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第2章薄膜晶体管液晶显示器工艺简介
2.1液晶（LC,liquidcrystal）的分类
2.1.1.层状液晶（Sematic）
2.1.2.线状液晶（Nematic）
2.1.3.胆固醇液晶（cholesteric）
2.1.4.碟状液晶（disk）
2.2液晶的光电特性
2.2.1.介电系数ε（dielectricpermittivity）
2.2.2.折射系数（refractiveindex）
2.2.3.其它特性
2.3偏光板（polarizer）
2.4上下两层玻璃与配向膜（alignmentfilm）
2.5TN（TwistedNematic）LCD
2.6Normallywhite及normallyblack2.7STN（SuperTwistedNematic）型LCD
2.8TFTLCD（Thinfilmtransistorliquidcrystaldisplay）
2.9彩色滤光片（colorfilter,CF）
2.10背光板（backlight,BL）
2.11框胶（Sealant）及spacer
2.12开口率（Apertureratio）结论
参考文献
致谢
2
TFT（ThinfilmTransistor）技术是二十世纪九十年代发展起来的，采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造技术，是液晶（LC）、无机和有机薄膜电致发光（EL和OEL）平板显示器的基础。
TFT是在玻璃或塑料基板等非单晶片上（当然也可以在晶片上）通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必需的各种膜，通过对膜的加工制作大规模半导体集成电路（LSIC）。
本文主要介绍了TFT的一些简单的基本原理和液晶显示器的制作流程，通过本文，我们可以了解到液晶显示器的一些简单的知识。
液晶显示器的成色是三种基本的颜色组成，分别是红、黄、蓝。
再通过驱动电路的电压的大小来控制液晶的角度来达到透光率的控制，进而形成各种颜色。
在未来的几年内，液晶显示器将成为新的主流产品出现在我们的生活里。
关键词:
TFT、液晶显示器、液晶
绪论
液晶显示发展趋势
市场，不外需求和竞争。
液晶显示产业面对的市场核心也是如此。
作者认为，市场对液晶显示的需求和各类显示器件与液晶显示的竞争是液晶显示发展的最大动力，并决定，主导了液晶显示的发展趋势。
市场对液晶显示的需求，一句话，“不断扩大”。
这是有目共睹的，特别是，个人便携式产品的发展，例如，移动通讯产业的迅速发展，为液晶显示的发展注入了动力。
市场需求的扩大，将决定了液晶显示持续发展的基本态势。
而各类显示与液晶显示在市场上的竞争则不仅是液晶显示发展的动力，而且将决定液晶显示发展的方向和特点。
所以作者将重点谈谈液晶显示的市场竞争是如何决定液晶显示持续发展趋势的。
液晶显示内部竞争
3
各个液晶显示厂商间的竞争和各类液晶显示器件之间的竞争是液晶显示内部竞争的主要构成。
各厂商间的竞争主要内容是产品的质量和性价比。
质量越好，市场越欢迎，你就会卖得多，赚钱多;
性价比高，客户越高兴，销售量越大，你的利润就更多。
所以，液晶显示各厂商间的竞争将会不断的促进液晶显示质量的提高和性价比的提高。
换句话说，就是，产品越来越好，价钱越来越便宜。
——这是液晶显示持续发展的第一个趋势。
各类液晶显示之间的竞争对液晶显示发展趋势影响也很大。
我们知道，液晶显示的分类是很多的，例如:
TN，STN，TFT等等。
各种类别的液晶显示优缺点各异，对用户来说，他们是互补的，但对各类液晶显示来说，竞争就促成了他们各自克服缺点，发挥优点的不断进步，甚至会激发出灵感开创出新的显示模式
其中，近年来由于液晶显示内部的竞争而发展的新型液晶显示事例，较为突出的是:
1:
黑白和彩色STN的发展
STN是在克服TN型液晶显示难以多路驱动的缺点时诞生的，但是，STN的干涉色，使其显示效果不如TN的液晶显示，人们不满意。
于是人们利用光学延迟片对园偏振光的补偿原理制造出了黑白STN。
STN又吸收了微彩色膜技术实现了彩色STN。
他突破了无源液晶显示的彩色化，又远比TFT彩色化液晶显示价格低，虽然这种彩色化，由于STN本身特点所决定，只能显示不多的彩色级别，被称为“伪彩”，但是STN已经成为液晶显示市场中不可或缺的一大类产品了。
2:
多晶硅TFT的诞生
TFT有源矩阵液晶显示是可以实现活动视频图象显示的液晶显示，但是，在非晶硅薄膜上制作的有源矩阵TFT由于其电子迁移率低，而不得不将器件面积作得稍大，因此在很小的像素面积上占据了不少比例，使像素的开口率（有效像素面积/全部像素面积）仅70%左右。
严重影响了背光源的有效利用，而无源液晶显示虽然不能显示视频图象，但是其开口率高（不4
计像素间隔，可达100%），在开口率方面的相互竞争，导致人们开发了开口
-TFT-LCD。
多晶硅的电子迁移率率达80%以上的多晶硅TFT有源矩阵，即P
比非晶硅的电子迁移率高一个数量级，因此器件可以作小一些，开口率自然高。
而且，由于电子迁移率提高了一个数量级，完全可以将速度不是很高的行列驱动器也作在液晶显示器基板的多晶硅层上。
3:
反射式液晶显示成为开发重点
液晶显示属被动显示，只有在有外光源的条件下（无论是环境光还是背光源）才能实现显示。
但是，背光源的功耗是液晶显示本身功耗的几百倍以上。
因此，在有无背光源的两大类液晶显示中，反射式液晶显示有一定的优势。
但是原有TN，STN反射式液晶显示由于偏光片的吸收使其显示底色暗，对比差，显示效果不好。
所以，各类液晶显示在对外光源的有效利用和追求所谓“书写式”（或称类纸）显示效果的竞争中，激发了对反射式液晶显示的开发热情。
使反射式液晶显示成为当今液晶显示又一大发展趋势之一。
液晶显示与各类显示的竞争
液晶显示与其他几种平板显示在市场上的竞争是驱动液晶显示持续发展的又一大动力。
近年来，PDP，OLED，DMD，FED等多种非液晶的平板显示都已经陆续成熟上市，它们针对液晶显示的某些不足，如亮度低，不易大屏幕化等缺陷，来势汹汹发起了对液晶显示的挑战。
某些观点喜欢将显示器分为“代”，而且认为“新一代”的显示会取代“老一代”的显示，如最近，某些人即声称OLED将会取代液晶显示。
事实上，由于各种显示各有不同的优缺点和各自特性，一般不可能互相取代，但是，利用本身的某一特长部分取代或冲击另一类显示器件是完全现实的。
液晶显示不得不面对这一挑战和竞争。
这一挑战和竞争既是对液晶显示产业的威胁，又是液晶显示产业的发展动力。
下面我们将从显示器件的典型特性上分析一下最新非液晶显示的平板显示对液晶显示的挑战。
5
1（驱动电压
液晶显示号称是低压驱动，但实际上也并不能一概而论，在多路驱动
ee）有时会高达十几伏条件下，由于占空比的减小，其实际驱动电压（即V
至二十几伏。
而像PDLC，快速多稳态（MLCD）液晶等的驱动电压可能会高达几十伏至百伏左右。
在几种新型平板显示中除OLED外，大都工作电压较高。
可见，最常用的TN，STN等液晶显示的低压驱动优势依然不减。
但是，低压驱动的好处也仅在于可与大规模集成电路的低压兼容，所以，虽然OLED的工作电压还稍高于液晶，但与OLED比，液晶显示的工作电压优势已不明显。
2（工作电流
工作电流的大小，对应用也有很大意义。
一般的液晶显示是场效应型的，所以工作电流都很小，每平方厘米仅零点几微安至几微安，而EL，PDP等不仅工作电压高，工作电流也大，OLED工作电压虽低，但是他属于电流型器件，工作电流大，而且要求恒流，稳流。
与液晶显示无法相比。
只有像电泳显示，电子墨水（e-ink）和DMD微型显示的工作电流才能与液晶显示媲美。
3（功耗
功耗虽然等于电压和电流的乘积，但在使用中却有独立的意义，他标志着器件消耗电能的多少，这在微型，便携设备上意义重大。
在主要的平板显示器件中，PDP，FED，VFD的功耗最大，而EL，LED的功耗次之。
目前有人称OLED的功耗比液晶显示还低，这是个误解。
OLED的功耗和LED功耗在同一数量级，但是它是主动发光器件，不需背光源，而且只有在显示时才耗电，因此和增加了背光源的液晶显示器件总功耗比，不仅总功耗不大，甚至在不要求高亮度，不是全屏显示时，功耗还更小。
可见，说OLED功耗比液晶显示功耗低是有多种附加条件的。
我们从发光效率看，LCD背光源CCF的效率为50~60lm/W，而OLED的效率仅15lm/W。
而且，作为电流型的OLED所需的电流驱动器无论从功耗还是器件制作难度，还是成本上都要高6
于液晶显示驱动器。
因此OLED的低功耗也要大打折扣。
不过在移动通讯这类要求彩色，黑暗中能看清图形，图象，文字就可以了的特殊应用领域，由于液晶显示必须配背光源，所以OLED的总功耗还是可以向液晶显示挑战的。
不过，真正在功耗上可以向液晶显示挑战的是那类电场效应型，有存储记忆功能，反射式的电泳显示，电子墨水之类的显示器。
他们更具威胁。
4（亮度（对比度）
这是表示显示清晰程度的一个指标，被动显示的液晶显示用对比度表示，一般为5:
1~20:
1，而主动发光的显示器如PDP，OLED等则以亮度表示，一般为100nt~300nt。
增加了背光源的液晶显示也可以用亮度表示，一般亮度也不会超过250nt，如果不考虑功耗，多加背光管，也可以实现400nt以上，对比度达到100:
1。
而主动发光的显示器可以很容易的达到800nt以上，对比度可达500:
1以上。
此外，液晶显示类似于灰纸上写黑字，对比度再高，显示效果也不如电泳显示，电子墨水那种白纸黑字的显示效果好。
所以，无论从有背光的亮度指标，还是无背光的反射式显示对比度指标上看，液晶显示都处于劣势。
5（响应速度
属于分子级别的液晶显示原理，响应速度一般是mS级，而OLED，PDP等属于电子级别工作原理的响应速度一般都可达到μS级别。
个别类型的液晶显示如铁电液晶显示，或将液晶盒作得很薄，如仅1μm，也可达到μS级响应速度，但是其成品率回大大下降。
总之，液晶显示的响应速度也是弱项。
但就目前应用领域的需求，液晶显示的响应速度还是可以满足应用要求的。
6（灰度级别，色彩级别
可显示的灰度级别越多，显示的图象层次越丰富，彩色化时的色彩级7
别也就越多。
STN的灰度级别仅2~4个，由此组合的彩色级别也就不多，我们只能称其为伪彩。
TFT液晶显示的灰度级别可以很多，组合的色彩级别可达几十万个，我们称之为真彩。
而FED，PDP等的灰度级别可以轻易地实现十几级至几十级，因此组合的彩色级别也就更多更丰富。
可以达到几十万个，优于无源液晶显示。
7（彩色化能力
在实现彩色化能力上，液晶显示中成熟的技术是使用微彩色滤色膜，将像素分割成R，G，B三色子像素，目前公认这是一种容易而有效的方法。
但是这种方法会造成大量光损失。
PDP，FED，OLED等主动发光显示器可以用不同材料实现不同的发光颜色，而且不会有光损耗。
这是优势，但不同材料会有不同的老化参数，从而造成总体寿命缩短，色彩失真。
这也是不足。
此外，液晶显示由于滤色膜对光的损耗，彩色不如主动显示器件的鲜艳。
8（视角
视角对观察很重要，一般定义为最大观察方向与法线的夹角，它包括最大视角和最佳视角方向。
TN，STN等液晶显示由于液晶分子排列方向和使用了偏光片，视角大小和最佳视角方向都不好。
而PDP，OLED等主动显示则不会有这些毛病，因此视角大，最佳视角方向也均衡。
对此，液晶显示明显不如OLED和PDP等主动发光显示器件。
9（屏幕大小
由于液晶显示需要一个极薄而均匀的薄盒，所以无论从材料还是制造上都很困难。
一般只能作到20几寸以内的中小显示屏（有报道称可做成32寸，甚至更大）。
目前号称平板大屏幕首选的PDP，其实由于他是电真空器件，面积过大，在材料和工艺（如去气，排气，封接）上也都有困难，所以一般只能作十几到五十几寸的显示屏。
OLED以及PLED是全固体器件，理论上可以作得很大，但是OLED需使8
用真空薄膜工艺制作，大面积产品的成品率是问题，而PLED虽是厚膜工艺制作，容易做大，但它属于电流型器件，面积过大，电极引线负载以及升温等问题也难以解决，目前也只能作到几寸致十几寸水平。
此外，FED等几种其他显示器件，目前也都因为制作等方面的难题不能作得过大，甚至不能大过液晶显示。
而液晶显示器件中的投影液晶显示，如LCOS微型液晶显示器却可以实现几十致上百寸的显示。
10（像素密度
像素数越多，图象越清晰，一般只要光刻像素工艺能达到的像素密度就都能实现，但是高像素密度的液晶显示必须是有源矩阵器件。
受非晶硅电子迁移率和开口率的制约，像素密度也终有极限。
不过，最新的多晶硅，单晶硅的TFT液晶显示确可以将像素数作的非常高。
而PDP是靠厚膜工艺制造，像素密度自然上不去。
OLED，FED，PLED也都因各自的结构，工艺等原因，而不能太精细。
比不上液晶显示。
11（存储功能
这里所指为“无功存储功能”，即在断电后，显示不会消失，它适用于非经常变换显示的场合，可大大节能，并可部分取代有源矩阵的功能。
某些液晶显示如双稳态，多稳态液晶显示及铁电液晶显示都具有这种功能
OLED，FED，等显示器都没有这些功能。
PDP的存储功能虽不能维持整幅图象持续显示，但是却可以取代有源矩阵的功能，从而使PDP驱动不受行列数量增大产生的捆扰。
12（环境参数
众所周知，液晶显示的工作，存储温度范围较窄，不仅如此，作为背光源的冷阴极灯管的低温启动能力也不好，这是其又一重大劣势之一。
而其他几种显示器件的低温工作性能都比液晶好，但是几种使用荧光粉或半导体材料的显示器，包括OLED，在高温下会产生淬灭，所以各自都9
有其不足。
13（连接性能
平板显示器件的外引线联接难度在于密度大，有些还是非金属材料，如ITO等。
液晶显示即是如此，为此随着液晶显示的发展已经开发了一系列连接技术，如COB，COF，COG等。
可以满足使用要求。
其他各类平板显示的连接，一般都沿用液晶的连接技术，按各自特点加以改造，如PDP的连接，必须考虑耐压，防击穿;
而OLED则必须保证连接电阻尽量小。
总之靠低电压工作的液晶显示器件的外连接还是比较容易解决的，那些电压高，电流大的发光型显示器件的外连接相对要难一些14（可靠性
液晶的可靠性最高，只要不摔碰，破损，十年免维修都可以。
而PDP是高压器件，OLED是电流型器件，他们的可靠性都不如液晶显示。
15（寿命
液晶显示器件无论从理论上或实践中寿命都很长，十几万小时没问题，常见的便携电脑显示器如果不是人为损坏，一般多是背光源老化，亮度下降。
更换一只背光源管即可返老还童。
相对其他显示，无论是PDP，OLED，FED，VFD的寿命都不如液晶显示。
OLED的材料提纯很难解决，影响了他的寿命，PDP的寿命则受荧光粉老化和管内气压变化的制约。
唯一可与液晶显示寿命相媲美的仅有无机LED。
但是它很难作成平板显示器件。
综上所述，各类新型显示器件已经从不同角度发起了对液晶显示的挑战。
虽然目前还没有哪一类显示在综合性能上超过液晶显示，但在某些领域也确实构成了对液晶显示的威胁。
例如，OLED利用其彩色自主发光，全固态化，低压，直流驱动，小功耗等优势开始了对移动通讯——手机市场的抢占。
可以预见，各类平板显示器件将直面液晶显示的几大弱势——被动显示，亮度低，对比度不高，背光源功耗大，大屏幕化难度高等发起挑战。
10
这既是各类平板显示器件发展趋势也是液晶显示为保持持续发展的努力方向。
液晶显示如何应对挑战
液晶显示发展趋势其实就是应对市场的需求和新型平板显示器的挑战。
一个产品在市场中是否能有一席之地主要看两个方面，一，综合优势，二，特长优势。
液晶应对挑战也主要是这两个方面。
1，发挥特长优势
一个产品的特长是本身具备的，又是客户评定的。
用户的要求永远都是精益求精，一个产品在用户眼中总是不进则退的，用户的眼睛最容易“见异思迁”。
所以，任何一个产品必须珍惜自己的特长优势，而且要不断地完善，更新，进步。
这就是液晶显示发展的强大驱动力。
液晶显示面对挑战的第一个回应就是发挥自身特长优势。
根据前面的分析，主要包括以下几个方面:
1）发展反射式液晶显示
作为被动显示，可以有透过式和反射式两种显示形式。
反射式的优
点不言自明，它利用并调制环境光满足显示要求，省电，节能都源于此。
早期的，中低挡液晶大都属于反射式。
但是，由于一般TN，STN液晶显
示必须使用偏光片，所以其显示底色灰暗，显示质量差。
以后，虽然在
透过式液晶显示背后增加了背光源，改善了显示质量，但功耗大大增加，
又损失了微功耗的特长优势。
当然，即便如此，面对一些大功耗的主动
发光显示如PDP，CRT等还是有优势的，但面对一系列新型的低压，小
功耗的主动发光显示，如OLED，PLED，FED等的上市，其特长优势大减。
面对这一市场竞争，近年来已经形成了开发反射式液晶显示的强劲
势头。
反射式液晶得到了迅速发展，某些不使用偏光片的液晶显示效果，
如多稳态液晶显示的显示效果已经接近了白纸写黑字的显示效果。
而硅
上液晶LCOS则开创了反射式液晶投影显示的先河
11
反射式液晶显示保持了液晶显示原有优势和特长，将是今后液晶持续发展的重要支柱之一。
2）提高像素密度
液晶显示的结构、工艺保证了它实现高像素密度的可能。
面对PDP
，液晶显示也等显示具有明显优势，但面对另一些显示器件，如OLED感到了危机
近年来，一方面从工艺入手，使液晶像素越作越小、越作越密。
以满足高清晰度和小面积、大显示容量方面（如手机显示）的要求。
而另一方面，将有源器件所用的非晶硅材质过渡为多晶硅、单晶硅材料，由于其后者的电子迁移率高，其有源矩阵可以作得更小，不仅提高了象素开口率，而且也提高了象素密度。
特别在彩色有源矩阵液晶显示领域，多晶硅将是今后液晶显示发展的另一重要发展趋势。
3）改进工艺、降低成本
液晶显示诞生近30年，生产工艺成熟，成本、价格相对较低。
目前已号称进入了第六代，第七代生产线，投料尺寸超过了一米以上，TFT-LCD成品率也超过了90%。
但是面对其他显示器件的竞争，液晶显示也还将继续在这方面追求革新和发展，以求提高产量，降低成本，提高性价比。
终究价格竞争还是市场竞争的持续重要内容。
改进的重点是缩短工艺流程和加大投料尺寸。
2、克服缺陷、推陈出新保持综合优势
不必讳言，液晶显示也有不足、缺陷、弱势，例如亮度（对比度）低，响应慢，工作温度范围狭窄、显示面积不易作大等等。
这些缺陷给他的应用带来了不便和阻力，也给他的发展带来了动力和更新的空间。
今后，液晶显示在应对其他各类显示器件挑战中将针对自身的不足在以下几大方面力争作出重大突破。
1）通过发展反射式显示和改进背光源，提高开口率，以及增加偏光片
透过率等多种方式提高显示亮度和对比度。
2）改进材料、器件结构、工艺，特别是突破2到4µ
m的盒厚控制工艺
12
等提高液晶显示的响应速度。
同时，还将努力开发一些快速响应的
新型液晶显示模式，从而使液晶显示能更理想的满足视频显示的要
求。
3）工作温度范围窄是液晶材料决定的一大缺陷，所以它的克服只有从
液晶材料入手。
目前已有报导，开发出了可以在零下50度致零上
90度工作的液晶材料。
此外辅助加温系统的开发也将保证液晶示的
工作温度范围会大大加宽
4）为了实现大屏幕显示，液晶显示开拓了一条全新的途径——投影显
示。
在原有透射式非晶硅TFT投影显示的基础上，近年已经向多晶
硅TFT投影显示过渡，多晶硅虽然可以提高开口率10%~15%以上，
使显示亮度，清晰度大大提高，但还不理想，为了与PDP等大屏显
示竞争，近年液晶显示又开发了一种“硅上液晶”LCOS。
将大规模
集成电路作基板，与液晶集合制成反射式的微型液晶显示器。
通过
外光源的反射式投影实现50寸~100寸以上的大屏显示。
由于它可
以用最少的材料制作，实现比PDP显示面积还要大的大屏显示，因
而可能成为今后大屏幕高清晰度数字电视的主流显示器。
小结
综观液晶显示的成长，发展，作者重申液晶显示的发展动力是市场。
市场驱动论可以解释和预测液晶显示的发展。
作者重申这一观点是为提醒液晶显示的从业者，经营者，投资者，决策者以及应用客户不要将自己的关注仅仅局限于跟踪别人的具体技术发展上（当然也不能忽视），这只能导致被动的“追赶战略”，作者建议应更多的关注市场需要和市场竞争。
市场会给你更多的启示，灵感，激发自主开发能力，从而形成一个更主动的“迎击战略”。
从而走出我国自主的液晶显示发展道路。
第二章薄膜晶体管液晶显示器工艺简介
13
液晶显示器泛指一大堆利用液晶所制作出来的显示器.而今日对液晶显示器这个名称,大多是指使用于笔记型计算机,或是桌上型计算机应用方面的显示器.也就是薄膜晶体管液晶显示器.其英文名称为Thin-filmtransistorliquidcrystaldisplay,简称之TFT-LCD.从它的英文名称中我们可以知道,这一种显示器它的构成主要有两个特征,一个是薄膜晶体管,另一个就是液晶本身.我们先谈谈液晶本身.
液晶（LC,liquidcrystal）的分类
我们一般都认为物质像水一样都有三态,分别是固态液态跟气态.其实物质的三态是针对水而言,对于不同的物质,可能有其它不同的状态存在.以我们要谈到的液晶态而言,它是介于固体跟液体之间的一种状态,其实这种状态仅是材料的一种相变化的过程（请见图1）,只要材料具有上述的过程,即在固态及液态间有此一状态存在,物理学家便称之为液态晶体.
14
这种液态晶体的首次发现,距今已经度过一百多个年头了.在公元1888年,被奥地利的植物学家FriedrichReinitzer所发现,其在观察从植物中分离精制出的安息香酸胆固醇（cholesterylbenzoate）的融解行为时发现,此化合物加热至145.5度?
时,固体会熔化,呈现一种介于固相和液相间之半熔融流动白浊状液体.这种状况会一直维持温度升高到178.5度?
才形成清澈的等方性液态（isotropicliquid）.隔年,在1889年,研究相转移及热力学平衡的德国物理学家O.Lehmann,对此化合物作更详细的分析.他在偏光显微镜下发现,此黏稠之半流动性白浊液体化合物,具有异方性结晶所特有的双折射率（birefringence）之光学性质,即光学异相
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