AS镀膜培训报告总结2PPT文档格式.ppt

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2010.12.31气之作用n氩气：

轰击之作用n氧气：

氧化镀膜材料之作用n氮气：

清洁设备之作用n氦气：

检漏之作用AS镀膜分类nAS镀膜为三大分类：

蒸发镀膜.溅射镀膜.离子镀膜n蒸发镀膜：

在高真空中通过加热蒸发方式使镀料转化为气体凝聚在镀物表面n溅射镀膜：

在高真空中利用荷能粒子轰击镀料表面，使被轰击出的粒子在基片上沉积的一种技术n离子镀膜：

用一定能量的离子轰击靶材，分子脱离其表面，使靶材分子输运到衬底上的一种成膜方法AS镀膜机台部位名称英文简称英文简称中文名称中文名称英文简称英文简称中文名称中文名称IB离子源FV前级阀门（辅助阀）EB电子枪FL流量开关DEF除霜RV低抽阀（粗抽阀）MV高抽阀（主阀）SRV慢粗抽阀DP扩散泵NT中和器RP机械泵RH高温电阻蒸发机MBP罗茨泵TVP冷冻管DV闸门SLV慢泄压阀LV放气阀门MWV主冷却水阀WV真空室冷却水阀AS操作面板项目n操作面板九大项目（日.英.中）监視Line生产线监视全体Overview真空动作监视搬送Carry产品输送成膜Coat-process成膜步骤Recipe处方模块管理Process-set程序管理Alarm警报Utility冷却系统界面Maintenance保养监視（生产线监视）成膜炉数设定成膜炉数真空大气时间ST7低真空壓力ST2ST6低真空、高真空压力装载室、鍍膜室、卸载室玻璃输运地带.流程ST1高真空.低真空压力此画面主要是对整条镀膜线的监测.真空时间.大气时间.ST2ST6的成膜数.自动运转许可显示全体（真空动作监视）DP.铜管状态镀膜室内照明装载室.镀膜室.运行动作完成时的警报开始.自动停止按钮手动.自动切换按钮设备排气系统主要是对设备局部运行的监视显示，该画面可做关机动作（auto-stop）镀膜室灯的控制按钮（start-light）时间设定自动开机操作（点击time进行设定）搬送（产品输送）ST2ST6镀膜室，每室可放一套伞具产品输送进口一次可进5层手.自动切换产品进料数显示地带输送操作系统非真空半自动输送操作手动操作输送.可倒走该画面是机械内部输送运行的监视.可自动/手动运转.手动可逆行.自动不能成膜（成膜步骤）镀膜时间真空时间大气时间ST2ST6腔体镀膜时高真空压力.高电压.低电流.成膜速率的画面镀膜操作画面个体炉腔镀膜操作画面（开始.停止.中止）显示.当其中一个发生故障，便会自动停止.也可手动操作镀膜室运行时（真空度.高电压.低电流.成膜速率）的监测显示该画面为镀膜操作时的重要一步（输入镀膜程序IDstart）（处方模块）多层膜程序离子清洗程序材料程序该画面为（多层膜.清洗.材料程序的相关电流.电压.压力）数据显示管理（程序管理）清洗登陆口令程序操作口令语言调整ST2ST6成膜设定画面ST1程序设定画面仓体产品显示画面ST7程序设定画面开机时间设定各个腔体伞具的状态显示该画面是针对机械內部.部份程序（真空时间、腔体清洗、charge口令、语言、ID）的管理（警报）排气、输送系统警报画面ST2ST6警报显示画面警报问题显示：

当问题解释后.再按左下方的复位键该画面针对三个问题报警（排气系统.输送系统.ST2ST6镀膜室运行）（冷却水系统）中央阀门冷却水通往ST2ST6各设备的管道画面当机械需进行烘烤时.可点击此处.进入烘烤程序冷却水动流画面显示.（可手动.自动）（保养）消耗进度排气系统耗材名称已消耗时间每个仓体需保养的画面当保养完毕后.可点此键.消耗进度可恢复为0可消耗时间MEP与RP介绍及保养nMEP与RP性能：

出抽真空MBPRP加油孔加油孔MBP：

油量消耗极少，1年/次添加（专用型号-R4）RP：

油量消耗大.只剩3/1程度需立即添油（专用型号R-7）添加量不能高于油圈上线范围，每周一/六确认油的份量RP：

油易变脏，需常检查，当油色变脏/水进入油中，需全部更换MBP与RP共6个蓝色管道：

冷却水.成膜过程中达到降温效果冷却机n冷却机性能：

通过铜管在机器内制冷凝结室内气体.达到真空效果冷却机：

3个4个异常灯：

1.压力不足2.压力过高3.压力太低4.水温过高（20左右正常）2#测水温（13.0值低）3#测铜管温度.压力4#入口.出口往返温度9#冷却机本体温度4个制冷灯：

1.除霜完了2.除霜中3.排气中4.COOL制冷当温度达到-130时勿碰黑铜管，易破损离子源保养n钨丝和电极.石英碗为主要保养对象n当操作面板发出警报信号，显示IB（钨丝已到保养时间或者烧断的情况下）可进行保养n钨丝：

通常20H需更换一次，保养及更换工作完成后，进入操作面板画面切换Fi12运转即可n电极：

用相应的治具-砂纸打磨，把表面的污渍擦干净，用无尘布蘸酒精把电极擦拭干净，再用万用表测试它的绝缘性（重点：

电极有大小之分，上面有英文标注，治具也有英文标注，需对应进行）n石英碗：

防破，防灰尘，轻拿轻放n保养进行前必须确定离子源电源已断开n保养时所需的治具、砂纸、酒精、无尘布（菜瓜布）内六角、万用表、备品钨丝及图纸离子源n离子源性能：

清洗玻璃基片-提高成膜质量/加速电流产生动能-辅助成膜稳固钨丝：

分内圈钨丝以及外圈钨丝石英碗一个电极：

2个.上下层各一个，6000炉需更换1次钨丝电源三根上下层2个电极离子源原理：

氩离子通过气体管进入RF（射屏）使气体表面变成离子进入石英管，被负电子吸引再加速而正电子在磁场作用下迅速加速透过电极与NT产生电子结合产生粒子加速电流产生动能打在玻璃膜层起到清洁.稳固作用传送带n操作面板解说：

n开启方式：

打开电源绿灯按钮全体（出现异常情况下，按键n可看到异常原因）n红.黄.绿灯性能：

n红灯：

切断电源，停止运行n黄灯：

暂时停止n绿灯：

1-10个绿灯全按后，操作画面版按启动键，传送带就可开始运行RH高温电阻蒸发机n药丸全自动给材系统26根装载药丸的小钢管，1根可装9个药丸给材1：

药丸全自动给材系统（药丸：

80mg）给材2：

钼舟蒸发系统钼舟热蒸发系统有6组，每镀膜一炉后废料通过除材系统排出，可镀234炉.成膜216次后.6组钼舟需更换新的电子枪n电子枪性能：

蒸发源.促进成膜过程n电子枪原理：

钨丝加热产生电流.在磁场作用下形成电子束轰击SIO2电子枪分为：

正.负磁极（此处为正磁极负磁极在腔内）防尘铁板：

需常保持干净.用菜瓜布擦拭内有电子灯丝.用久后.需定期更换通电后产生电磁场.起到引导电流作用坩埚n坩埚：

放置SIO2材料前次使用未融化回收的SIO2放在底下.占用比率3/2.表面再放新的SIO2后.确认平坦度.加满一次可镀膜216炉