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PolySi,SiO2,Si3N4SiOxidation:

HO,O2,H2OMembraneIonInjection:

As+,P+,B+,BF2+Diffusion:

P+,B+AdjustingICP:

Si,Ti/Al,Cr/Cu,Cr/Pt,Ti/Pt/Au,Pyrex,SiO2RIE:

Si,SiO2,Si3N4,SiO2,Solutions:

KOH,BHF,HF,H3PO4EtchingAnode（electrostatic）,Au-Si,hotBonding微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelasttwoweeks1.SiliconMicrofabrication:

.2.MEMSReliability:

.3.NSFCRequisition:

.4.Other:

PublishedpapersofIMEvReferencesandPPTfiles微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008WorkinthelasttwoweeksvSafetyandOperationHandbookSafetyExit,Fireextinguisher,Showerequipment,EyebathsystemMSDSHealthhazard,Firehazard,Specifichazard,ReactivityEtchingRoom600m2，Etchingplatform,Shelf,Reagentchemicals微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008FutureworkinthenextweekSimulate.ReadLearn微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008WorkinthelastweekPassedthe1Readreferences2Simulatedandanalyzed3Designthefabrication4微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008WorkinthelastweekThemainperformancefigures.微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelastmonth2.学学习.仿仿真真1.查阅文文献献4.进实验室室.3.工工艺制作流程制作流程微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelastmonth实验相相关关曝光曝光显影影电镀甩胶甩胶烘烘胶胶正胶正胶AZP4903微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelastmonth2008.4.22用用2008.4.25.大概大概15um微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelasttwoweeks电镀项目申目申请申申请的准的准备3.会会议投稿投稿124微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelasttwoweeks稀释稀释HF溶液溶液HF0.4mol/L，腐蚀速率：

腐蚀速率：

室温室温100nm/s，32度时度时200nm/sHF2.6mol/LHNO32.2mol/L32度时度时300nm/sTi湿湿法腐法腐蚀50:

1:

1H2O:

HF:

HNO320:

1H2O:

H2O21:

20HF:

H2O2:

HNO3微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008WorkinthelasttwoweeksI20.09mol/LKI0.6mol/L腐蚀速率：

室温室温8-15nm/sAu湿湿法腐法腐蚀1:

2:

10I2:

KI:

H2O25g：

7g：

100mlBr2:

H2O1:

3HF:

HAc:

HNO3微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelasttwoweeks国家基金对项目的要求越来越高国家基金对项目的要求越来越高基础性基础性前瞻性前瞻性战略性战略性强强调原原创性性提高提高交叉项目的交叉项目的强度和比例强度和比例强强调学学科交叉科交叉微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelasttwoweeks研究实力研究实力写作技巧写作技巧创新思想创新思想一新遮百丑一新遮百丑基金有多种基金有多种手段保护手段保护创新思想创新思想以往的以往的研究积累研究积累和研究水平和研究水平准确、清晰、准确、清晰、具体、可行具体、可行的研究计划的研究计划申请基金的三要素申请基金的三要素微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelasttwoweeks申请书的核心问题申请书的核心问题创新性新性重要性重要性实用性用性连续性性可行性可行性科学选题科学选题科学选题科学选题做什做什么么（What）-问题的提出的提出为什什么么（Why）-意意义分析分析怎么怎么做（做（How）-技技术路路线立项依据立项依据立项依据立项依据工作工作积累累实验条条件件人才梯人才梯队支持条件支持条件支持条件支持条件微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室GroupMeetingDong-MingFangApril18,2008Workinthelasttwoweeks立项依据立项依据阐述项目对社会或经济的意义阐述项目对社会或经济的意义1本本本本项目项目国内外进展情况国内外进展情况国内外进展情况国内外进展情况2提出本项目解决的提出本项目解决的提出本项目解决的提出本项目解决的目标目标3强调项目的强调项目的强调项目的强调项目的必要性必要性和重要性和重要性和重要性和重要性4微电子学研究