防静电设施的检测施工及维护要求文档格式.docx
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本规则适用于所有防静电设施。
包括防静电接地系统；
防静电地面或地垫；
工作台及工作椅；
工作服及工作帽；
工位器具及物流系统；
腕（脚跟）带系统电阻及环境等。
本规则适用于所有从事防静电设施的施工、维护、检测的人员
3.定义:
3.1系统接地电阻：
在防静电接地系统中，接地电阻的总和。
3.2测试点：
测试时，所选定放置测试电极（或表笔）的部位。
3.3表面电阻：
在试样的某一表面上两电极间所加电压与经过一定时间后流过两电极间的电流之商。
3.4体积电阻：
在试样的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两个电极之间的稳态电流之商。
4.内容:
4.1防静电设施检测
4.1.1接地系统的检测
按图一所示。
使用接地电阻测量仪测试防静电地极的接地电阻。
图一防静电地极接地电阻测试
测试步骤：
a）将被测地极用导线接于仪器端子E；
b）在相同直线方向20m、40m潮湿土地处，分别插入电位探测针及电流探测针，各接于仪器端子P、C；
c）设置“倍率盘”倍数；
d）自缓至快摇动仪器手柄，达到120r/min，调整“测量标度盘”，指针指于零位时，读数乘以倍率标度，即为接地电阻值；
e）按测试步骤c,d反复测试3~5次，取平均值。
4.1.2防静电地垫,地面的检测
按图二a所示，测试表面电阻
按图二b所示，测试体积电阻
图二材料表面电阻和体积电阻测试
4.1.3工作台,工作椅
工作台
随机选定测试点，每个工作台不得少于3点。
按图二a所示，测试工作台面表面电阻。
按图三所示，测试工作台面对腕带插孔电阻。
按图四所示，测试工作台面对地系统电阻。
图三工作台面对腕带插孔电阻测试
图四工作台面对地系统电阻测试
工作椅
随机选定测试点，每个工作台不得少于5点。
按图五所示，测试椅面对脚轮的电阻。
按图六所示，测试椅面与靠背间电阻。
图五工作椅面对脚轮电阻测试。
图六工作椅面与靠背表面间电阻测试。
4.1.4工作服,工作鞋底
按图七所示，测试防静电工作服表面电阻。
如图所示分别测试A、B、C、D四点与基准点间的表面电阻。
按图八所示，测试防静电工作鞋底体积电阻。
图七防静电工作服表面电阻测试。
图八防静电工作鞋底体积电阻测试
4.1.5工位器具及物流系统
按图九所示，测试工位（传递）器具表面、体积电阻。
按图十所示，测试物流车台面对车轮系统电阻。
图九工位（传递）器具表面、体积电阻测试
图十物流车台面对车轮系统电阻测试
4.1.6腕（脚跟）带系统电阻
按图十一所示，测试佩带腕带时系统电阻。
图十一佩带腕带时系统电阻测试
4.1.7环境（墙壁,窗帘）（摩擦起电电压测试）
1．测试时手持干燥布料（选用纯棉或防静电面料），以频数约120次/min，手掌适当施加压力，单向摩擦被测件某一部位20次，按静电电压表使用方法立即接近摩擦部位，观察仪表显示数值。
2．反复测试5次取平均值。
3．使用非接触式静电电压表测量。
4．该检测方法除适用与对环境（墙壁，窗帘）等的测试外还可检测生产场地防静电设施表面摩擦起电电压的测试。
包括：
地面（地垫）、工作台（台垫）、工作椅、货架、工位器具、物流传递器具、输送皮带线、包装袋（盒）、工作服（工作帽、手套）、工作鞋等。
4.1.8测试技术指标
项目
表面电阻值Ω
体积电阻值Ω
电阻值Ω
摩擦电压V
防静电地极接地电阻
<
10
地面
105~1010
100
地面对地极母线电阻
5*105~108
墙壁
400
窗帘
地垫
105~109
105~108
工作台垫
106~109
工作台面
工作台面对腕带插孔电阻
工作台面对地系统电阻
106~108
工作椅面对脚轮的电阻
椅面与靠背电阻
108~1010
工作服、工作帽、手套
300
工作鞋底
0.5*105~108
工位器具及物流传递器具
103~108
103~107
包装袋（盒）
物流车台面对车轮系统电阻
佩带腕带时系统电阻
1M~10M
4.2防静电设施的施工
4.2.1防静电接地系统的施工要求
a）防静电系统必须有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于10Ω。
b）防静电地线不得接在电源零线上，不得与防雷地线共用。
c）使用三相五线制供电，其大地线可以作为防静电地线（但零线、地线不得混接）。
d）接地主干线截面积应不小于100mm2;
支干线截面积应不小于6mm2；
设备和工作台的接地线应采用截面积不小于1.25mm2的多股敷塑导线，接地线颜色以黄绿色线为宜。
e）接地主干线的连接方式应采用钎焊。
f）防静电设备连接端子应确保接触可靠，易装拆，允许使用各种夹式连接器，如鳄鱼夹、插头座等
4.2.2防静电地垫的施工要求及维护
施工要求：
1．静电地垫材料参数应符合标准。
2．在铺设施工前必须保持地面平整。
3．地垫铺设时应在地垫下贴双面胶以防止地垫移动；
二地垫拼接处应平整，无缝隙；
铺设完后应及时将保护膜拉去。
4．每块地垫应至少有二个接地端与接地系统连接。
清洁维护：
1．保持地垫表面的清洁。
2．严禁重物在地垫上移动。
3．发现接地线有脱落现象应及时报修（维修）。
4.2.3离子风机的维护及检测
维护：
1．定期清洁离子发射针。
2．定期检测离子风机电源系统。
检测：
1．安装：
将静电电压测量仪718沿充电滑槽插入充电板处。
2．充电：
手按充电发生器718A的（+）按钮并将发射头点充电板，使充电板电压达到1000V。
3．测试：
开启离子风机；
将装有电压测量仪并已加1000V电压的充电板放在距离子风机30cm处；
观测电压值从1000V降到100V所衰减的时间。
如小于2秒，则认为该离子风机可用。
4.3防静电设施的维修及记录
4.3.1防静电维修
a.观测及报修：
由现场操作人员对现场的防静电设施进行目测，如发现ESD设施故障或异常应采取应急措施并报修。
b.现场维修：
跟班维修人员每日对ESD设施进行巡检，巡检中发现的问题及接到报修电话后应及时维修或采取临时措施保证正常的生产（2小时内）。
c.计划维修：
跟班维修人员未能在2小时内完成现场维修或因缺工具、材料等而不能维修的应采取措施恢复生产。
并将故障情况、处理过程、应急措施等记录在维修记录表上。
日班维修人员根据维修记录表情况安排在二周内完成维修。
d.立项改造：
每月对维修记录情况进行统计发现有多次重复发生的故障或有明显不合理、不符合防静电要求的设施应在2月内立项改造。
改造其间应有应急措施，并作为ESD巡检的重点。
4.3.2维修记录
具体见《防静电设施维修记录表》
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