镀膜作业基础培训文档格式.docx
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2
程式中膜系数据的
核对
确认膜系数据疋否有变动（变动的原因及变动责任人、变动结果）2。
确认上
一次本机台用本程序的时间及分光结果
3
表格登记
按实际作业，表格记录
膜
料
膜料与程式中的规
定吻合
确认是否按程式要求准备膜料（有时
一种膜料有几个坩埚）2。
膜料的品名、
丿家、规格（有时种膜料有右干个规
格）
膜料与规疋坩埚号
的吻合
确认膜料是否放在规疋的坩埚位
膜料的料况确认（污
染、平整、中心、
确认块状膜料的料平整、中心；
确认颗
粒料的无污染和添加料的准确。
镜片类
镜片部番
确认冋罩的若干机种部番是否可以冋
罩，与规定的程式名是否吻合
镜片面别
确认是否是规定的面别
镜片状况
确认止要被镀的面是未镀面
4
伞片摆放
确认伞片是否已经放平整，是否需要调
整
5
套环摆放
确认各套环是否到位，平整
机
台
旋转架
确认旋转是否平稳
蒸发源
确认是否需要换灯丝（舟），2。
确
认上一次使用是否正常或已经作了调
整，3。
确认是否已经打扫干净，4。
认膜料已经装好，坩埚落位准确
离子源
确认离子源是否已经打扫，2。
确认
离子源上次使用是否正常，如有异常是否排除，3。
确认离子源灯丝是否需要更换。
确认晶控片的有效性，2。
确认新晶
4晶片和监控片片的有效性，3。
确认监控片的有效性，
4。
确认监控片光路的良好。
3镀膜开机作业员监控规定（一般规定）
1、镀膜开机作业员在开机作业中必须对机台运行情况全面监控
2、各机台的各项监控数据，参照各机台的作业指导实施。
3、监控内容及处理对策
阶
段
监控内容
判断依据
处理对策
记录
抽
直
/、
空
泵的运行、真空阀门的切换（在规定真空度到达后自动切换）
时间：
是否在规
定的时间内完成
个阀门的切换
如果没有在规定时间内切换阀门，真空抽速有问题，请带班和修机员处理
记录故障现象和故障时间
真空指示（观察仪
表）
低真空显示和高
真空显示是否正
常，
如果高真空显示异常，在规定时间没有达到规定的真空度，请带班、修机员确认原因解决
加
执
八、、
加热管工作状况
（电流表）
观察各路加热电流表的工作状况，（下加热系统可以直接观察加热灯光的工作状况）
如果二（多）路电流显示很不平衡，在温度没有到达时其中有一路（多路）没有工作电流显示，表示加热异常。
如果加热频繁跳闸，也是有问题。
提报带班、修机员处理。
温度显示
是否到达预定温
度后进入保温
如果恒温后，温度还在上
升，加热器有问题，停止
加热，提报处理
恒温时间设定
进入保温后计时
器工作是否正常
保温后，计时器没有工作，后续工作不能执行，机组信号处理系统有问题，须提报处理
设定时间的执行
加热系统是否按
设定在执行
如果保温后，温度还在上
升，加热器有问题，提报
处理
离
子
轰
击
离子源工作状况
灯丝是否工作，阳极、阴极的电压电流是否可调节
如有问题，可以关闭，重启，还是有问题时，关闭力资源，提报带班、修机员、工程师处理
记录故障现象和处理过程、
流量计、气体充入
工作状况
是否充入规定的气体、气体的流量是否正确、流量计的工作是否正常
时间
离子轰击时的真
空度
充入气体后的真
空度是否正常
预
溶
膜料的预溶
膜料是否飞溅，
如果飞溅严重可
能膜料有问题。
通报带班、工程师对膜料作出判断，（是继续还是退出换膜料）
记录现
象及处
理方法
充氧状况
规定充氧预熔的
膜料，是否有氧
气充入
及时调整，如有困难，报
告带班处理
电子枪（蒸发源）
光斑是否合适、
扫描是否合适
及时调整
预熔后料况
预溶后的料况是
否良好
如果有问题，补充预熔，
尽量弥补
做好记
录
预熔检查
检查是否应该预
熔的膜料都预熔
了
如有遗漏，及时弥补
蒸
镀
程式
核对程式与所镀
镜片的对应，再
如果程式有误，暂停执
行，再次请带班和技术贝
次确认程式数据
确认后再执行。
膜料坩埚料况
观察坩埚位的准
确性和初始料况
如果坩埚位有误，请技术员确认后临时从膜系设置中更改；
如果料况不好，可通过再次预熔调整或在蒸镀中调整电子束光斑位置和扫描
蒸发速率电子枪
观察电子枪工作状况，（扫描、束斑形状大小、功率调整）
如有异常，须及时调整，调整困难时请带班帮助
膜厚监控
观察蒸发速率的稳定状况，到达预定厚度时是否停止蒸镀
如果达到预定厚度时，没有及时停镀，应立即手动停镀，检查原因，请带班确认解决。
做好记录（真正原因、处理方法）
真空度
观察蒸镀中，真
空度有无异常
真空变异大，故障发生，
停止蒸镀，请修机员检查
修真空系统
记录当前蒸镀数据
（层、
料、已
需要充氧的膜
料，进氧量（流
如果进氧异常（没有充氧
或进氧过大）应暂停蒸
量显示或真空度）是否正常
镀，提报带班（技术贝）
确认处理
镀厚
度），
故障现象，故障时间
镀后恒温
时间确认
是否按时间设置
恒温
如果加热中途停止，手动继续，如有困难请带班帮助，并检查原因排除
4、镀膜机开机作业常见作业过失预防表
作业过失项
过失危害
防止对策
用错程式，没有按规定调
用程式，没有针对机种选
用程式
分光不良
真空室关门前，认真核对程式、核对程式数据，如有疑问必须在相关担当确认后进行下步作业
膜料搞混，加错膜料，特
别是AI2O3\SiO2\MgF2膜
料容易搞混
分光不良，崩料、斑孔
膜料标示鲜明，带班每
日确认，作业员加料时
认真核对
添加膜料时不注意造成膜
料参杂
分光不良，崩料、斑
孔
加膜料时，不要几种膜料一起加，加料前，确认坩埚的料况（不参杂、没污染）
添加膜料时，膜料不平整
伞差大，分光不良
检查料况，保证料面平
更换膜料时，坩埚没清洁
参杂、崩料、斑孔
坩埚检查确认后，添加
膜料
6
膜料坩埚位置放错
分光不良、崩料、斑
核对、检查确认
7
真空室清洁没做或做得不
好
真空抽速降低、扬灰
造成镜片灰点
按规定做好真空室的
小清洁（每伞）一般清洁（更换部分护板）、
大清洁（全部护板更换
等）
8
蒸发源清洁不好或没有清
洁
电子枪打火、膜料参
杂、分光不良、损伤
镜片、损伤蒸发源
认真做好每伞之间的蒸发源清洁（坩埚周围、坩埚盖板、灯丝处等）
9
蒸发源挡板没换
挡板掉渣、膜料参
杂、斑孔
关门前确认
10
蒸发源挡板不干净
更换时确认
11
蒸发源挡板没放
斑孔、分光不良
13
新晶片安装后没有确认是
可能造成晶片故障，
更换晶片时检查确认
14
没有确认正在使用的晶片
是否在有效、灵敏范围
可能因为晶片失效，
15
没有确认监控片是否有效
可能因为监控片失
效，无法监控
16
更换新监控片时，安放不
平整
测试光路偏差，分光
不良
更换新监控片后，对光
路、膜厚仪数据检查确
认
17
上伞时没有核对镜片（机
种、面别、是否已镀）
可能造成程式不符，
分光不良，镀重等
上伞时认真确认，互相
提醒
18
伞片没有放平整
旋转后，伞片滑洛，
旋转卡住，旋转系统
故障，大量镜片报废
上伞后互相确认，本机
开机员担当责任
19
套环没有放平整
旋转中，套环滑洛，镜片报废；
卡住旋转，旋转系统故障，大量镜片报废
开机员承担责任
20
没有检查确认旋转架工作
状况
可能由于旋转不转，
分光不良，旋转震
上伞后确认，如有疑
问，应当排除后进行下
动，镜片震落报废
步工作
21
清洁工具遗留在真空室
真空抽速降低，加热
后工具损坏，可能造
成分光不良
检查确认习惯养成，责
任人承担相应责任
23
真空室作业时，拿取摆放相应真空室部件（含坩埚，电子枪灯丝更换、晶片更换等）时裸手
手汗对真空室部件的污染，严重时影响抽速，减少真空部件的寿命，造成接触不良（如晶片、电子枪灯丝、离子源灯丝）
制定相应规定，互相监督，习惯养成，薄形手套配备
22
真空室关门时没有扣上
初抽真空时真空抽
不动，噪音极大，对
真空系统伤害
养成扣门习惯，杜绝偷
懒的不规范作业，承担
相应责任
监控不到位（自动镀膜机）
一旦发生异常，原始状况不了解，对后期补救、处理带来很大困难，发生故障是不能及时中止，造成损失
明确制定各机台监控项目，明确规定确认各机台异常的数据、现象判别标准。
明确在一旦异常发生时，应该记录的项目
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未按规定预熔膜料（没有预熔、没有全部预熔、预
膜料飞溅、镜片斑孔
镀前必须按规定预熔
膜料，老贝工（班长）
熔不透）
确认新员工的预熔效
果
25
应该充氧预熔的没有充氧
高折射率氧化物失
氧过多短波吸收加大，透射率分光不良
作业标准书明确规定，
各种膜料的各机台的
预熔方法、注意事项
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未按规定离子轰击（后配
的离子源）
影响成膜强度
强化作业规范
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离子源轰击时擅自更改冲
入气体
影响离子源轰击效果，离子辅助镀时，未冲入氧气造成膜料吸收
强化作业规范，承担相
应责任
28
蒸镀Mgf2膜料时，加入离
子轰击
镜片发黄不良
强化工艺纪律
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下伞中，端取镜片时对有
些卡的伞片野蛮硬拽
伞片突然离位，镜片
撒落报废
小心处理，
30
镜片还未下伞完就开始清
洁机台
扬灰职位下镜片上，
热镜片吸附灰点造
成不良
必须待镜片下伞完后
才能打扫。
31
机组在等待时期没有及时
关门
延长下一伞蒸镀时
间，真空室吸潮
养成减少真空室开门
时间的习惯
今天的培训就到这里，下次给大家简单介绍镀膜机真空的基础知识。
我们镀膜是干什么的
为什么要“真空”镀膜镀膜会有怎样的发展。
真空是怎么回事。
以上
谢谢大家。
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