ESD静电设备产品检测规范标准.docx
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ESD静电设备产品检测规范标准
-*
1.目的:
1.1
编拟本静电防护外围环境设施检测办法是要以一有系统之管制方式
以求
达到本厂静电防护设备之完善管理检测系统.
1.2
避免经过长时间使用,防护设备或材料由于自然或人为之破坏以致丧失其
ESD作用.
2.范围:
适用于XX电子有限公司,保护ESD敏感性电子组件及产品所使用的所有相关材
料.
3.权责:
3.1工程部:
负责制订静电防护外围设施材料检测规范.
3.2各相关部门:
依循静电防护外围设施材料检测办法实施,及相关资料归档.
4.参考文件:
4.1ANSI/EIA-625
4.2ANSI/ESDS20.20-1999
5.定义及相关朮语:
5.1ESD（ElectrostaticDischarge）:
静电放电
5.2EOS（ElectricalOverStress）:
电压过应力
5.3CGP（CommonGroundPoint）共同接地点
5.4EPA（ESDProtectedArea）静电防护区
6流程图:
-*
6.1无.
7内容
7.1.导电地板测试
FloorMaterialstestspec:
ResistancetoGroundpoint:
104Ω~106Ω
Resistancetoptotop:
104Ω~106Ω
测试仪器:
数显式双锤表面阻抗测试器（测试电压:
10V）
7.1.1测试方法
将表面阻抗测试仪拨至10伏檔位.
用潮湿的抹布将地面和双锤擦拭干凈.
连接表面阻抗测试仪,分别将双锤放在地板上或一端放在地板上
另一端接接地测试点.（注意两测试点的距离不可超过90cm）
按住测试键（约3秒）后,读取仪器上所显示的数值.
7.1.2作业规范
平均每1000平方英尺必须有壹个测试点.
地板检测及清洗周期为每30天1次.
地板清洗时需先用洗地机将地板澈底洗干净,再进行打腊将地板
-*
表面恢复原貌及光亮的最佳方式,打腊后的地板须经ESD检测合格
方可.
7.2ESD接地系统量测
ESDCommonGroundtestspec:
ESDGroundResistance:
R>10Ω
测试仪器:
MK-8406数显GroundSystemMonitor
测试方法
插上电源,按下极性选择开关,此时极性灯亮方可测试,否则表示
接线极性错误.
开启主机电源,此时屏幕显示OPENFAIL字样,且有警报声伴随.
插入测试线,并将测试末端之鳄鱼夹夹在欲测的接地在线.
警报声随即停止,此时屏幕显示出测试值及OK字样.
作业规范
生产线ESD工作站变更时,变更产线之部门应及时通知部门ESD负
责人对其重新检测;否则后果由变更部门负责.
7.2.2.2ESD接地系统检测周期为每30天1次.
7.3设备接地系统量测
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DeviceGroundtestspec:
DeviceGroundResistance:
R>10Ω
测试仪器:
MK-8406数显GroundSystemMonitor
测试方法
插上电源,按下极性选择开关,此时极性灯亮方可测试,否则表示
接线极性错误.
开启主机电源,此时屏幕显视OPENFAIL字样,且有警报声伴随.
插入测试线,并将测试末端之鳄鱼夹夹在欲测试的机器外壳上
警报声随即停止,此时屏幕显示出测试值及OK字样.
作业规范
生产线的设备变更时,变更产线之部门应及时通知部门ESD负责
人对其重新检测;否则后果由变更部门负责.
7.3.2.2设备接地检测周期为每
30天1次.
7.4静电衣帽测试
AntistaticSmocktestspec:
ResistanceAntistaticSmocktop:
10
6
9
Ω~10
Ω
测试仪器:
数显式双锤表面阻抗测试器（测试电压:
100V）
-*
测试方式
将表面阻抗测试仪拨之100伏檔位.
用潮湿的抹布将铅锤擦拭干凈.
连接表面阻抗测试仪,将衣服展开平放于普通绝缘桌面上.
分别将双锤放在衣服的两个袖口除处（注意两锤间的距离保持在
90cm内）.
按住测试键（约3秒）后,读取仪器上所显示的数值.
验收规范
69
静电衣帽验收标准值为10Ω~10Ω.
静电衣帽验收量为5%（含100件内）;验收时出现0.5%不良时应及
时给予判退货.
7.4.2.3在线作业员静电衣检测周期为每
30天1次.
7.5导电车测试
ConductiveRacksMatstestspec:
49
ResistanceConductiveRacksMatstop:
10Ω~10Ω
-*
测试仪器:
数显式双锤表面阻抗测试器（测试电压:
100V）
测试方式
将表面阻抗测试仪拨之100伏檔位.
用潮湿的抹布将车子表面和铅锤擦拭干凈连接表面阻抗
测试仪,分别将双锤一端放在车子上另一端放在导电地板上.（注
意两测试点的距离不可超过30cm）
按住测试键（约5秒）后,读取仪器上所显示的数值.
7.5.2作业规范
导电车必须在规定的日期内按控管标签准时检测检测,否则后果
由使用部门负责.
导电车的导电轮必须每30天清洗1次.
导电车检测周期为每30天1次.
7.6导电桌垫测试
ConductiveTabletestspec:
69
ResistanceTabletop:
10Ω~10Ω
测试仪器:
数显式双锤表面阻抗测试器（测试电压:
100V）
-*
测试方法
将表面阻抗测试仪拨之100伏檔位.
用潮湿的抹布将桌垫表面和铅锤擦拭干凈.
接表面阻抗测试仪,分别将双锤放在桌垫上或一端放在桌垫上另
一端接ESD接地点.（注意两测试点的距离不可超过90cm）
按住测试键（约5秒）后,读取仪器上所显示的数值.
7.6.2作业规范
桌垫检测周期为每个月
1次.
7.6.2.2导电桌垫必须经1MΩ的电阻接地,且每日上班前要对其进行清洁.
工作台或流水线之桌垫在
2米内必须有一接地线接地.
7.7导电容器（料盒,导电箱）的测试
AntistaticContainertestspec:
4
6
ResistanceContainertop:
10
Ω~10Ω
测试仪器:
简易型表面阻抗测试仪
-*
测试方法
用潮湿的抹布将待测物体擦拭干凈.
将表面阻抗测试仪放置与待测物体上（注意:
测试仪背面导电轨
要与被测物体充分接触）.
按下面板上的TEST键,读取LED灯亮处所显示的值.
作业规范
所有物料在ESD防护区内必须做好静电防护动作.（如:
包装或储
存时使用静电屏蔽袋,翠盘,真空包装袋,静电泡棉;运输时使用
静电箱,导电料盒,导电车;维修及作业时使用导电毛刷,防静电
溶剂瓶,导电镊子,防静电套板）.
所有容易产生静电的物料或绝缘材质必须使用离子风扇.
7.8其它静电产品的测试
9
11
Ω
9
Ω~10
11
屏蔽袋:
10
Ω~10
泡棉:
10
Ω
9
11
4
Ω~10
6
输送带:
10
Ω~10
Ω
毛刷:
10
Ω
4
6
溶剂瓶:
10
9
11
镊子:
10Ω~10Ω
Ω~10Ω
6
9
4
6
手套:
10Ω~10Ω瓦楞纸:
10Ω~10Ω
-*
测试仪器:
简易型表面阻抗测试仪
测试方法
用潮湿的抹布将待测物体擦拭干凈.
将表面阻抗测试仪放置待测物体上（注意:
测试仪背面的导电轨
要与被测物体充分接触）.
按下面板上的TEST键,读取LED灯亮处所显示的值.
作业规范
7.8.2.1ESD防护区外严禁使用不防静电和静电放电物质来贮存（普通塑
料袋,塑料盒,普通泡棉）所有容易产生静电或静电放电的物品（如:
塑料袋,梳子）未经ESD人员确认严禁带入ESD防护区内.
7.8.2.2ESD防护区外物料包装或储存时使用静电屏蔽袋,真空包装袋;
运输时使用静电箱,导电料盒,导电车.
-*
7.9各设备的EOS测试（烙铁头、输送带、屏幕接头、电动起子）
测试方法
取三用电表将指针播到AC250V以上檔位.
将红棒接到待测设备外壳.
黑棒分别接触电源接座的基准线孔、大地孔及ESD接地线.
得到三个数值,记录于EOS检查记录表.
基准线
大地孔
ESD接地线
正常数值应小5.5V（如果
大于标准值既为漏电，原因正常数值应小于0.3V
正常数值应小于
0.3V
是大地孔未接地）
作业规范
每日上班前各线全能员必须对其在线治﹑工具及进行EOS检测,
并认真填写记录.
领班在线检测过程如有发现漏电时应及时反应给部门负责人.
7.10静电手环（脚环）检验.
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7.10.1测试方法
将有线静电环内部金属片紧贴检验者手腕上,
静电环鳄鱼夹子与静电仪夹子相交（手不要触碰夹子相结处,以
免测试不准确）
另一只手按下“PRESSHERE”检测结果如下:
中间绿灯亮（GOOD）且有响声：
静电环回路检测正常
左边红灯亮（HIGH）：
静电环阻抗偏高
右边红灯亮（LOW）：
静电环阻抗偏低
作业规范
静电手环的佩戴和检测时内部金属片必须紧贴皮肤.
静电环在作业当中严禁擅自借给他人使用.
每次检测前,请先用800Kohm和10Mohm标准电阻件对其静电环
测试仪进行验证.
7.11导电鞋检验.
7.11.1测试方法
先将两脚站于踏板上,按下测试按钮.
亮绿灯（PASS）时,表示导电鞋良好.
亮红灯（HI-FAIL）或红灯（LOW-FAIL）时,表示导电鞋不良应立即
更换.
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HIFAIL:
R＞35MΩPASS:
750KΩ≦R≦35MΩLOFAIL:
R
＜750KΩ
作业规范
导电鞋检测时,请勿将鞋子湿水,以免测试不准确.
所有人员（包括来宾）进入EPA生产车间时必须做导电鞋检测,
否则严禁入内.
导电鞋检测时严禁代替他人做测试记录.
7.12各设施材料静电压的测试
测试仪器:
静电压测试仪
7.12.1测试方法:
将电源打开后按着测试键测试大气静电压后,转动归零旋扭将
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静电压归零.
按着测试键将测试光源对准待测面,看到两点圆形光源.
摩擦待测物体,同时将测试仪缓慢接近测试面.
当两点圆形光将重合读取液晶显示之KV/INCH值.
8.0参考文件、附件及编号
8.1静电防护标准:
EIA-625
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