为nCa=R0A/8.2.1压电式传感器的等效电路压电式传感器的等效电路11/5/202223压电元件的等效电路压电元件的等效电路n压电元件等效为一个与电容相并联的电压电元件等效为一个与电容相并联的电荷源，也可以等效为一个与电容相串联荷源，也可以等效为一个与电容相串联的电压源，的电压源，11/5/202224压电元件实际的等效电路图压电元件实际的等效电路图n压电式传感器不能用于静态测量。

压电压电式传感器不能用于静态测量。

压电元件只有在交变力的作用下，电荷才能元件只有在交变力的作用下，电荷才能源源不断地产生，可以供给测量回路以源源不断地产生，可以供给测量回路以一定的电流，故只适用于动态测量。

一定的电流，故只适用于动态测量。

11/5/2022258.2.2压电式传感器测量电路压电式传感器测量电路n压电式传感器的内阻很高，要求与高输压电式传感器的内阻很高，要求与高输入阻抗的前置放大电路配合，与一般的入阻抗的前置放大电路配合，与一般的放大、检波、显示、记录电路连接，防放大、检波、显示、记录电路连接，防止电荷的迅速泄漏而使测量误差减少。

止电荷的迅速泄漏而使测量误差减少。

n压电式传感器的前置放大器的作用有两压电式传感器的前置放大器的作用有两个：

一是把传感器的高阻抗输出变为低个：

一是把传感器的高阻抗输出变为低阻抗输出；二是把传感器的微弱信号进阻抗输出；二是把传感器的微弱信号进行放大。

行放大。

11/5/202226输出信号输出信号n根据压电式传感器的工作原理及等效电根据压电式传感器的工作原理及等效电路，它的输出可以是电荷信号，也可以路，它的输出可以是电荷信号，也可以是电压信号，因此与之配套的前置放大是电压信号，因此与之配套的前置放大器也有电荷放大器和电压放大器两种形器也有电荷放大器和电压放大器两种形式。

式。

n由于电压前置放大器的输出电压与电缆由于电压前置放大器的输出电压与电缆电容有关，故目前多采用电荷放大器。

电容有关，故目前多采用电荷放大器。

11/5/2022271.电荷放大器电荷放大器n并联输出型压电元件可以等效为电荷源。

并联输出型压电元件可以等效为电荷源。

电荷放大器实际上是一个具有反馈电容电荷放大器实际上是一个具有反馈电容Cf的高增益运算放大器电路的高增益运算放大器电路电荷放大器原理图11/5/202228结论结论n电荷放大器的输出电压仅与输入电荷和电荷放大器的输出电压仅与输入电荷和反馈电容有关，电缆电容等其他因素的反馈电容有关，电缆电容等其他因素的影响可以忽略不计。

影响可以忽略不计。

11/5/2022292.电压放大器（阻抗变换器）电压放大器（阻抗变换器）n串联输出型压电元件可以等效为电压源，串联输出型压电元件可以等效为电压源，但由于压电效应引起的电容量很小，因但由于压电效应引起的电容量很小，因而其电压源等效内阻很大，在接成电压而其电压源等效内阻很大，在接成电压输出型测量电路时，要求前置放大器不输出型测量电路时，要求前置放大器不仅有足够的放大倍数，而且应具有很高仅有足够的放大倍数，而且应具有很高的输入阻抗的输入阻抗11/5/2022308.3压电式传感器的应用压电式传感器的应用n在压电式传感器中，为了提高灵敏度，往往采在压电式传感器中，为了提高灵敏度，往往采用多片压电晶片粘结在一起。

其中最常用的是用多片压电晶片粘结在一起。

其中最常用的是两片结构。

由于压电元件上的电荷是有极性的，两片结构。

由于压电元件上的电荷是有极性的，因此接法有串联和并联两种因此接法有串联和并联两种n串联接法输出电压高，本身电容小，适用于以串联接法输出电压高，本身电容小，适用于以电压为输出量及测量电路输入阻抗很高的场合；电压为输出量及测量电路输入阻抗很高的场合；并联接法输出电荷大，本身电容大，因此时间并联接法输出电荷大，本身电容大，因此时间常数也大，适用于测量缓变信号，并以电荷量常数也大，适用于测量缓变信号，并以电荷量作为输出的场合。

作为输出的场合。

8.3.1压电传感器的基本结构压电传感器的基本结构11/5/202231压电元件的串联和并联接法压电元件的串联和并联接法11/5/202232n压电晶片并联可以增大输出电荷，提高压电晶片并联可以增大输出电荷，提高灵敏度。

具体使用时，两片晶片上必须灵敏度。

具体使用时，两片晶片上必须有一定的预紧力，以保证压电元件在工有一定的预紧力，以保证压电元件在工作时始终受到压力，同时可以消除两压作时始终受到压力，同时可以消除两压电晶片之间因接触不良而引起的非线性电晶片之间因接触不良而引起的非线性误差，保证输出与输入作用力之间的线误差，保证输出与输入作用力之间的线性关系。

但是这个预紧力不能太大，否性关系。

但是这个预紧力不能太大，否则将影响其灵敏度。

则将影响其灵敏度。

11/5/202233压电片的并联连接电路图压电片的并联连接电路图11/5/2022348.3.2压电传感器的应用压电传感器的应用n压电式传感器主要用于动态作用力、压压电式传感器主要用于动态作用力、压力、加速度的测量。

力、加速度的测量。

11/5/2022351.压电式力传感器压电式力传感器n压电式力传感器是以压电元件为转换元压电式力传感器是以压电元件为转换元件，输出电荷与作用力成正比的力件，输出电荷与作用力成正比的力电电转换装置。

常用的形式为荷重垫圈式，转换装置。

常用的形式为荷重垫圈式，它由基座、盖板、石英晶片、电极以及它由基座、盖板、石英晶片、电极以及引出插座等组成引出插座等组成11/5/202236Y