无尘室认证doc37Word格式文档下载.docx
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另外有關無塵室污染控制〈也就是潔淨度控制〉，和環境控制〈如溫溼度、震動噪音等〉，也有一些重要的測試規範，因為這些環境影響因素，都包含在無塵室性能測試的範圍之內。
1.IEST-RP-CC-006.2：
這本有名的測試規範，目的就是為了補209的不足。
209只有微粒量測，006包括了風速風量、濾網洩漏、潔淨度、溫溼度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。
006的第一版稱為006-84-T，006.2是第二版。
現在由於NEBB的興起，0062已經功成身退，逐漸消失了。
2.NEBB無塵室測試規範第二版：
這是目前最廣為流行的測試規範，提到無塵室認證，就非NEBB莫屬。
NEBB無塵室測試規範，可說是IEST-0062的改良版，其測試涵蓋範圍差不多，但是測試程序更為清楚嚴謹，儀器使用也有詳細規定。
因此NEBB無塵室測試規範的出現，解決了不少測試的爭議，也因此NEBB無塵室測試規範成功的成為產業標準。
有關NEBB，請參照本站NEBB。
3.ISO-14698系列：
14698有Part1、Part2、Part3三個子題，是有關無塵室裡面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一種行業，甚至每一家公司或工廠，對無塵室的要求可能都不一樣。
以上所列無塵室定義與無塵室測試規範，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴格來講，這些規範也只是一個參考。
各公司在訂定測試規格時，應依照自己的製程需求，在上述規範裡取出自己適用的部份，並要求供應商與測試單位照辦，必要時可以酌情修改測試標準，才能真正滿足自己的需求。
二、無塵室常用名詞
1.無塵室定義：
無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建築。
一般而言，無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。
2.微粒控制：
無塵室微粒控制的第一步，是把室內微粒對製程影響的程度做完整分析，然後針對分析結果，訂定恰當的微粒控制方式與無塵室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。
在做微粒影響分析時，必須特別注意數據的量化，也就是粒徑與其數量對製程的影響，才是有用的數據。
3.外來污染源：
從無塵室外進入系統的污染源，外來污染源主要是由空調通風系統所導入，另外門、窗、牆壁裂縫等也是外來污染源的成因。
4.內部污染源：
無塵室內部產生污染的來源，一般是製程機器與操作員工，最嚴重的內部污染源一般是操作員工。
5.隔離：
隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無塵區域之外。
這種觀念多應用在高潔淨度的無塵環境，例如Class100，Class10，Class1等高濾網覆蓋率的無塵室，或是使用迷你潔淨室將機台整個包住。
6.稀釋：
稀釋是污染控制的另一種觀念，多應用在潔淨度不高的無塵室。
例如在Class10000的無塵室，因為換氣量不大，製程與人員產生的粒子就會在室內打轉，要比較常的時間才會排出。
因此新的乾淨空氣只能稀釋室內的微粒濃度，讓室內潔淨度控制在某一等級之下就可以了，部要求把人員與製程隔開。
使用稀釋法作為粒控制時，要特別注意本節第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產生速率，才能有效的稀釋微粒。
7.氣流模式：
指的是流場型態，氣流分佈，氣流的流向等性質。
由於微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔淨的無塵室或是無塵區域，對氣流模式的掌控就愈重視。
基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔淨度。
8.單一流向型氣流：
氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，以前稱為層流型無塵室，定義並無多大改變。
高潔淨度無塵室需要單一流向型氣流。
9.非單一流向型氣流：
氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無塵室，潔淨度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節省成本。
10.As-builtcleanroom（剛完工的無塵室）：
已經完成且可以操作，所有相關支援設施皆已完成的潔淨室，但並沒有設備及操作設備的人員。
11.At-restcleanroom（準備中的無塵室）：
已經完成且可以操作，所有相關支援設施皆已動作的無塵室，設備已載入並可以操作或已在運轉，1如所指定，但沒有操作設備的人員。
12.Operationalcleanroom（操作中的無塵室設施）：
一個已在正常運轉的無塵室，所有相關支援設施皆已動作，設備及人員皆已載入，運轉狀況可以呈現和達到其正常的功能。
三、無塵室等級定義
無塵室的等級
使用者在開無塵室的等級給供應商時，有以下幾個小技巧。
首先是等級定義的模式如下：
ClassX（atYμm）
其中X是無塵室的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm,0.5μm等，可複選。
意思就是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。
這樣可以減少紛爭，以下是幾個例子：
Class1（0.1μm,0.2μm,0.5μm）
Class100（0.2μm,0.5μm）
Class100（0.1μm,0.2μm,0.5μm）
在Classes100（M3.5）andGreater
（Class100，1000，10000....），一般看一個粒徑即可。
在ClassesLessthan100（M3.5）
（Class10，1....），一般要看多幾個粒徑。
第二個技巧是規定無塵室的狀態，例如：
ClassX（atYμm），At-rest
供應商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。
第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時無塵室都很乾淨，微粒控制能力測試不易，這時可以乾脆把驗收上限壓低，例如：
Class10000（0.3μm<
=10000），As-built
Class10000（0.5μm<
=1000），As-built
這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時，依然有足夠的微粒控制能力。
以下兩個表是Fed-Std-209E的等級定義，和ISO-14644的等級定義。
Fed-Std-209E潔淨度定義
ClassName
ClassLimits
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
VolumeUnits
VolumeUnits
SI
U.S.
（m3）
（ft3）
M1
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
-
M1.5
1
1,240
35.0
265
7.50
106
3.00
35.3
1.00
M2
3,500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
M2.5
10
12,400
2,650
75.0
1,060
30.0
353
M3
35,000
991
7,570
214
3,090
87.5
1,000
28.3
M3.5
26,500
750
10,600
300
3,530
M4
75,700
2140
30,900
875
10,000
283
M4.5
35,300
247
7.00
M5
100,000
2,830
618
17.5
M5.5
353,000
2,470
70.0
M6
1,000,000
28,300
6,180
175
M6.5
3,530,000
24,700
700
M7
10,000,000
283,000
61,800
1,750
ISO-14644潔淨度定義
ISOclassificationnumber（N）
Maximumconcentrationlimits（particles/m3ofair）forparticlesequaltoandlargerthantheconsideredsizesshownbelow（concentrationlimitsarecalculatedinaccordancewithequation
（1）.
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
ISOClass1
2
ISOClass2
24
4
ISOClass3
1000
237
102
35
8
ISOClass4
10000
2370
1020
352
83
ISOClass5
100000
23700
10200
3520
832
29
ISOClass6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
ISOClass7
352000
83200
2930
ISOClass8
3520000
832000
29300
ISOClass9
35200000
8320000
293000
NOTEUncertaintiesrelatedtothemeasurementprocessrequiresthatconcentrationdatawithnomorethenthreesignificantfiguresbeusedindeterminingtheclassificationlevel.
Equation
（1）:
Cn=10NX（0.1/D）2.08其中Cn是微粒濃度，N是潔淨度，D是粒徑
比較以上兩表我們可看出
1.209E的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關性。
兩制放同一表，徒然造成混淆
2.在兩表中0.5μm幾乎出現在每一個等級定義中，表示粒徑0.5μm的粒子非常具有代表性
3.在潔淨度的分類上，不管是在高潔淨度，或是低潔淨度，ISO-14644的範圍比209E都來的廣，因此具有未來性
四、無塵室測試範圍
凡是和無塵室環境控制有關的因素，都在無塵室認證的範圍之內。
在無塵室完工之前，業主、施工單位、與測試單位‧應就以下幾個主題做詳細討論並達成協議，以利測試進行。
1.待測無塵室涵蓋範圍、等級、面積、濾網位置、與數量
2.測試的目的
3.測試程序
4.使用儀器
5.測試報告撰寫方式與內容
6.工期
在測試前，將以上項目定義清楚，可以使測試順利進行，發現問題時也可以儘快排除，對業主和施工單位都有利。
IEST-0062有一個表說明測試項目，以及適用狀態，具有相當參考價值表列如下。
IEST-RP-CC006.2Table1
章節
測試項目
單一流向型
非單一流向型
混合型
6.1
風量與均勻度
風速與均勻度
1,2,3
OPT
6.2
濾網洩漏
1,2
6.3
潔淨度
6.4
壓力
6.5
平行度
N/A
OPT（1,2only）
6.6
空間洩漏
6.7
恢復率
6.8
粒子沉降測試
6.9
照度
1,OPT（2,3）
1,OPT（2,3）
6.10
噪音
6.11-6.13
溫溼度
1,2,2
6.14
振動
測試的順序沒有硬性規定，但是仍舊存在某些比較理想的順序
1:
測試適用於As-built狀態
2:
測試適用於At-rest狀態
3:
測試適用於Operational狀態
N/A:
代表該測試在該狀態下〝不適用〞
OPT:
代表該測試在該狀態下為〝選擇性測試〞，可以視製程需求而定
由上表可看出，風量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態，因為不易受干擾。
風速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因為容易受干擾。
當然這是IEST的建議，我們可以自行決定。
至於測試的項目選擇，NEBB建議：
依重要性分成三級，說明如下。
第一級〈LevelI〉:
第一級測試是所謂的主要測試，與潔淨度直接有關的測試都屬第一級，每個無塵室都應至少應做的測試。
第一級測試項目包括：
A.風速量測
B.風量量測
C.前兩項的均勻度分析
D.濾網洩漏測試
E.潔淨度測試
F.壓力量測
第二級〈Level
II〉:
第二級測試，雖然也是與潔淨度與氣流有關，但是只有在特殊情況下才需要進行。
A.氣流平行度量測〈只適用層流型無塵室〉
B.空間洩漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C.恢復率測試〈依建議只適用亂流型無塵室〉
D.粒子沉降測試〈近年來已經很少做〉
第三級〈Level
III〉:
第三級測試就與氣流無關，都是屬於環境因素。
A.照度與其均勻度
B.噪音測試
C.振動測試
D.溫溼度測試
這裡說明NEBB所要求無塵室性能測試的各項測試程序，當然這些程序是NEBB所認定的基本要求，業主可視狀況自行修改。
NEBB唯一的要求是，若是修改後的程序比較寬鬆，就不能說是符合NEBB標準。
2.1氣流量測
無塵室內的氣流控制，是維持潔淨度的關鍵，因此高效濾網〈HEPAFilter〉的出口速度控制，是非常重要的課題。
由於濾網速度關係著空氣流場型態、微粒控制能力、換氣量與平行度等，因此無塵室的氣流量測，是無塵室認證的第一步。
經由數據分析，可察覺問題所在，再對無塵室做細微的調整，使性能達到要求。
本章說明無塵室氣流量測的步驟，分為速度與均勻度量測，風量與均勻度量測，平行度量測等三部份。
量測程序與數據分析，都是依照NEBB的標準。
一、濾網速度與均勻度量測
1‧測試目的
氣流是控制潔淨度與溫溼度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。
因此風速量測，都是放在無塵室測試的第一步。
風速量測的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規範，其次是確認氣流的均勻度。
在某些場合可能因現場的限制，室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。
單一流向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。
非單一流向型無塵室，由於微粒控制的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要，因此多只需要量測風量。
在單一流向型無塵室，風速量測的位置可由業主指定，一般是在濾網表面或是工作高度。
但是需註明是濾網風速量測（濾網表面）或是無塵室室內風速量測（工作高度）。
2‧使用儀器
無塵室裡面使用的HEPA/ULPA濾網，其送出氣流的速度多半都控制在0.5m/s以內，因此所使用的風速計必須屬於低速型。
濾網風速量測可使用單點式風速計如電子式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。
也可以使用多點式風速計如ShortridgeVelgrid16點風速計。
輪葉式風速計因使用範圍不同，通常不在無塵室內使用。
熱線式風速計（HotWire）雖然高頻響應良好，但是低速時〈0.5m/s以下〉準確性很低，因此不很適用，一般熱反應風速計常用的是Thermeister式風速計。
轉輪式風速計由於本身重量問題，也不適用低速。
NEBB的要求是在50fpm到120fpm之間〈0.25m/s到0.6m/s〉，要有〝±
5percentofthereading〞的精確度。
檢驗儀器須經校正合格，且仍在有效期限內。
於正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格的校正文件。
3‧測試步驟
（1）
在圖面上記錄濾網尺寸、數量並編號。
（2）
取樣點位於濾網下方75-150mm處。
（3）
每一個濾網下，若是使用單點式風速計，則每1平方英尺取一點；
若是使用多點式風速計，則每4平方英尺取一點。
以600㎜×
1200㎜濾網為例，單點式風速計要量8點；
多點式風速計要量2點。
（4）
每量測點必須取5秒的平均。
（5）
依驗收標準分析所有風速，計算平均值、標準差、相對標準差，並標明不合格測試點。
（6）
記錄所有原始數值，以及分析後的數值。
風速量測的測試步驟，在單一流向型或非單一流向型無塵室都相同。
重要的是在非單一流向型無塵室測試時，特別注意取樣時風速計不可受到干擾，以免影響準確度。
4‧數據分析
風速量測很簡單，但是均勻度必須由數據分析來判定。
均勻度是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。
1.
平均值：
將所有風速量測值取算數平均
VAM=（V1+V2+…+VN）/N
2.
標準差：
計算所有風速量測值的標準差
3.
相對標準差：
相對標準差是一個百分比，將標準差除以平均值，再乘以100得到百分比
RSD=SDV/VAM×
100
均勻度是由相對標準差來代
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