硅材料选择题精选DOCWord文档格式.docx
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A、单晶生长→整形→切片→晶片研磨及磨边→蚀刻→抛光→硅片检测→打包
B、单晶生长→切片→整形→晶片研磨及磨边→蚀刻→抛光→硅片检测→打包
C、单晶生长→整形→切片→晶片研磨及磨边→抛光→蚀刻→硅片检测→打包
D、单晶生长→整形→蚀刻→抛光→硅片检测→切片→晶片研磨及磨边→打包
5、那个不是影响直拉单晶硅的电阻率均匀性的因素()
A、分凝B、蒸发C、坩埚污染D、损坏
6、属于晶体缺陷中面缺陷的是()
A、位错B、螺旋位错C、肖特基缺陷D、层错
7、半导体材料的电阻率与载流子浓度有关,同样的掺杂浓度,载流子的迁移率越大,材料的电阻率()
A、越高B、不确定C、越低D、不变
8、用能量()禁带宽度的光子照射p-n结会产生光生伏特效应。
A、低于B、等于或大于C、大于D、小于或等于
9、单晶硅晶胞常数为0.543nm,则(111)的面间距是多少?
A、0.786nmB、0.543nmC、0.941nmD、0.543nm
10、简述光生伏特效应中正确的是()
A、用能量小于禁带宽度的光子照射p-n结;
B、p、n区都产生电子—空穴对,产生平衡载流子;
C、平衡载流子破坏原来的热平衡;
D、非平衡载流子在内建电场作用下,n区空穴向p区扩散,p区电子向n区扩散;
若p-n结开路,在结的两边积累电子—空穴对,产生开路电压。
答案AABADDCBCD
1、属于晶体缺陷中面缺陷的是(B)
A位错B层错C肖特基缺陷D螺旋位错
2、单晶硅晶胞常数为0.543nm,则(111)的面间距是多少?
(A)
A0.941nmB0.543nmC0.786nmD0.543nm
3、用能量(B)禁带宽度的光子照射p-n结会产生光生伏特效应。
A低于B等于或大于C大于D小于或等于
4、下列选项中,对从石英到单晶硅的工艺流程是(D)
A加料—→缩颈生长—→熔化—→放肩生长—→等径生长—→尾部生长
B加料—→熔化—→缩颈生长—→等径生长—→放肩生长—→尾部生长
C加料—→熔化—→等径生长—→放肩生长—→缩颈生长—→尾部生长
D加料—→熔化—→缩颈生长—→放肩生长—→等径生长—→尾部生长
5、半导体材料的电阻率与载流子浓度有关,同样的掺杂浓度,载流子的迁移率越大,材料的电阻率(C)
A越高B不确定C越低D不变
6、那个不是影响直拉单晶硅的电阻率均匀性的因素(A)
A、损坏B、蒸发C、坩埚污染D、分凝
7、直拉法生长单晶硅拉晶过程有几个主要阶段?
(D)
A、6B、2C、4D、5
8、正确的框图简要说明硅片制备主要工艺流程是(A)
单晶生长→整形→切片→晶片研磨及磨边→蚀刻→抛光→硅片检测→打包
单晶生长→切片→整形→晶片研磨及磨边→蚀刻→抛光→硅片检测→打包
单晶生长→整形→切片→晶片研磨及磨边→抛光→蚀刻→硅片检测→打包
单晶生长→整形→硅片检测→抛光→蚀刻→切片→晶片研磨及磨边→打包
9、多晶硅的生产方法主要包含:
(C)
1)冶金法2)硅烷法3)重掺硅废料提纯法4)西门子改良法5)SiCl4法6)气液沉淀法7)流化床法
A、1234B、123C、2457D、4567
10、在制造成的电池片效率上看,单晶的效率明优于多晶硅,单晶电池片的转化效率一般能超过百分之(A),而多晶在百分之十几
A二十B十五C二十五D三十
A半导体
B导体
C绝缘体。
A线缺陷
B面缺陷
C点缺陷
D体缺陷
3
下列是晶体的是__B__。
A玻璃
B硅
C松香
D塑料
A固相生长
B液相生长
C气相生长
A90%
B92%
C95%
D97%
6对于铸造多晶硅氧浓度越__,钝化效果越__,少数载流子寿命增加越__A.
A低,好,多
B
低,好,少
C低,差,多
D高,好,多
A化学清洗
Brca清洗
C超声波清洗
①多晶硅②单晶硅③外延片④非晶硅
A.①②④
B.①②③④
C.②③④
D.③④
A.单晶生长→整形→切片→晶片研磨及磨边→蚀刻→抛光→硅片检测→打包
B.单晶生长→切片→整形→晶片研磨及磨边→蚀刻→抛光→硅片检测→打包
C.单晶生长→整形→切片→蚀刻→晶片研磨及磨边→抛光→硅片检测→打包
A.调整晶体生长的热系统,使热场的径向温度梯度增大
B.调节拉晶的运行参数,例如对于凸向熔体的界面加快拉速,增加其凝固速度增加利用结晶潜热使界面趋于平坦
C.调整晶体或者坩埚的转速,调整高温液流的增减
1.下列关于硅的说法不正确的是()
A.硅是非金属元素,它的单质是灰黑色有金属光泽的固体
B.硅的导电性能介于金属与绝缘体之间,是良好的半导体材料
C.硅的化学性质不活泼,常温下不与任何物质反应
D.加热到一定温度时,硅能与氢气、氧气等非金属发生反应
2.下列属于晶体缺陷中的面缺陷的是()
A.弗伦克尔缺陷B.肖特基缺陷C.位错D.层错
3.其中不属于多晶硅的生产方法的是()
A.SiCl4法B.硅烷法C.直拉法D.西门子改良法
4.关于光生伏特效应叙述中错误的是()
A用能量等于或大于禁带宽度的光子照射p-n结;
Bp、n区都产生电子—空穴对,产生非平衡载流子;
C非平衡载流子不破坏原来的热平衡;
D非平衡载流子在内建电场作用下,n区空穴向p区扩散,p区电子向n区扩散;
5.下列说法错误的是()
A调整晶体生长的热系统,使热场的径向温度梯度增大
B调节拉晶的运行参数,例如对于凸向熔体的界面加快拉速,增加其凝固速度增加利用结晶潜热使界面趋于平坦
C调整晶体或者坩埚的转速,调整高温液流的增减
D增大坩埚内径与晶体直径的比值
6.硅材料二极管正向导通时,在管子上的正向电压UD是()
A.0.2VB.0.7VC.-0.2VD.-0.7V
7.直拉法生长单晶硅拉晶过程有哪几个主要阶段?
()
籽晶熔接
引晶和缩颈
等径生长
收晶
A
B.
C.
D.
8.半导体硅工业产品不包括()
多晶硅
单晶硅
外延片
非晶硅
9、硅片制备主要工艺流程是()
A单晶生长→整形→切片→晶片研磨及磨边→蚀刻→抛光→硅片检测→打包
10、下列说法错误的是()
A通常,在不影响PN结特性的前提下,扩散温度选择低些,可以缩短扩散时间,有利于生产
B晶棒切割主要通过使用内圆切割、外圆切割、多线切割等方式进行切割
C直拉法生长单晶硅拉晶过程:
籽晶熔接、引晶和缩颈、放肩、等径生长、收晶
D缩颈的主要目的:
缩颈是指在引晶后略为降低温度,提高拉速,拉一段直径比籽晶细的部分
参考答案:
CDCCABBDAA
1.改良西门子法的显著特点不包括(A)
A.高能耗B成本低C产量高D质量稳定
2.制约铸造多晶硅材料少子寿命的主要因素不包括(B)
A.氧及其相关缺陷B.参杂浓度C。
以间隙铁为主的过渡族金属杂质D材料中的缺陷密度及其分布
3.晶体缺陷不包含(B)
A.点缺陷B柱缺陷C。
面缺陷D体缺陷
4.铸造多晶硅中的氧主要来源不包括(D)
A.头尾料和锅底料中含有的氧B.晶体生长过程中硅熔体与石英坩埚作用引入的氧C石墨加热器与坩埚反应引入的氧D外界空气的进入
5.铸造多晶硅中氢的主要作用包括(ABC)
A.钝化晶界B钝化错位C钝化电活性杂质
6.悬浮区熔的优点不包括(D)
A不需要坩埚B避免了容器污染C更易获得高纯度硅D成本低
7.CZ法的主要流程工艺顺序正确的是(B)
A加料--熔化--缩颈生长--等径生长--放肩生长--收尾B加料--熔化--缩颈生长--放肩生长--等径生长--收尾C加料--熔化--等径生长-放肩生长--缩颈生长--收尾D加料--熔化--等径生长长--缩颈生长--放肩生长--收尾
8.热处理中氧沉淀的形态不包括(A)
A球状沉淀B片状沉淀C棒状沉淀D多面体沉淀
9.可用作硅片的研磨材料是(B)
A.AL2O3B.MGOC.BA2O3D.NACL
10.硅片抛光在原理上不可分为(C)
A.机械抛光法B.化学抛光法C手工抛光法.D.机械--化学抛光法
1、对于临界晶核,即与母相达成平衡,可以稳定存在的晶核来说,下列应该满足的条件是()答案:
B
(1)、母相压强等于外压强
(2)、三个相的化学势相等
(3)、新相压强大于外压强(4)、新相压强必须小于外压强
A、
(1)、
(2)、(4)
B、
(1)、
(2)、(3)
C、(4)
D、
(1)、
(2)、(3)、(4)
2、一下哪一种属于金刚石结构()答案:
A.SiB.CuC.FeD.Al
3、下列不属于三氯氢硅性质的是()答案:
C
A、无色透明B、易燃易爆
C、不易挥发和水解D、有刺激性气味
4、下列不属于工业吸附要求的是()答案:
A.具有较大的内表面,吸附容量大
B.具有一定的机械强度,耐热冲击,耐腐蚀
C.不易得,昂贵
D.容易再生
5、下列与硼氧复合体缺陷无关的是()答案:
D
A、氧B、硼
C、温度D、湿度
6、下列属于单晶硅片的一般形状()答案:
A.方形B.三角形C.圆形D.梯形
7、尽量提高晶转可以改善晶体中杂质分布的径向均匀性,如果晶转过高,会导致固液界面的形状()答案:
A、形状太凹B、形状太凸
C、过于平整D、无变化
8、固相晶化是指非晶硅薄膜在一定的保护气中,在()摄氏度以上
进行常规热处理。
答案:
A.300B.400C.500D.600
9、正常凝固是最宽熔区的区域提纯,在进行第一次熔化过后,能不能进入第二次提纯这个阶段()答案:
A、能B、不能
C、不确定D、有时可以,有时不可以
10、通过()改变驱动力场,借以控制生长系统中的成核率,这是晶体生长工艺中经常使用的方法。
A、温度场B、磁场
C、重力场D、电场
1、
在光线作用下,能使物体产生一定方向的电动势的现象称(B
)
A.光电效应
B.光生伏特效应
C.内光电效应
D.外光电效应
2光子传感器是利用某些半导体材料在入射光的照下,产生(
A
)。
使材料的电学性质发生变化。
通过测量电学性质的变化,可以知道红外辐射的强弱。
光子效应所制成的红外探测器。
A.光子效应
B.霍尔效应
C.热电效应
D.压电效应
3P型半导体中的多数载流子是(A)
A.
空穴
B.电子
C.
自由电子
D.光子
4PN结的基本特性是(A)
单向导电性
B.
半导性
C.电流放大性
D.绝缘性
5下列哪个不是单晶常用的晶向(B)
A(100)B(001)C(111)D(110)
6常见的晶格结构有(D)
1简单立方结构
2体心立方结构
3面心立方机构
4金刚石结构
5闪锌矿结构
6三棱锥结构
A①②③④⑥B④⑤⑥C②③④⑤D①②③④⑤
7下列哪一个不是半导体的导电类型(D)
1本征半导体
2N型半导体
3P型半导体
A②③B①②C②D①②③
8下列哪一个迁移率的测量方法适合于低阻材料少子迁移率测量(A)
A漂移迁移率B电导迁移率C霍尔迁移率D磁阻迁移率
9下列哪个不是半导体材料的分类(D)
A元素半导体B化合物半导体C有机半导体D定形半导体
10原子晶体中的原子与原子之间的键能随原子间距的而迅速(D)
A减小,减小B减小,增大C增大,增大D增大,减小
1、影响单晶内杂质数量及分布的主要因素是:
原材料中杂质的种类和含量;
杂质的分凝效应;
杂质的蒸发效应;
生长过程中坩埚或系统内杂质的沾污;
加入杂质量;
A.
2、当晶体生长的较快,内坩埚中杂质量变少,晶体的电阻率____A_____。
A.上升B.下降C.不变D.不确定
3、制备单晶硅薄膜方面的主要工艺方法是__A___。
A.汽-固B.液-固C.固-固D.汽-液
4、测量硅中氧浓度常用的方法是___D__。
A.带电粒子活化法B.熔化分析法C.离子质谱法D.红外光谱分析法
5、在设计合理的生长系统时,其驱动力场满足的要求中。
晶体-流体界面附近_____B______。
A.负相变驱动力,Δg>
0B.负相变驱动力,Δg<
0
C.正相变驱动力,Δg<
0D.正相变驱动力,Δg>
6、原子晶体中的原子与原子之间的键能随原子间距_______而迅速地___A____。
A.增加减小B.减小减小C.增加增加D.不确定
7、下列铸造多晶硅的制备方法中,__C_____没有坩埚的消耗,降低了成本,同时又可减少杂质污染长度。
A.布里曼法B.热交换法C.电磁铸锭法D.浇铸法
8、下列多晶硅生长过程中需要通入氩气做保护气的是____B__。
A.加热B.化料C.晶体生长D.冷却
9、在晶体凝固过程中,存在温度梯度的是___B___。
A.上部和边缘部分B.中部和边缘部分C.上部和底部D.底部和边缘部分
10、在制备多晶硅薄膜时,要调整工艺参数,使得多晶硅的晶粒_____,晶界__B___。
A.尽量大尽量大B.尽量大尽量小C.尽量小尽量小D尽量小尽量大
1.一下哪一种属于金刚石结构(A)
2.下列与硼氧复合体缺陷无关的是(D)
A.氧B.硼C.温度D.湿度
B.
3.晶体生长过程亦即相变过程,也可以看做相界面的推移过程,由此可将晶体生长过程分为三类,以下正确的是(B)。
(1)、固相生长
(2)、液相生长(3)、气象生长(4)、边缘生长
4.固相晶化是指非晶硅薄膜在一定的保护气中,在(D)摄氏度以上进行常规热处理。
A、300B、400
C、500D、600
5.化学提纯高纯多晶硅的生产方法大多数分为三个步骤,一下正确的是(B)。
(1)、中间化合物的合成
(2)、中间化合物的分离提纯
(3)、中间化合物被还原或者是分解高纯硅(4)、中间化合物的去除
6..多晶硅的工艺流程是(C)
A.清洗,装料,化料,晶体生长,退火,冷却,出炉,破锭,切割,包装
B.清洗,化料,装料,晶体生长,退火,冷却,出炉,破锭,切割,包装
C.清洗,装料,化料,等径生长,退火,冷却,出炉,破锭,切割,包装
D.清洗,晶体生长,化料,装料,退火,冷却,出炉,破锭,切割,包装
7.直拉法生长单晶硅拉晶过程有哪几个主要阶段(A)
A.润晶、缩颈、放肩、等径生长、拉光
B.熔化、润晶、放肩、等径生长、拉光
C.润晶、熔化、放肩、等径生长、拉光
D.润晶、缩颈、放肩、等径生长、尾部生长
B.以下哪个是错误的(D)
(2)杂质对材料的导电类型有影响
(3)B.杂质对材料的电阻率会有影响
C.杂质对非平衡载流子寿命有影响
D.杂质对平衡载流子的寿命有影响
9.考虑原料与坩埚引入杂质影响,在拉制电阻率ρ1--ρ2范围单晶时,应加入杂质使熔体中含有杂质浓度为(C)
A.都为CL=C1-C2B.都为CL=C1+C2
C.试拉单晶为同型CL=C1-C2不同型CL=C1+C2
D.试拉单晶为同型CL=C1+C2不同型CL=C1-C2
10.为保证生产的稳定,减少外来污染引起的电阻率起伏(D)
A固定拉晶时间B应用控制电阻率径向和纵向均匀性方法
C固定拉晶参数D重复使用复拉料
1.下列关于硅的说法中,不正确的是
(C)
A.硅是人类将太阳能转换为电能的常用材料
B.硅的导电性能介于金属和绝缘体之间,是良好的半导体材料
C.硅的化学性质不活泼,常温下不与任何物质反应
D.加热到一定温度时,硅能与氯气、氧气等非金属反应
2.10g含有杂质的CaCO3和足量的盐酸反应,产生CO20.1mol,则此样品中可能含有的杂质是(
A.KHCO3和MgCO3
B.MgCO3和SiO2
C.K2CO3和SiO2
D.无法确定
3.在我国通常称为工业硅或冶金级硅含量在(D)以上。
A.90%
B.92%
C.95%
D.97%
4.石墨炸弹爆炸时,能在方圆几百米范围内撒下大量的石墨纤维,造成输电线、电厂设备损坏。
这是由于石墨(
C
A.有剧毒
B.易燃、易爆
C.能导电
D.有放射
5.二氧化硅是酸酐的原因是(
A.它溶于水得相应的酸
B.它对应的水化物是可溶性强酸
C.它与强碱溶液反应只生成盐和水
D.它是非金属氧化物
6.下列属于晶体缺陷中的面缺陷的是(D)
A.弗伦克尔缺陷
B.肖特基缺陷
C.位错
D.层错
7.晶体生长过程亦即相变过程,也可以看做相界面的推移过程,由此可将晶体生长过程分为三类,以下正确的是(B)。
A、固相生长
B、液相生长
C、气象生长
D、边缘生长
8.关于光生伏特效应叙述中错误的是(C)
A.用能量等于或大于禁带宽度的光子照射p-n结;
B.p、n区都产生电子—空穴对,产生非平衡载流子;
C.非平衡载流子不破坏原来的热平衡;
D.非平衡载流子在内建电场作用下,n区空穴向p区扩散,p区电子向n区扩散
9.直拉法生长单晶硅拉晶过程有哪几个主要阶段(A)
D.熔化、润晶、放肩、等径生长、拉光
B.润晶、缩颈、放肩、等径生长、尾部生长
10.多晶硅的工艺流程是(C)
1.硅材料是太阳能电池及电脑芯片不可缺少的材料,随着一批多晶硅生产企业在乐山建成投产,乐山将成为我国重要的硅材料产业基地。
下面是多晶硅生产过程中的一个重要反应:
SiO2+2C
Si+2CO↑,该反应的基本类型是C
A.化合反应B.分解反应C.置换反应D.复分解反应
2.面心立方晶格中原子密度最大的晶向是?
B
A[100]B[110]C[111]D[121]
3下列哪个不是化学法提纯高纯多晶硅的方法B
A.三氯氢硅还原法B区域熔化提纯法C硅烷法D流态化床法
4关于直拉单晶硅的说法错的是C
A提纯效果好B对硅材料的要求一般C生产成本低D产量高
5在铸造多晶硅晶体生长时,需要解决以下的问题。
除了a
A尽量增大环境温度B尽量均匀的固液界面温度C尽量大的晶粒D尽量少的外界污染
6铸造多晶硅中的金属杂质形成沉淀有什么影响B
A电活性升高B影响少子寿命C影响载流子浓度D不会影响多晶硅的制备
7多晶硅片少子寿命的影响因素A
A温度B杂质含量C硅片厚度D晶粒尺寸均匀性
8单晶硅中的点缺陷不包括D
A空位B自间隙原子C杂质原子D载流子浓度
9集成电路硅片的规格要求比较严格,必须有