透明导电膜知识培训.docx
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透明导电膜知识培训
新业务知识教材—透明导电膜部分
一、触摸屏发展的背景
二、触摸屏的原理以及发展历程
1、触摸屏—绝对定位元件
2、触摸屏的种类以及工作原理
3、各种方式触摸屏的特点比较以及应用的领域
三、透明导电膜的功能以及材料组成
1、透明导电膜在触摸屏中的作用
2、透明导电膜的材料特点
四、透明导电膜的技术要求
1、透明导电膜的技术要求
2、透明导电膜的技术指标
五、透明导电膜的生产工艺
1、溅射法生产工艺介绍
2、涂布法生产工艺介绍
3、其他方法简介
六、触摸屏的发展趋势以及面临的问题
触摸屏及透明导电膜知识简介
前言
随着计算机技术的快速发展，人机界面的沟通成了计算机技术的一个热点，触摸屏凭着优秀的人机沟通方式，成为了当今发展最快的技术。
触摸屏主要应用于个人便携式信息产品（如使用手写输入技术的、、等）之外，应用领域遍及信息家电、公共信息（如电子政务、银行、医院、电力等部门的业务查询等）、电子游戏、通讯设备、办公室自动化设备、信息收集设备及工业设备等等。
2009年全球触摸屏产值达43亿美元，估计2016年将成长到140亿美元，年复合成长率达18%。
国内市场约占全球市场的20%，约为8.6亿美元。
第一章：
触摸屏发展的背景
在人类渴求讯息实时联系与传递的欲望下，个人化电子用品未来将有爆发性的需求。
然而，在机动与方便性的诉求下，个人化的电子工具通常使用在不安稳的场合，如何快速简便的使用随身的电子工具，是使用者最大期待。
其中最大的障碍在于人与机器间的沟通。
所以，是否具有快速简便的人机沟通接口，将是未来电子化产品最重要的功能。
如果说1964年鼠标的发明，把电脑操作带入了一个新的时代，那么触摸屏的出现，则使图形化的人机交互界面变得更为直观易用。
1971年，美国人发明了世界上第一个触摸传感器。
虽然这个仪器和我们今天看到的触摸屏并不一样，却被视为触摸屏技术研发的开端。
当年，在肯尼迪大学当教师，因为每天要处理大量的图形数据而不胜其烦，就开始琢磨怎样提高工作效率，用最简单的方法搞定这些该死的图形。
他把自己的三间地下室改造成了车间，一间用来加工木材，一间制造电子元件，一间用来装配这些零件，并最终制造出了最早的触摸屏。
这种最早的触摸屏被命名为“”，由于是手工组装，一天生产几台设备。
不久，成立了自己的公司，并和西门子公司合作，不断完善这项技术。
这个时期的触摸屏技术主要被美国军方采用，直到1982年，的公司在美国一次科技展会上展出了33台安装了触摸屏的电视机，平民百姓才第一次亲手“摸”到神奇的触摸屏。
触摸屏早期多被装于工控计算机、机终端等工业或商用设备之中。
2007年手机的推出，成为触控行业发展的一个里程碑。
苹果公司把一部至少需要20个按键的移动电话，设计得仅需三四个键就能搞定，剩余操作则全部交由触控屏幕完成。
除赋予了使用者更加直接、便捷的操作体验之外，还使手机的外形变得更加时尚轻薄，增加了人机直接互动的亲切感，引发消费者的热烈追捧，同时也开启了触摸屏向主流操控界面迈进的征程。
触摸屏的优点：
人类自婴儿时期就具有碰触喜爱事物的本能，因为碰触是表达意志最简单快速的方法。
所以，触控屏幕可使人与机器间以更友善直接的方式沟通，使个人电子产品的使用更加人性化。
有句广告词说「科技始终来自于人性」，这的确对于触控屏幕的重要性，作了最完美的诠释。
第二章：
触摸屏的原理以及发展历程
触摸屏技术自从应用于公共服务领域和个人娱乐设备，人们逐渐习惯用“摸”的方式，在电子售货机上选购商品，在卡拉机上点播歌曲，在银行、医院、图书馆、机场查询自己需要的信息。
1991年，触摸屏正式进入中国。
1996年中国自主研发的触摸自助一体机投入生产。
今天我们在大街小巷看到的“数字北京信息亭”就离不开触摸屏技术，有了它，即使不会使用电脑的人也能轻易查到“我在哪里”、“我要到哪去”。
1、触摸屏—绝对定位元件
触摸屏绝对定位元件。
所谓触摸屏，从市场概念来讲，就是一种人人都会使用的计算机输入设备，或者说是人人都会使用的与计算机沟通的设备。
从技术原理角度来讲，触摸屏是一套透明的绝对定位系统，首先它必须保证是透明的，因此它必须通过材料科技来解决透明问题，其次它是绝对坐标，手指摸哪就是哪，不需要第二个动作，不像鼠标，是相对定位的一套系统；再其次就是能检测手指的触摸动作并且判断手指位置。
2、触摸屏的种类以及工作原理
触摸屏目前主要的形式分为：
电阻式触摸屏、电容式触摸屏、声波式触摸屏、红外线式触摸屏。
电阻式触摸屏的工作原理以及构造
电阻触摸屏主要是通过测量电阻的大小来实现定位的。
电阻触摸屏的主要部分是一块与显示器表面非常配合的电阻薄膜屏，在强化玻璃表面分别涂上两层透明氧化金属导电层。
利用压力感应进行控制。
当手指触摸屏幕时。
两层导电层在触摸点位置就有了接触，电阻发生变化。
在X和Y两个方向上产生信号，然后传送到触摸屏控制器。
控制器侦测到这一接触并计算出（X，Y）的位置，再根据模拟鼠标的方式运作。
电阻式触摸屏不怕尘埃、水及污垢影响，能在恶劣环境下工作。
但由于复合薄膜的外层采用塑胶材料，抗爆性较差，使用寿命受到一定影响。
电阻式触摸屏结果示意图：
图1
电容式触摸屏的工作原理以及构造
电容式触摸屏主要是通过人体的电流感应进行工作的，当有导电物体触碰时，就会改变触点的电容，从而可以探测出触摸的位置。
电容式触摸屏对于戴手套的手或手持不导电的物体触摸时没有反应，这是因为增加了更为绝缘的介质。
电容触摸屏能很好地感应轻微及快速触摸、防刮擦、不怕尘埃、水及污垢影响，适合恶劣环境下使用。
但由于电容随温度、湿度或环境电场的不同而变化，故其稳定性较差，分辨率低，易漂移。
电容式触摸屏也需要使用材料，而且它的功耗低寿命长，但是较高的成本使它之前不太受关注。
推出的提供的友好人机界面，流畅操作性能使电容式触摸屏受到了市场的追捧，各种电容式触摸屏产品纷纷面世。
而且随着工艺进步和批量化，它的成本不断下降，开始显现逐步取代电阻式触摸屏的趋势。
表面电容触摸屏只采用单层的，当手指触摸屏表面时，就会有一定量的电荷转移到人体。
为了恢复这些电荷损失，电荷从屏幕的四角补充进来，各方向补充的电荷量和触摸点的距离成比例，我们可以由此推算出触摸点的位置。
表面电容涂层通常需要在屏幕的周边加上线性化的金属电极，来减小角落/边缘效应对电场的影响。
有时涂层下面还会有一个屏蔽层，用来阻隔噪音。
表面电容触摸屏至少需要校正一次才能使用。
感应电容触摸屏与表面电容触摸屏相比，可以穿透较厚的覆盖层，而且不需要校正。
感应电容式在两层涂层上蚀刻出不同的模块，需要考虑模块的总阻抗，模块之间的连接线的阻抗，两层模块交叉处产生的寄生电容等因素。
而且为了检测到手指触摸，模块的面积应该比手指面积小。
电容式触摸屏示意图
图2
表面声波式触摸屏的工作原理以及构造
表面声波是一种沿介质表面传播的机械波。
该种触摸屏的角上装有超声波换能器。
能发送一种高频声波跨越屏幕表面，当手指触及屏幕时，触点上的声波即被阻止，由此确定坐标位置。
表面声波触摸屏不受温度、湿度等环境因素影响，分辨率极高，有极好的防刮性，寿命长，透光率高，能保持清晰透亮的图像质量，最适合公共场所使用。
但尘埃、水及污垢会严重影响其性能，需要经常维护，保持屏面的光洁。
表面声波式触摸屏输入是一种最新颖的触摸输入技术。
该触摸屏是由传送换能器、接收换能器、反射板及控制器所组成。
它不采用膜层结构，而是采用廉价的压电陶瓷换能器。
该换能器在屏面上看不见，但能发送耳朵听不到的表面声波（见图）。
位于触摸输入屏四周的反射阵列对表面声波进行空间取样，再次向多路平行路径反射。
位于各发送器对面的反射声波检测阵列合成每束反射声波，变成连续的反射声波，变成连续的反射声波交替地对水平和垂直方向进行扫描。
手指一触摸到触摸输入屏某个部位，该部位的表面波强度便能与触摸压力成正比地衰减。
表面声波式触摸屏示意图
图3
红外线式触摸屏的工作原理以及构造
红外线式触摸屏在显示器的前面安装一个电路板外框，电路板在屏幕四边排布红外发射管和红外接收管，一一对应形成横竖交叉的红外线矩阵。
用户在触摸屏幕时，手指就会挡住经过该位置的横竖两条红外线，因而可以判断出触摸点在屏幕的位置。
任何触摸物体都可改变触点上的红外线而实现触摸屏操作。
红外触摸屏不受电流、电压和静电干扰，适宜某些恶劣的环境条件。
其主要优点是价格低廉、安装方便、不需要卡或其它任何控制器，可以在各档次的计算机上应用。
红外线式触摸屏示意图
图4
3、各种方式触摸屏的特点比较以及应用的领域：
线性度
精确度
可测尺寸
透明度
耐用性
多点触摸
适用的环境
红外
★★★★★
★★★
★★★★★
★★★★★
★★★
不支持
适用于恶劣环境
表面声波
★★★
★★★
★★
★★★
★★★★★
不支持
公共场所，需维护
表面电容
★★
★★
★★
★★★★★
★★★★★
不支持
适用于恶劣环境，但稳定性较差
电阻
★★★★
★★★★
★★★★
★★
★
不支持
适用于恶劣环境
感应电容
★★★★★
★★★★
★★★
★★★★★
★★★★★
支持
适用于恶劣环境。
各种触摸屏的应用领域：
第三章：
透明导电膜的功能以及材料组成
需要使用透明导电膜的触摸屏类型中，主要的有电阻式和电容式触摸屏。
1、透明导电膜在触摸屏中的作用
作为触摸屏中的主要原件的透明导电膜需要经过蚀刻、印刷线路、压合等工序后才能形成触摸屏。
透明导电膜在触摸屏中主要作为绝对定位的信号发生器，同时还需要兼顾保护触摸屏和显示器，保证显示器所显示的图像能够真实的被人眼所观察到。
所以导电膜在触摸屏中具有如下的作用：
A.接受操作，产生正确信号。
B.对显示器显示的内容能够清晰的传递出去。
C.保护显示器以及触摸屏内部的原件。
D.具有可靠的寿命。
2、透明导电膜的材料特点：
透明导电膜一般分为三层：
最外面的是起保护作用的硬化层（），中间的是起支持作用的基材层（），最里面的是起导电作用的导电层。
透明导电膜的示意图
图5
硬化层为导电膜提供保护，避免在日常使用过程中造成的划伤，抵抗外界的磨损。
该层目前一般采用涂料来进行制备。
基材为导电膜提供支持，并提供足够的机械强度和尺寸的稳定性的，导电膜的机械性能特性绝大部分由该层提供。
目前通常情况下基材使用材料。
导电层为导电膜提供电性能和使用过程中的可靠性。
由于透明导电膜要求具有具透明性和导电性两大特性，所以目前导电层的材料主要采用的是（纳米铟锡金属氧化物），这种材料具有很好的导电性和透明性。
导电膜以掺的2O3（）膜的透过率最高和导电性能最好，而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形，所以其蚀刻方式既可以采用酸碱蚀刻，也可以采用环保的激光蚀刻方式，其中透过率已达90%以上。
中其透过率和阻值分别由2O3与2O3之比例来控制，通常情况下2O32O3=1:
9。
但其导电膜略带黄色色调，刚好是液晶显示器画质最忌讳的颜色。
此外由于膜的金属属性其柔韧性较差，同时由于触摸屏的变形的输入方式，使得膜在使用过程中的寿命较短，成为业界的一项难题。
高分子导电膜是近来新兴的一种透明导电膜，由于导电高分子也同时具备良好的透过率和导电性能，并且不受资源限制，目前是最被看好替代的一种导电膜。
高分子导电膜是利用导电高分子是具有导电特性的纳米微粒，通过配方技术使高分子有序排列，使电子传递，达到导电目的，同时使用涂布技术使其很好成膜，最终形成满足触摸屏使用要求的透明导电膜。
高分子导电膜由于不会被酸碱所腐蚀，所以该种膜在使用过程中只能采用激光蚀刻的方式。
这类膜层相对于主要优点是柔韧性能良好，采用制备的产品无法进行曲率半径ψ8以下的弯曲，而采用有机导电聚合物制备的产品却可以行曲率半径ψ1的弯曲，正因为它不易变形不易龟裂，断线，因此，未来可望大幅提高窄边触摸屏的上电极基板特性。
同时氧化铟锡资源稀缺，而导电高分子采用合成技术，没有资源的限制，在制造上原材料成本非常有利。
湿式涂布法规模化生产上有较大优势（车速比干式高一个数量级，幅宽高2-3倍）。
高分子天然的淡淡蓝色色调提升了显示器的色彩品质。
由于透明导电膜的材料同时具备柔性和透明导电性的优点所以它的用途十分的广泛。
图6
随着科学技术的发展，越来越多的电子器件开始朝柔性化、超薄化方向发展，使得对柔性透明导电膜的需求日益迫切。
迄今为止，对柔性透明导电薄膜的研究还处于初级阶段，光电性能优良的柔性透明导电膜的制备技术还不完全成熟，而透明导电膜是许多透明电子元器件制造的基础，如果没有性能优良的柔性透明导电薄膜材料，就无法制备出柔性透明电子器件。
因此，开发光电性能优良的柔性透明导电薄膜具有非常现实的意义。
第四章：
透明导电膜的技术要求
1、透明导电膜的技术要求
触摸屏由于是用于显示器上并且在使用过程中因长期的被按压，其使用条件为自然条件，高温、高湿、寒冷、光照、骤冷骤热等自然条件必须耐受。
这样，对位透明导电膜提出较高的技术要求。
为保证其能够长期稳定的发挥作用，要求位于组件最外层的透明导电膜，能够保护触摸屏内部以及显示器元器件不受水汽的侵蚀；能耐受温差变化；良好的光线透过率；耐敲击性能；耐磨损性能；可以透过显示器发出的光线，正确的响应按压时所产生的信号。
主要体现在可见光透过率、电阻性能、耐老化性能、打击性能、线性度等方面。
透过率
透明导电膜是用于显示器上的组件，这就要求透明导电膜要具备足够的可见光透过率，这样才能满足人眼对显示器面板上的图像有清晰，明亮，鲜艳的感受。
透明导电膜的透过率要求在85%以上。
透明导电膜的透过率是由硬化层、基材和导电层三层共同决定的，目前市场上商品化的硬化基材的透过率一般在90%左右，所以透明导电膜的透过率大部分是由导电层所决定的。
薄膜在可见光范围内导电层的透过率与导电性成反比，当导电层电阻率（方块电阻）在10Ω以下时，导电层的可见光率可达80%，但当透光率欲达90%以上，电阻率必须提高至100Ω以上。
图7
而高分子导电薄膜目前在透过率上已经基本接近于产品。
图8
电阻性能：
触摸屏目前主要用于手持式电子产品，这类电子产品的一大特点是使用电池作为能量供给，同时待机时间也成为该类产品的一个主要的性能，电阻值过大，则在使用的过程中会消耗大量的电能不利于产品的使用，目前该能产品一般要求电阻值小于500Ω。
薄膜电阻与高分子导电薄膜的电阻水平基本相当。
耐老化性能
由于透明导电膜需要在使用过程中遇到各种各样的使用条件，并且还需要保持对信号的可靠响应，对显示的良好体现，并且在制备触摸屏的工艺流程中，透明导电膜需要在130摄氏度的环境中烘烤，还必须要在强的环境中照射，这就要求透明导电膜具有良好的耐老化性能。
要求透明导电膜在130摄氏度的环境中电阻值的稳定，光学性能不改变。
薄膜在在高温高湿（60℃、95％）条件下，经过500小时之后电阻变化比较大（R10大于1.3）已经不能满足触摸屏的使用要求，而高分子导电薄膜在相同条件下基本性能参数几乎没有变化（R10小于1.3）。
打击性能
透明导电膜是触摸屏中唯一的运动部分，要求其在经过百万次的按压后还能保持其可靠性，这就要求其有足够的强度和韧性，通常情况下要求透明导电膜在80克力的情况下能够耐受60万次至100万次的敲击。
材料由于本身是类似于陶瓷一样物质，所以它的柔韧性比较差。
薄膜一般情况下能够耐受约100万次的敲击，或者10万次的划线。
膜的磨损情况图
图9
高分子导电薄膜，比薄膜具有更高的对机械性压力的耐久性，即使反复笔点触和按压也很少发生薄膜导电性变差的问题，因而可以延长触摸屏寿命实现高可靠性。
图10
图10是用试制的触摸屏进行笔划耐久性试验的实例。
用聚缩醛树脂（）做成的R0.8尖笔，以负重4.9N（约500g）的力量按压触摸屏的操作面，来回滑动并观察其线性特征的变化。
线性特征就是表示实际的输入坐标和根据触摸屏的输出而计算出的坐标值之间的偏差，这个差值越小越好。
试验结果表明，在薄膜上约2万次左右开始出现劣化，7万次左右已经超出规格，而在有导电聚合物薄膜上20万次还几乎没有呈现劣化。
图11是通过（扫描式电子显微镜）观察到的导电薄膜表面试验前后的图像。
从图像可以一目了然地看出，膜表面在滑动20万次后出现破裂，而在有机导电聚合物薄膜上虽然出现一些痕迹，却没有明显的缺陷。
由此有理由认为有机导电聚合物薄膜触摸屏的线性特征在反复滑动后仍是稳定的。
图11
结果表明无论按压试验还是笔滑动试验，有机导电聚合物薄膜触摸屏的寿命能比薄膜触摸屏长出10倍以上。
线性度
线性度是指透明导电膜给出的信号值与理论值的最大偏差，它决定了触摸屏的定位精确性。
线性度的大小同时也决定了触摸屏的解析度。
触摸屏的线性度一般要求在1.5%。
图12
导电膜由于其制膜过程非常均匀，膜的厚度偏差非常小，同时膜的质地非常均匀，其线性度一般在1.5%左右。
高分子导电薄膜，由于电子在传输的过程中无法连续传输存在着跃迁现象，同时由于其采用湿式涂布法制备膜的均匀性能还无法与膜相比美，其线性度一般较膜大，使其市场化比较困难。
依据最新的消息韩国集团在今年10月成功开发出利用导电性高分子的触摸屏用透明导电膜，实现全球首例商用化（来自金羊网）。
2、透明导电膜的技术指标
透明导电膜的技术指标
项目
测试方法
指标
透过率
分光光度计（550）
≥85%
电阻性能
表面电阻仪
400±30
耐高温性能
R10
≤1.3
耐环境特性
（60℃95％）
≤1.3
耐久性
80克力敲击
≥100万次
不同类型透明导电膜性能比较
项目
测试方法
指标
膜
有机导电聚合物膜
透过率
分光光度计（550）
≥85%
优秀
一般
电阻性能
表面电阻仪
400±30
良好
良好
耐高温性能
R10
≤1.3
良好
良好
耐环境特性
（60℃95％）
≤1.3
一般
优秀
耐久性
80克力敲击
≥100万次
一般
优秀
第五章透明导电膜的生产工艺
迄今为止，业已出现了多种透明导电薄膜的制备方法，但主要可以分为干式法和湿式法两大类。
其中常用的干式制备方法有：
真空蒸发法、化学气相沉积法、离子镀、溅射法等；湿式涂布发有：
高温热解喷涂法、溶胶一凝胶（）法、浸渍法、湿式涂布发等，但主要的生产工艺是：
溅射法和湿式涂布法。
下面对其各自特点加以叙述。
1）溅射法
溅射法是制备透明导电膜最广泛使用的工艺方法，主要包括直流和射频的反应式和非反应式溅射，以及最近几年发展起来的磁控溅射和离子束溅射。
溅射镀膜主要有以下优点：
第一，任何物质都可以溅射，尤其是高熔点，低蒸气压的元素和化合物。
第二，利用反应溅射镀膜法可以方便地获得各种与靶材不同的化合物膜，如氧化物、氮化物、碳化物、硅化物等。
第三，薄膜与衬底之间的的附着性好。
第四，溅射镀膜法获得的薄膜的密度高，针孔少，而且薄膜的纯度较高。
第五，膜厚可控和重复性好。
由于溅射镀膜时放电电流和靶电流可控制，通过控制溅射功率则可有效控制溅射速率，所以溅射镀膜的膜厚可控性和多次溅射的膜厚再现性好，能够有效地镀制预定厚度的薄膜。
此外，溅射镀膜还可以在较大面积上获得厚度均匀的薄膜。
但是该种方法存在设备投入巨大，生产效率低下（一般每分钟1米），材料利用率低（目前靶材的利用率只有40%左右），成膜面积小等缺点。
透明导电膜目前主流的制备方式是磁控溅射方式，具体过程是：
将基材装入磁控溅射设备，将均匀的溅射到基材上，形成透明导电膜，然后覆膜收卷。
已收卷的产品还需要按不同长度和宽度规格进行裁切，并进行包装整理，以达到最终产品。
2）湿式涂布发
湿式涂布发是将导电涂料采用湿式涂布方式（如浸涂、凹版涂布等）在基材上形成导电涂层，然后干燥成膜，最终形成透明导电膜。
湿式涂布发设备相对于溅射发简单，便于大面积生产，生产效率较高，原材料利用率高，但是存在薄膜厚度的均匀性不易控制，获得的薄膜的质量不高等缺点。
乐凯公司目前所采用的方法是：
透明导电膜制两种主要造方法比较
比较项目
溅射法
湿式涂布法
仪器设备
复杂（真空系统、清洗系统、溅射系统等）
简单
成膜面积
小（一般小于1米的幅宽）
大
原料利用率
低（约40%）
高（至少80%）
涂布时同时形成线路图形
难
较易
薄膜性能
良好
较差
其他的方法在生产中并不多见，多为实验研究性质的。
3）离子镀
离子镀膜技术是在真空蒸发和真空溅射技术的基础上发展起来的一种镀膜技术。
当真空室抽至10-4的高真空后，往真空室内通入惰性气体（如氩气），使真空度达到1-10-1，然后在蒸发基片和蒸发源间施加一直流电压，使工作气体电离，从而在基片和蒸发源之间建立一个低压气体导电的等离子体区。
离子镀膜成核、结晶、迁徙所需要的能量不是靠加热衬底的方式获得，而是由离子轰击的方式来获得的。
离子镀膜膜层附着性好，膜层密度高，被广泛地用来制各氧化物透明导电膜．
4）溶胶凝胶法
溶胶一凝胶（—）法是制备材料的湿化学方法中新兴的方法。
与其他传统的无机材料制备方法相比，溶胶一凝胶工艺具有如下优点：
①工艺过程温度低，使得材料的制备过程容易控制；②溶胶一凝胶过程依靠的是溶液中的化学反应，只要搅拌均匀，外界条件稳定，就可以获得非常均匀的材料，并可以保证这些材料的物理、化学性质非常均匀；③由于溶胶一凝胶过程依靠化学反应，所以通过计算与控制参加反应的物质配比，就可以控制反应产物的成分，并获得高纯度的
反应产物。
由于溶胶一凝胶工艺具有独特的优点，近年来它己经被用作多种薄膜材料的制备。
5）高温热解喷涂法
高温热解喷涂法是将待镀材料的水解反应溶液（一般为可溶性盐溶液），均匀地喷涂于加热的衬底上，通过高温热解以形成一定厚度的透明导电薄膜。
与传统的物理方法或各种方法相比，溶液镀膜法设备简单，成本低廉，便于大面积生产，得到的膜的成份比较均匀，可以很方便地实现薄膜的掺杂。
但溶液镀膜法相对来说需要较高的衬底温度，存在严重污染，薄膜厚度的均匀性不易控制，获得的薄膜的质量不高。
6）真空蒸发法
真空蒸发法镀膜法是以金属或氧化物为源材料通过反应蒸发或直接蒸发淀积各种透明导电膜。
主要包括金属薄膜的后氧化、反应蒸发、激活反应蒸发和直接蒸发。
采用电子束蒸发沉积法可以制备出优质0薄膜，其中蒸发物质为掺有02的203，可见光范围内平均透过率高于90％。
但其制备温度较高，不适用于柔性薄膜的制备。
7）化学气相沉积法（）
方法是通过把含有构成薄膜元素的一种或几种化合物的单质气体供给基片，利用加热、等离子体、紫外光乃至激光等能源，借助气相作用在基片表面的化学反应（热分解或化学合成）生成要求的薄膜。
方法所需设备相对于溶液镀膜法而言比较复杂和昂贵，但制备的薄膜相对也比较致密、质量稳定可靠。
8）其他制备方法
除以上列举的各种制备透明导电膜的各种方法外，还有一些方法如分子束外延法（）、阳极氧化法、丝网印刷法等。
其中法主要用来制备单晶氧化物薄膜，多用于研究材料的光致发光特性；丝网印刷法与前面提到的溶液镀膜法中的浸涂或热解喷涂法类似，采用丝网印刷的办法把可溶性盐溶液均匀在涂覆于衬底上，通过加热衬底使盐溶液发生化学反应来获得透明导电薄膜。
第六章：
触摸屏的发展趋势及对透明导电膜的要求
作为透明导电膜重要应用领域的触摸屏中，其市场情况如下：
来源：
京东方触摸屏报告
图13
根据的市场研究报告显示，触摸屏用的透明导电膜市场，预计将随着触摸屏的应用而扩大，未来四年将维持平均22％
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