半导体器件封装的可靠性研究.doc
《半导体器件封装的可靠性研究.doc》由会员分享,可在线阅读,更多相关《半导体器件封装的可靠性研究.doc(34页珍藏版)》请在冰豆网上搜索。
![半导体器件封装的可靠性研究.doc](https://file1.bdocx.com/fileroot1/2022-10/30/0218c5ad-2faa-4945-8b16-97e701ecf94b/0218c5ad-2faa-4945-8b16-97e701ecf94b1.gif)
无锡工艺职业技术学院
电子信息工程系
毕业设计论文
半导体器件封装的可靠性研究
专业名称应用电子技术
学生姓名
学号
指导教师鲍小谷
毕业设计时间2010年2月20日~6月12日
摘要
半导体器件是经过衬底制备、外延、氧化、光刻、掺杂、封装等工序做出来的。
但要保证做出的产品在正式生产后可以让顾客使用,且安全可靠、经久耐用,就必须在研究发展期间就将可靠度设计于产品质量中,因此试验的工作是不可少的。
试验是评估系统可靠度的一种方法,就是将成品或组件仿真实际使用环境或过应力的情况下予以试验,利用过程中失效之左证数据来评估可靠度。
当然佐证资料越多,对所估计的可靠度信心也越大,可是人们又不希望采用大量样本来进行试验。
若不做试验或做某种程度的试验,就根本不知道产品可靠的程度。
本文主要介绍了可靠性试验在半导体器件封装中是怎样使用的,从而来突出可靠性试验在封装中起着很重要的作用。
关键词:
半导体器件;封装类型;可靠性;试验
Abstract
Semiconductorsubstrateafterthepreparation,epitaxy,oxidation,lithography,doping,packagingandotherprocessesdone.However,toensurethatproductsmadeaftertheofficialproductionforcustomerstouse,andsafe,reliable,anddurable,itisnecessarytoresearchanddevelopmentinreliabilityduringthedesignwillbeinproductquality,andthereforetheworkoftestisindispensable.
Trialistoassessthesystemreliabilityofthemethodisthatsimulationwillbefinishedproductsorcomponentsoftheactualuseoftheenvironmentorthecircumstanceshavetobestresstest,usingtheprocessoffailuredatatoassessthereliabilityofproof.Ofcourse,themoresupportinginformation,thereliabilityoftheestimatethegreatertheconfidence,butpeopledonotwanttoadoptalargenumberofsamplestested.Donottestordosomedegreeoftesting,simplydonotknowtheextentofproductreliability.
Thispaperintroducesthereliabilitytestinsemiconductordevicesishowtousethepackage,andthustohighlightthereliabilitytestinthepackageplaysaveryimportantrole.
Keywords:
Semiconductordevices;Packagetype;Reliability;Trial
目录
第一章引言 1
1.1半导体行业的发展 1
1.2半导体材料简介 1
1.3半导体器件的制造技术 3
第二章半导体器件封装的基本概念 5
2.1封装的发展 5
2.2封装的方法 6
2.3封装的形式 14
2.4封装的技术参数 15
第三章可靠性试验基本概念 16
3.1可靠性试验的目的 16
3.2可靠性试验的方法 16
3.3可靠性试验的分类及要求 17
3.4可靠性试验的应用 18
第四章半导体器件封装的可靠性研究 19
4.1IC生命周期浴缸曲线 19
4.2试验项目 19
4.3可检测的缺陷 20
4.4器件封装的可靠性检测方法 20
4.5器件封装的可靠性试验 26
第五章小结 29
参考文献:
30
第六章致谢....................................................31
第一章引言
1.1半导体行业的发展
回顾半导体行业的历史发展,就会发现该领域长期以来的增长趋势正在放缓。
在未来几年,我们很难看到80、90年代所出现的两位数的市场增长速度。
但幸运的是,市场波动也将趋缓,大的下降态势同样不会出现。
现在半导体领域仍然继续吸引大量的投资。
全球范围内行业快速增长,尤其是亚洲。
在此经济区域内,中国所起到的作用举足轻重。
从整个行业的发展来看,应用才是真正的驱动力量,而非技术。
90年代,PC行业曾一度蓬勃,并拥有大量办公和个人用户;但是现在,该领域的发展在明显变缓。
今天,真正的行业驱动者是像手机等消费类电子,因为你和我无一例外,都是消费者。
从技术角度来看,半导体行业内可能出现两大发展趋势:
第一,技术的复杂性使得系统开发变得更加困难。
但作为供应商,却需要提供使系统易于使用、可靠,且更加便宜的方案;
第二,在过去的30-40年间,摩尔定律一直在半导体发展过程中发挥重要作用。
但是今天,行业内出现了多种超越摩尔定律的差异性。
从应用角度出发,今后的市场重点将围绕在三个方面:
第一,网络带来的影响。
宽带接入以及消费者对随时随地获得信息的需求,正在改变原有的商业和消费行为;
第二,绿色概念。
人类对能源的消耗在持续增长(有数据表明,到2010年,人类所消耗的能量将较当前增长60%),因此如何利用技术实现节能减排,是今后发展的方向;
第三,老龄化问题。
老龄人群希望科技能够为他们提供更好的医疗和其它服务,例如能够将诊断信息以无线方式传送(涉及到了网络通信和信息处理)、能够驾驶更为智能化且更安全的交通工具,方便交流。
在过去三年中,原材料、处理技术、硅制造、IP以及产品开放等方面的投入,每年都超过12亿美元。
众所周知,几乎半导体中所有的半导体产品都涉及汽车电子、工业控制、无线手机、消费电子以及网络架构等多个应用领域。
面对上述应用,解决方案包括互联网技术、多内核技术、领先的45nm工艺、芯片的超级封装能力等等。
因此对开发商面临诸多挑战,这是因为:
多内核应用的复杂性和灵活性要求可扩展的基于软件的解决方案;在系统功率预算内,平衡架构必须提供优于摩尔定律的性能;必须在新架构上充分利用原有代码,以保留用户所熟悉的使用体验。
1.2半导体材料简介
一般说来,材料依电流的传导能力可分为非导体(绝缘体)与导体,导电能力介于导体与绝缘体之间的物质称为半导体。
半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料,其电导率在10-3~10-9欧姆/厘米范围内。
半导体材料的电学性质对光、热、电、磁等外界因素的变化十分敏感,在半导体材料中掺入少量杂质可以控制这类材料的电导率。
利用半导体材料的这些性质,才制造出功能多样的半导体器件。
半导体材料是半导体工业的基础,它的发展对半导体技术的发展有极大的影响。
半导体材料按化学成分和内部结构,大致可分为:
1、元素半导体,即是由单一元素制成的半导体材料,例如锗、硅、硒、硼、碲、锑等。
目前的集成电路大多数是用硅材料制造的;
2、化合物半导体,化合物半导体分为二元系、三元系、多元系和有机化合物半导体。
二元系化合物半导体有Ⅲ-Ⅴ族(如砷化镓、磷化镓、磷化铟等)、Ⅱ-Ⅵ族(如硫化镉、硒化镉、碲化锌、硫化锌等)、Ⅳ-Ⅵ族(如硫化铅、硒化铅等)、Ⅳ-Ⅳ族(如碳化硅)化合物。
三元系和多元系化合物半导体主要为三元和多元固溶体,如镓铝砷固溶体、镓锗砷磷固溶体等。
有机化合物半导体有萘、蒽、聚丙烯腈等,还处于研究阶段。
其中砷化镓是制造微波器件和集成电的重要材料;
3、无定形半导体材料,例如用作半导体的玻璃,它是一种非晶体无定形半导体材料;
4、有机增导体材料,例如萘、蒽、聚丙烯腈、酞菁和一些芳香族化合物等,目前尚未得到应用。
半导体材料最主要的特性是掺杂,如掺杂硼或磷,可减小电阻值,成为导电体。
在一块完整的硅片上,用不同的掺杂工艺使一边形成N型半导体,另一边形成P型半导体。
在P型半导体和N型半导体结合后,由于N型区内电子很多而空穴很少,而P型区内空穴很多电子很少,在交界处就形成电子和空穴的浓度差别。
这样,电子和空穴都要从浓度高的地方向浓度低的地方扩散。
于是有些电子从N型区向P型区扩散,有些空穴要从P型区向N型区扩散。
扩散的结果就是P区一边失去空穴,留下带负电的杂质离子;N区一边失去电子,留下带正电的杂质离子。
这些杂质离子在P区和N区的交界面附近,形成了一个很薄的空间电荷区,即PN结。
PN结具有单向导电性。
当没有外加电压时,扩散运动与漂移运动处于动态平衡,通过PN结的电流为零。
PN结是构成各种半导体器件的重要基础。
随着半导体微细化制成技术和设计的进步,使GB千兆位存储器或128位微处理器也能实用化。
此外,将多种器件结构混合封装在同一芯片的技术、低消耗功率技术、以及复杂而多元化功能的设计技术也已开发,而且可以将电子机器的基本功能用一个大规模集成电路LSI芯片予以实现。
总之,半导体产品正日益走进人们的生活,应用日趋广泛。
1.3半导体器件的制造技术
在半导体器件制造过程中,主要工艺流程有七个步骤,分别为:
表面清洗、硅片制备、外延生长、氧化、光刻、掺杂、剪切成形、印字、检测、封装。
1、表面清洗:
在制作前必须进行化学刻蚀和表面清洗。
常用的清洗液有氢氟酸、硝酸、氢氧化钠等作为主要成分的清洗液。
2、硅片制备:
从砂子(二氧化硅)经过提纯,氯化、氢还原得到多晶硅,然后采用直拉法或者悬浮区熔法制备符合要求的单晶硅。
最后经过定位、切割、倒角、研磨等得到一个很少缺陷的平整的硅片。
3、外延生长法:
外延生长法能生长出和单晶衬底的原子排列同样的单晶薄膜。
在双极型集成电路中,为了将衬底和器件区域隔离(电绝缘),在P型衬底上外延生长N型单晶硅层。
用外延生长法外延一层杂质浓度低的供形成的单晶层、衬底则为高浓度的基片,以降低电阻,达到基极电位稳定的目的。
4、氧化:
采有热氧化法生成SiO2 缓冲层,用来减小后续中Si3N4对晶圆的应力。
5、光刻:
光刻就是使掩膜版的图形仅通过光刻胶转移到衬底表面。
器件制造过程中,往往需采用很多道光刻工序。
光刻过程主要包括涂胶、前烘、曝光、显影、后烘、腐蚀、去胶。
涂胶:
就是将光刻胶均匀的涂抹在衬底的表面,达到一定的厚度;前烘:
将涂敷好的光刻胶在800C左右的烘箱中烘15~30min,去除光刻胶中的溶剂;
曝光:
将高压水银灯的g线(436nm),i线(365nm)通过掩模照射在光刻胶上,使光刻胶获得与掩模图形同样的感光图形;
显影:
将显影液全面地喷在光刻胶上,或将曝光后的样片浸在显影液中几十秒钟,则正胶的曝光部分(或负胶的未曝光部分)被溶解;
后烘:
将基片在12